MENINGKATKAN PRODUKTIVITI SEMENTARA MENURUNKAN KOS DAN IMPAK PERSEKITARAN
Sebagai sebahagian daripada proses penambahbaikan berterusan kami, kami merancang peningkatan untuk membantu pelanggan kami meningkatkan prestasi mesin mereka, mengurangkan kos pemilikan, dan mencapai matlamat kelestarian mereka.
- Melindungi prestasi peralatan
- Mengurangkan jumlah kos pemilikan
- Peningkatan Alam Sekitar
MEMELIHARA PRESTASI PERALATAN
Peningkatan yang direka untuk meningkatkan prestasi mesin anda dan meningkatkan produktiviti operasi anda.
Peningkatan pengurangan partikel pada alat untuk Turbopompa Maglev
Dalam misi berterusan kami untuk meningkatkan produktiviti dan hasil pelanggan kami, kami merancang satu siri penyelesaian yang membolehkan pelanggan kami mengurangkan pencemaran partikel pada wafer dalam aplikasi semikonduktor dengan menggunakan tiga teknologi pada alat, iaitu Teknologi Anti-Recoil, Penutup Rotor Cup, dan penggunaan Pam Suhu Tinggi.
Teknologi Anti-Recoil
Semasa pengeluaran, zarah boleh melantun dari turbopump ke dalam ruang, berpotensi mencemari wafer dan mengurangkan produktiviti. Teknologi Anti-Recoil kami secara signifikan mengurangkan pencemaran partikel dengan membenarkan mereka melalui pam turbo dengan mudah ke dalam ekzos.
Penutup Cawan Rotor
Untuk mencegah kakisan dan pengumpulan zarah pada penutup rotor (di pintu masuk pam turbo), kami telah mengembangkan Penutup Rotor Tahan Kakisan yang mencegah pembentukan deposit dan kakisan pada komponen keluli tahan karat.
Pam Suhu Tinggi
Sumber lain pencemaran partikel datang dari pemendapan di dalam pam turbo, yang juga boleh membenarkan partikel bergerak kembali melalui pam turbo dan masuk ke dalam ruang. Dengan menggunakan Pam Suhu Tinggi, laluan gas dipanaskan hingga suhu yang sangat tinggi, mengurangkan pembentukan deposit. Pam-pam ini mempunyai lapisan emisi haba tinggi yang khas pada komponen vakum utama, seperti rotor dan stator, dan profil suhu mereka sentiasa dioptimumkan untuk hasil terbaik.
Ketiga-tiga teknologi pengurangan zarah boleh dipasang semasa servis pam biasa di Pusat Teknologi Perkhidmatan kami untuk memastikan pelanggan dapat mengoptimumkan produktiviti bagi peralatan baru dan pangkalan yang sedia ada.
Tingkatkan hasil semikonduktor dengan Peningkatan Pam EUV
Dalam industri kompetitif pembuatan semikonduktor, memaksimumkan produktiviti sambil menguruskan kos tenaga di kemudahan pembuatan adalah penting. Naik taraf pam kering EUV kami direka untuk meningkatkan prestasi peralatan anda dengan ketara, memastikan peningkatan hasil semikonduktor yang optimum. Dengan mengintegrasikan perkhidmatan peralatan semikonduktor yang canggih, naik taraf kami bukan sahaja meningkatkan hasil dalam pembuatan semikonduktor tetapi juga menyumbang kepada penjimatan tenaga yang ketara. Pendekatan holistik ini untuk peningkatan hasil dalam proses semikonduktor memastikan bahawa kemudahan pembuatan anda beroperasi pada kecekapan maksimum.
Perlindungan Pam Kering XCEDE untuk proses pembuatan yang keras
Teknologi perlindungan Pam Kering XCEDE mencegah kakisan komponen pam yang kritikal dan meningkatkan masa antara selang perkhidmatan, memaksimumkan waktu operasi pelanggan. Teknologi ini mengatasi semua kaedah pesaing dengan menggunakan gabungan kompleks rawatan permukaan dan kejuruteraan ketepatan untuk mengurangkan haus kimia dan mekanikal dalam mekanisme pam bagi keluarga pam Edwards iH, iXH dan iXM.
MEMINIMUMKAN KOS KESELURUHAN PEMILIKAN
Peningkatan yang direka untuk meningkatkan masa antara perkhidmatan dan meningkatkan kecekapan armada peralatan anda untuk mengurangkan Jumlah Kos Pemilikan.
Pengurangan Kepala Berpori
Edwards telah membangunkan Porous Head, satu peningkatan perkhidmatan lapangan yang menggunakan blok logam berliang sintered, yang menyebarkan udara pembersihan secara merata di seluruh permukaan untuk mengurangkan risiko pengumpulan serbuk. Ia menggantikan kepala penebat seramik tradisional.
Semasa proses pengurangan, pepejal, biasanya serbuk, boleh terkumpul di kawasan yang tidak diingini dalam sistem, seperti bahagian bawah kepala inlet. Pengumpulan serbuk ini menyebabkan penyumbatan yang menghalang aliran gas proses, menyebabkan intervensi perkhidmatan yang dirancang sering berlaku. Dalam satu tahun proses yang teruk, pengumpulan serbuk ini boleh menyebabkan lebih daripada sembilan gangguan perkhidmatan yang mengakibatkan peningkatan kos pemilikan melalui penggunaan buruh dan alat ganti.
Pelanggan yang menggunakan peningkatan Porous Head, telah beralih dari sepuluh selang perkhidmatan setahun kepada hanya dua secara purata. Ini telah mengurangkan purata 64 jam waktu henti alat setiap tahun untuk pelanggan tanpa sistem pengurangan sandaran, yang menghasilkan tambahan $1.5 juta dalam throughput.
Pelanggan yang mempunyai sistem pengurangan sandaran melihat penjimatan yang ketara dalam alat ganti, tenaga kerja penyelenggaraan, dan peningkatan kecekapan tenaga dengan mengurangkan kebergantungan mereka terhadap sistem sandaran mereka.
Liner Pro: Retrofit pembakar generasi akan datang
Fabrik semikonduktor sentiasa berada di bawah tekanan untuk mengurangkan risiko waktu henti yang tidak dijangka, mengawal kos penyelenggaraan, dan meningkatkan kecekapan operasi. Liner Pro adalah liner pengurangan yang kukuh yang direka untuk menangani cabaran berulang dalam penyelenggaraan liner pembakar dalam sistem pengurangan. Ia juga kini merupakan komponen yang boleh digunakan semula untuk menyokong usaha kelestarian anda. Dengan mengintegrasikan Liner Pro ke dalam pelan perkhidmatan, anda dapat memperkemas operasi, mengurangkan kos pemilikan keseluruhan, dan mengekalkan prestasi tinggi dalam proses yang menuntut.
Perkhidmatan Kehidupan
Kapal yang menggunakan mesin yang telah beroperasi lebih dari lima tahun berisiko mengalami kegagalan yang tidak dijangka dalam elektronik kritikal mereka tanpa mengira prestasi mekanikal mereka, yang terutamanya dipelihara melalui rejim penyelenggaraan yang berkesan.
Penyelesaian Edwards Life Services adalah pilihan yang hebat untuk menyegarkan mesin dan memanjangkan jangka hayat armada anda. Perkhidmatan Hayat merangkumi semua bahagian elektronik sistem utama dengan jaminan lanjutan, memastikan peralatan anda berfungsi selama bertahun-tahun akan datang.
Perkhidmatan Kehidupan tersedia melalui rangkaian global Pusat Teknologi Perkhidmatan kami.
PENINGKATAN PERSEKITARAN
Peningkatan yang direka untuk memanjangkan jangka hayat armada peralatan anda dan kesan alam sekitarnya bagi membantu anda mencapai sasaran kelestarian anda.
Mengurangkan kos tenaga dalam pembuatan dengan peningkatan penjimatan tenaga kami
Peningkatan pam kering Edwards iXH1210 ini adalah pertukaran yang mudah, tanpa kerja tambahan untuk pasukan di lokasi dan tanpa kehilangan waktu henti semasa proses peningkatan.
Ia memberikan hampir satu pertiga daripada kos tenaga untuk beroperasi, dan membantu mengurangkan kesan alam sekitar anda, dengan menjimatkan lebih banyak pelepasan karbon, menyumbang kepada matlamat alam sekitar anda. Tidak hairanlah kita menyebutnya sebagai peningkatan penjimatan tenaga.
Sekarang bayangkan mengalikan nombor-nombor itu dengan jumlah pam yang boleh dinaik taraf di Fab anda?
Selain itu, terdapat manfaat tambahan bahawa pelanggan kami tidak perlu merancang modal untuk pam baru, kerana peningkatan boleh dicapai melalui proses peningkatan Perkhidmatan Pintar Edwards.
Peningkatan pam penjimatan tenaga EUV
Dalam pembuatan semikonduktor, kelestarian semakin menjadi penting. Peningkatan pam kering EUV kami direka untuk menyokong kelestarian dengan mengurangkan penggunaan tenaga dalam proses EUV dan penggunaan tenaga EUV secara signifikan. Dengan menaik taraf pam anda, anda dapat mengoptimumkan prestasi tenaga proses, mencapai penjimatan tenaga yang ketara sambil meningkatkan produktiviti.
Ketahui lebih lanjut tentang penjimatan tenaga EUV dalam kisah kejayaan pelanggan kami di bawah:
Penukar Haba
Pencemaran air penyejuk di seluruh kilang adalah risiko yang ditimbulkan oleh sistem pengurangan tanpa jadual penyelenggaraan yang ketat. Dalam banyak sistem, penukar haba terdedah kepada kerosakan kakisan akibat kimia proses berasid yang boleh menyebabkan kebocoran ke dalam air penyejuk proses di Fab. Pencemaran ini boleh merosakkan alat proses lain yang menggunakan litar air penyejuk yang sama. Ia juga menimbulkan risiko kepada alam sekitar kerana ia berbahaya untuk dilupuskan.
Kit peningkatan perkhidmatan lapangan penukar haba adalah penyelesaian yang berkesan yang menukarkan penukar haba yang disolder sedia ada kepada reka bentuk plat dan gasket yang baru, tanpa pengubahsuaian yang ketara kepada sistem. Ia memberikan ketahanan yang lebih baik terhadap serangan asid berbanding dengan penukar haba asal, menawarkan jangka hayat yang lebih lama sekitar lima hingga sepuluh kali ganda dan mengurangkan risiko pencemaran air penyejuk Fab.
