Edwards voldoet aan de nieuwe broeikasgasrichtlijnen van de Verenigde Naties
Strengere richtsnoeren van het IPCC omvatten de verantwoording van de vorming van CF4-bijproducten en emissies.
BURGESS HILL, WEST SUSSEX, VK (29 mei 2019) - Het Intergouvernementeel Panel voor klimaatverandering (IPCC), het orgaan van de Verenigde Naties voor de beoordeling van de wetenschap rond klimaatverandering, heeft zojuist de laatste verfijning van zijn richtlijnen van 2006 gepubliceerd. Als onderdeel van de inspanningen om de klimaatverandering aan te pakken, verstrengen de verfijnde regelgevingen de controle op nieuwe broeikasgassen die worden gebruikt in de productie van halfgeleiders en verhogen ze de vereisten voor rapportage en verantwoordingsplicht voor producenten.
"Het IPCC heeft erkend dat er een kloof bestaat tussen de hoeveelheid broeikasgas die in de atmosfeer wordt gemeten en de hoeveelheid die wordt berekend op basis van de inventaris van bekende emissiebronnen", zegt prof. Mike Czerniak, bezoekend industrieel professor aan de Universiteit van Bristol en Environmental Solutions Business Development Manager bij Edwards. "De kloof is met name van belang voor gassen zoals perfluorverbindingen (PFC's), die niet alleen een buitengewoon hoog aardopwarmingspotentieel (GWP) hebben, maar ook een extreem lange levensduur in de atmosfeer, zo lang als 50.000 jaar." Er zijn twee nieuwe mechanismen voor PFC-vorming tijdens de productie van halfgeleiders geïdentificeerd en er zijn emissiefactoren toegevoegd aan de nieuwste IPCC-verfijning: 1) CF4-vorming bij het reinigen van chemische dampafzettingskamerafzettingen (CVD). 2) CF4-vorming door reactie van fluor met koolwaterstofbrandstof in op verbranding gebaseerde bestrijding in systemen die de brandstof en het proceskamerafval mengen.
"Voor het eerst ooit is er een nieuwe emissiefactor voor de op verbranding gebaseerde bestrijding van fluor – er is nu directe verantwoordingsplicht vereist, in de vorm van een op gegevens gebaseerde certificering van de apparatuurfabrikant dat de reactie is geminimaliseerd", zegt prof. Czerniak. "De vorming van PFC's kan tot een minimum worden beperkt door het juiste ontwerp van de verbrandingskamer." De inwaarts gestookte verbrandingskamer van Edwards voorkomt het mengen van kameruitlaatgassen en brandstof, wat bij andere ontwerpen kan leiden tot de productie van PFC's die niet in de oorspronkelijke uitlaatstroom aanwezig waren. Het lagere, meer uniforme temperatuurprofiel van de inwaarts gestookte verbrandingskamer zorgt voor een hoge vernietigingsefficiëntie (DRE) bij een lage NOx-opwekking. Inwaarts gestookte verbrandingskamers zijn standaard in de bestrijdingssystemen van Edwards sinds het bedrijf in de jaren 1990 begon met de ontwikkeling ervan. Bezoek Edwards (stand #750) tijdens SEMICON West voor meer informatie over de nieuwste IPCC-richtlijnen en best practices voor het verminderen van broeikasgassen. SEMICON West vindt plaats van 9 tot 11 juli 2019 in San Francisco, Californië.