14 januari 2019
Dit jaar vieren we ons 100-jarig bestaan
De heer F.D. Edwards en 100 jaar vacuüm
Fysicus F.D. Edwards richtte Edwards Vacuum in Londen op in 1919. Hoewel hij de omvang van de activiteiten van Edwards vandaag de dag misschien niet kent, zou hij ongetwijfeld de innovatieve geest van zijn bedrijf en het enorme belang van vacuüm voor de industrie en technologie herkennen, zoals hij dat in 1919 deed. Hoewel hij veel van de kritieke toepassingen van vacuüm zo goed kent (gloeilampen, CRT-televisies, vacuümkleppen) zijn vervangen door volledig nieuwe technologieën (leds, vlakschermen, halfgeleidertransistoren), De behoefte aan vacuüm als kritieke procesbevorderaar is toegenomen en de vraag naar innovatieve vacuümoplossingen voor nieuwe toepassingen groeit fenomenaal snel.
Vacuüm voor vooruitgang in wetenschap en technologie
Edwards heeft de afgelopen 100 jaar aanzienlijke vooruitgang geboekt en blijft een steeds belangrijkere rol spelen in wetenschap en technologie. Zelfs in het afgelopen decennium zagen we veel nieuwe vacuümtoepassingen ontstaan en groeien, waaronder de productie van smartphones en tablets, HB LED-verlichting, zonnepanelen en Li-ion-accu's voor elektrische voertuigen. Als we gewoon naar een moderne smartphone kijken, is de hoeveelheid productie-inhoud die vacuüm nodig heeft als kritieke procesbevorderaar enorm, van de geavanceerde halfgeleiderapparaten zoals processors en geheugen, mems-sensoren, LCD/LED-schermen met hoge resolutie, LED-zaklampen en li-ionbatterijen tot het vormen van de behuizing en antireflecterende, oleofobe schermcoatings. Het is moeilijk om ons het leven tegenwoordig voor te stellen zonder de producten die vacuüm mogelijk maakt.
Het belang van vacuüm en bestrijding voor halfgeleiderprocessen
Als het gaat om halfgeleiderprocessen, zijn vacuüm en bestrijding twee van de meest kritische functies van de subfab die de wet van Moores mogelijk maken. Vacuümpompen evacueren de proceskamers om de vereiste druk en debiet voor elke processtap te leveren en verwijderen tegelijkertijd ongebruikt procesgas en bijproducten, die vervolgens naar de bestrijdingssystemen worden geleid voor behandeling, zodat ze veilig kunnen worden vrijgegeven of afgevoerd. In de jaren 1980 leidden nieuwe halfgeleiderprocessen en toenemende gasstromen tot problemen met agressieve chemicaliën en vaste stoffen die zich ophopen in de olie die wordt gebruikt in oliegesmeerde 'natte' pompen, wat resulteerde in korte onderhoudsintervallen en hoge eigendomskosten. Deze problemen werden opgelost door de ontwikkeling en introductie van olievrije 'droge pompen'. Henry Wycliffe van Edwards octrooieerde de droge wortel-/klauwenpomp in 1984, die al snel werd geaccepteerd als de nieuwe technologie voor complexe halfgeleiderprocessen. Sindsdien heeft Edwards voortdurend geïnnoveerd om de snelle vooruitgang in halfgeleiderprocessen en de complexe en uitdagende chemische stoffen die worden gebruikt om de Moores' wet te versnellen mogelijk te maken. In veel gevallen zouden nieuwe processen niet mogelijk zijn geweest zonder grote innovaties in vacuüm- en bestrijdingsapparatuur. Ook de milieu-impact van onze producten krijgt een uitgebreide innovatiefocus. Vacuümpompen alleen al kunnen tot 25% van het totale energieverbruik van een halfgeleiderfabriek uitmaken en Edwards heeft een sterke staat van dienst op het gebied van innovaties die efficiëntere en duurzamere producten leveren en tegelijkertijd de toenemende chemische uitdagingen van de verpompte gassen oplossen. Onze nieuwste vijfde generatie droge pomp voor halfgeleiders verbruikt bijvoorbeeld minder dan 50% van de energie van zijn voorganger en biedt tegelijkertijd hogere prestaties, langere onderhoudsintervallen en een veel kleinere voetafdruk om het gebruik van subfab-ruimte te verbeteren. Op dezelfde manier maken onze bestrijdingssystemen het veilig beheer van steeds uitdagendere gaschemie mogelijk en voorkomt onze wereldwijde installatiebasis de uitstoot van ongeveer 14 miljoen ton CO2-equivalent per jaar.
De innovatiekracht van Edwards op het gebied van vacuüm en bestrijding
De heer Edwards was een zeer succesvolle ondernemer die een omgeving creëerde waarin innovatie floreerde en dat is sindsdien in het DNA van Edwards gebleven. Veel van de markten en toepassingen die we bedienen zijn zeer dynamisch en hebben vaak veranderende en nieuwe uitdagende vereisten voor onze producten. Daarom is het voor Edwards en onze klanten van cruciaal belang om innovatieve oplossingen voor complexe uitdagingen te kunnen ontwikkelen. Om alle nieuwe vacuümkritische toepassingen voor te blijven, heeft Edwards een reeks succesvolle innovaties en nieuwe producten en technologieën ontwikkeld. Vandaag de dag hebben we meer dan 20 verschillende principes voor het creëren van vacuüm en het bestrijden van gas en een portfolio van meer dan 2300 actieve verleende en aangevraagde patenten.
Een blik op de toekomst van vacuüm
Wat de toekomst ook in petto heeft, vacuüm zal een cruciale bevoorradende rol blijven spelen. De omvang en het aantal toepassingen waarvoor vacuüm nodig is, blijven groeien en hoewel er zeker technologische veranderingen zullen plaatsvinden, is Edwards goed gepositioneerd om deze toepassingen mogelijk te maken met innovatieve oplossingen. Als we naar ons dagelijks leven kijken, zien we gemakkelijk enkele van de doordringende thema's die de voortdurende vraag naar nieuwe en verbeterde oplossingen stimuleren, zoals de digitale wereld en de kansen die voortvloeien uit intelligenter verbonden producten met een hoger verwerkingsvermogen. Het is essentieel dat we ons blijven richten op oplossingen die de impact op het milieu minimaliseren door middel van meer energie- en materiaalefficiënte producten, en dat we doorbraken in wetenschap en technologie op een duurzame en productieve manier ondersteunen. Ik denk dat de heer F.D. Edwards extreem trots zou zijn op wat Edwards in zijn 100-jarige geschiedenis heeft bereikt, en onze voortdurende focus en investeringen in innovatie stellen ons in een geweldige positie voor de komende 100 jaar!