Edwards viert 100 jaar innovatie op SEMICON Korea

Nieuwe benaderingen voor vacuüm- en afvoervraagstukken maken het mogelijk om nieuwe, complexere chiptechnologieën en productievere fabs te realiseren.

Op SEMICON® Korea zal Edwards dit jaar innovatieve oplossingen presenteren die chipfabrikanten helpen concurrerend te blijven in de veeleisende en diverse markt van vandaag. De groeiende vraag naar complexere ontwerpen bij kleinere technologieknooppunten heeft geleid tot vele verschillende halfgeleiderproductieprocessen die gebruikmaken van een breed scala aan technologische benaderingen en materialen – allemaal afhankelijk van nieuwe vacuüm- en afbraaktechnologieën voor een succesvolle implementatie.

Edwards viert dit jaar 100 jaar technologische innovatie. Het zal nieuwe benaderingen voor innovatie, productiviteit en veiligheid presenteren in twee presentaties tijdens SEMICON Korea:

˗ “Voorlopers van CVD en bijbehorende bijproducten – het waarborgen van maximale kamerproductiviteit,” door Al Brightman, Sr. Product Manager, Edwards. Dit artikel presenteert optimale vacuümoplossingen die zijn ontworpen om stilstand van apparatuur te verminderen en de productiviteit in de fabriek te verbeteren. Daarnaast kunnen gezondheids- en veiligheidsrisico's aanzienlijk worden verminderd (woensdag 23 januari, kamer 308). ˗ “Het mogelijk maken van 3D- en hoog-aspect-ratio etstechnologieën via vacuümprocessen in de kamer,” door Adam Stover, Applications Manager, Edwards. Dit artikel bespreekt niet alleen traditionele pompuitdagingen en bewezen oplossingen, maar ook de nieuwe toepassingsuitdagingen die mogelijk complexere 3D NAND-, DRAM- en andere apparaatstructuren kunnen beperken (donderdag 24 januari, kamer 307).

In stand D104 zal Edwards een next-generation model presenteren van zijn populaire iXH droge vacuümpomp, die specifiek is ontworpen voor het verwerken van condenseerbare gassen. Deze pomp biedt een hogere temperatuurbestendigheid voor zware processen. "Veilig en effectief beheer van procesuitlaat is tegenwoordig een groeiende zorg, vooral met de ontwikkeling van steeds strengere emissiegrenzen wereldwijd," aldus Jason Yun, General Manager van Edwards Korea. "Tegelijkertijd introduceren geavanceerde technologieën nieuwe materialen en processen die uitdagingen met zich meebrengen, elk vereisend een geoptimaliseerde vacuüm- en afbraaksoplossing. Bijvoorbeeld, onze next-generation iXH-pomp is specifiek ontworpen om de ophoping van condenseerbare materialen binnenin de pomp te voorkomen." Yun voegt toe: "Nu Edwards dit jaar haar 100-jarig jubileum viert, kijken we ernaar uit om nauw samen te blijven werken met onze klanten om oplossingen te creëren die hen in staat stellen te innoveren." Bezoek Edwards in stand D104 tijdens SEMICON Korea om meer te weten te komen over sub-fab oplossingen en diensten met toegevoegde waarde. SEMICON Korea vindt plaats van 23 tot 25 januari in COEX, Seoul, Korea.