Hoe verandert vacuüm in uw SubFab?
In deze samenvatting onderzoekt Alan Brightman, Senior Product Manager bij Edwards, hoe de gelijktijdige uitdagingen van corrosieve en condenseerbare precursormaterialen samengaan met reactiebijproducten in een vacuümomgeving.
Naarmate de schaal van de halfgeleiderproductie opnieuw verandert, neemt de druk op innovatie toe.
VIDEO EN TRANSCRIPTIE
Is de SubFab klaar voor een zwaardere productiviteitsomgeving?
De tijd dat één pomp alles deed, waarbij de oplossing gewoon een grotere pomp was, is voorbij. Pompontwerpen moeten worden geoptimaliseerd voor specifieke toepassingen. Dit geldt met name wanneer we te maken hebben met zware omstandigheden, met gelijktijdige corrosie en condenseerbare uitdagingen.
De stijgende overheadkosten
Energiekosten zijn een kritische overweging in de productie van halfgeleiders en dragen doorgaans bij aan meer dan 30% van de totale bedrijfskosten van de fabriek. De energiekosten worden nog kritischer in tijden van verminderde productie, die zich periodiek voordoen tijdens de conjunctuurcycli van de halfgeleiderindustrie.
Nieuwe processen en materialen vragen om innovatieve oplossingen
Er worden steeds nieuwe processen en materialen geïntroduceerd, bijvoorbeeld het aanbod van CVD-precursoren en reactiebijproducten breidt zich uit en dit creëert nieuwe uitdagingen waar we problemen hebben met condensatie en corrosie. Condensatie en corrosie in vacuümsystemen verhogen het energieverbruik en de onderhoudskosten. Om dergelijke uitdagingen aan te gaan, zijn innovatieve oplossingen nodig die in de eerste plaats gebaseerd zijn op een grondig inzicht in processen en materialen.
Alan Brightman
Productverantwoordelijke
