Edwards maakt gebruik van 100 jaar technologische innovatie door nieuwe normen te stellen voor de capaciteit van zware processen, betrouwbaarheid en lagere eigendomskosten.
BURGESS HILL, WEST SUSSEX, VK (14 maart 2019) - Edwards kondigt de nieuwe iXH Mk2-serie aan – een zeer efficiënte, ultrazware drooglopende pomp met laag vermogen die voldoet aan de huidige vereisten voor halfgeleiderprocessen en aan de opkomende toepassingsuitdagingen van morgen in de productieprocessen voor halfgeleiders, displays, LED en zonne-energie. Edwards zal de nieuwe iXH Mk2-oplossing presenteren op SEMICON® CHINA, 20-22 maart, SNIEC, Shanghai (stand 1309 FPD CHINA)
"De nieuwe iXH Mk2 drooglopende pomp biedt een nog langere levensduur dan vorige generaties voor de zwaarste processen. Het kan ook aanzienlijke verbeteringen in energie-efficiëntie opleveren", aldus Al Brightman, Sr. Product Manager, Edwards. "Op basis van 100 jaar technologische innovatie hebben we de lat opnieuw gelegd voor de capaciteit, betrouwbaarheid en lage eigendomskosten van zware processen. De iXH vermindert de milieu-impact van enkele van de zwaarste processen die in de halfgeleiderproductie worden gebruikt."
Kom langs op de stand en ontdek hoe de iXH Mk2 opkomende procesuitdagingen oplost in high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN en EPI.