12 juli 2017
Burgess Hill, WEST SUSSEX, Verenigd Koninkrijk. (11 juli 2017) - Edwards Limited, een van 's werelds grootste fabrikanten van geïntegreerde vacuüm- en bestrijdingsoplossingen, kondigt de nieuwe EdCentra subfab-storingsdetectie- en classificatiesoftware (FDC) aan. EdCentra is een platform voor apparatuurbewaking, gegevensverzameling en analyse dat operationele gegevens van de subfab verzamelt, integreert en analyseert om constante prestaties te handhaven.
"Net zoals producenten geavanceerde monitoring en data-analyse hebben geïmplementeerd om de productieprocessen te optimaliseren, vinden ze een aanzienlijk voordeel in het toepassen van dezelfde technieken op subfab-processen", zegt Geoffrey Stoddart, Global Marketing Director, Semiconductor Service Division, Edwards. "De vacuümtoestand kan bijvoorbeeld van invloed zijn op de waferkwaliteit en de totale productiekosten door het effect ervan op de opbrengst, of door verliezen als gevolg van ongeplande vacuümstoringen tijdens de waferverwerking. EdCentra levert waardevolle gegevens over pompprestaties en voorspellend onderhoud, waardoor de uptime van het gereedschap wordt gemaximaliseerd."
EdCentra vervangt FabWorks en biedt veel nieuwe en verbeterde subfab-beheermogelijkheden, mogelijk gemaakt door de intuïtieve, grafische en volledig aanpasbare gebruikersinterface. Het stelt de operator van de subfab-apparatuur, de procesingenieur of de operationeel manager in staat om in realtime een uitgebreid overzicht te krijgen van de status van de apparatuur, en met slechts enkele muisklikken snel tot op het niveau van één apparaat te gaan. Een uitgebreide historische trendanalyse maakt een snelle analyse van de hoofdoorzaak van storingsmodi mogelijk door middel van een eenvoudige grafische trendvergelijking op het scherm voor meerdere tools en parameters. Geavanceerde functies omvatten: parameterdrempelbewaking en voorspellend onderhoud, voor processpecifieke bewaking, evenals conditiegebaseerd onderhoud en onderhoudspooling.
EdCentra is ontworpen voor een snelle, gerichte implementatie van nieuwe markt- en klantvereisten en de naadloze toevoeging van nieuwe en kritische trends in de monitoring van subfabapparatuur. Het systeem kan anticiperen op nieuwe soorten databases, communicatieprotocollen en ecosystemen voor gegevensbeheer.
Stoddart voegt eraan toe: "EdCentra is klaar voor de toekomst. Het integreert onze wereldwijde apparatuur- en proceskennis en biedt onze klanten door middel van monitoring, geavanceerde diagnostiek en voorspellende mogelijkheden de gemoedsrust dat hun subfab-infrastructuur goed wordt onderhouden en klaar is om constante proces- en opbrengstprestaties te leveren."