ZWIĘKSZENIE PRODUKTYWNOŚCI PRZY JEDNOCZESNYM OBNIŻENIU KOSZTÓW I WPŁYWU NA ŚRODOWISKO
W ramach naszego procesu ciągłego doskonalenia projektujemy modernizacje, aby pomóc naszym klientom poprawić wydajność ich maszyn, obniżyć koszty posiadania i osiągnąć ich cele w zakresie zrównoważonego rozwoju.
- Ochrona wydajności urządzeń
- Niski całkowity koszt posiadania
- Środowisko naturalne
OCHRONA WYDAJNOŚCI URZĄDZEŃ
Modernizacje mające na celu poprawę wydajności maszyny i zwiększenie produktywności operacji
Ulepszenia redukcji cząstek stałych w turbopompach Maglev
W ramach nieustannej misji poprawy produktywności i wydajności naszych klientów opracowaliśmy serię rozwiązań, które umożliwiają naszym klientom zmniejszenie zanieczyszczenia cząstek stałych na płytkach w zastosowaniach półprzewodnikowych dzięki zastosowaniu trzech technologii na narzędziu, naszej technologii zapobiegającej cofaniu się, pokrywy miski wirnika i wykorzystaniu pomp wysokotemperaturowych.
Technologia antyodrzutowa
Podczas produkcji cząstki mogą cofać się z pompy turbo do komory, potencjalnie zanieczyszczając płytki i zmniejszając wydajność. Nasza technologia Anti-Recoil znacznie zmniejsza zanieczyszczenie cząstkami stałymi, umożliwiając ich łatwe przedostawanie się przez pompę turbo do układu wydechowego.
Pokrywa komory wirnika
Aby zapobiec korozji i gromadzeniu się cząstek stałych na misce wirnika (na wlocie pompy turbo), opracowaliśmy odporną na korozję pokrywę miski wirnika, która zapobiega zarówno tworzeniu się osadów, jak i korozji elementów ze stali nierdzewnej.
Pompy wysokotemperaturowe
Innym źródłem zanieczyszczenia cząstkami stałymi jest osadzanie się cząstek wewnątrz pompy turbo, co może również umożliwić przemieszczanie się cząstek z powrotem przez pompę turbo do komory. Dzięki zastosowaniu pomp wysokotemperaturowych droga gazu jest podgrzewana do bardzo wysokich temperatur, co zmniejsza tworzenie się osadów. Pompy te mają specjalną powłokę o wysokiej emisji ciepła na kluczowych elementach próżniowych, takich jak wirnik i stojan, a ich profil temperaturowy jest stale optymalizowany w celu uzyskania najlepszych wyników.
Wszystkie trzy technologie redukcji cząstek stałych można zainstalować podczas regularnego serwisowania pompy w naszym Centrum Technologii Serwisowej, aby zapewnić klientom optymalizację wydajności nowych urządzeń i ich istniejącej bazy zainstalowanej.
Zwiększ wydajność półprzewodników dzięki modernizacji pomp EUV
W konkurencyjnej branży produkcji półprzewodników kluczowe znaczenie ma maksymalizacja produktywności przy jednoczesnym zarządzaniu kosztami energii w zakładach produkcyjnych. Nasze modernizacje pomp suchych EUV zostały zaprojektowane w celu znacznego zwiększenia wydajności urządzeń, zapewniając optymalną poprawę wydajności półprzewodników. Dzięki integracji zaawansowanych usług w zakresie urządzeń półprzewodnikowych nasze modernizacje nie tylko zwiększają wydajność produkcji półprzewodników, ale także przyczyniają się do znacznych oszczędności energii. To holistyczne podejście do poprawy wydajności w procesach produkcji półprzewodników zapewnia, że zakłady produkcyjne pracują z maksymalną wydajnością.
Ochrona pompy suchej XCEDE w trudnych warunkach produkcyjnych
Technologia ochrony pomp suchych XCEDE zapobiega korozji kluczowych podzespołów pompy i wydłuża okresy międzyserwisowe, maksymalizując czas sprawnego działania klienta. Technologia ta przewyższa wszystkie konkurencyjne metody dzięki zastosowaniu złożonego połączenia obróbki powierzchniowej i precyzyjnej inżynierii w celu zmniejszenia zużycia chemicznego i mechanicznego w mechanizmie pomp serii iH, iXH i iXM firmy Edwards.
NISKI CAŁKOWITY KOSZT POSIADANIA
Modernizacje zaprojektowane z myślą o wydłużeniu okresów międzyserwisowych i zwiększeniu wydajności floty urządzeń w celu obniżenia całkowitego kosztu posiadania.
Głowica porowata do usuwania
Firma Edwards opracowała głowicę porowatą, modernizację serwisową, która wykorzystuje spiekany, porowaty, metalowy blok, który równomiernie rozprowadza przedmuch powietrzem na powierzchni, aby zmniejszyć ryzyko gromadzenia się proszku. Zastępuje on tradycyjną ceramiczną głowicę izolacyjną.
Podczas procesu oczyszczania w niepożądanych obszarach systemu, takich jak spód głowicy wlotowej, mogą gromadzić się ciała stałe, zazwyczaj proszki. Takie nagromadzenie proszku prowadzi do zablokowania, które uniemożliwia przepływ gazów procesowych, powodując częste planowe interwencje serwisowe. W ciągu roku intensywnych procesów nagromadzenie się proszku może spowodować ponad dziewięć przerw w serwisie, co skutkuje zwiększeniem kosztów posiadania w wyniku użycia robocizny i części zamiennych.
Klienci korzystający z modernizacji Porous Head przeszli z dziesięciu okresów międzyserwisowych rocznie na średnio tylko dwa. Dzięki temu udało się skrócić średnio 64 godziny przestojów narzędzi rocznie dla klientów bez rezerwowego systemu oczyszczania spalin, co skutkuje dodatkową przepustowością wynoszącą 1,5 mln $.
Klienci dysponujący rezerwowym systemem oczyszczania spalin doświadczają znacznych oszczędności w zakresie części zamiennych, robocizny związanej z konserwacją oraz zwiększonej efektywności energetycznej dzięki zmniejszeniu zależności od systemu rezerwowego.
Usługi żywotności
Floty maszyn, które są używane od ponad pięciu lat, są narażone na nieoczekiwane awarie ich krytycznej elektroniki, niezależnie od ich wydajności mechanicznej, która jest zachowywana głównie dzięki skutecznym reżimom konserwacji.
Rozwiązanie Life Services firmy Edwards to doskonała opcja odświeżenia maszyn i wydłużenia okresu eksploatacji floty. Usługi Life Services obejmują wszystkie główne części elektroniczne systemu z przedłużonymi gwarancjami, dzięki czemu Twój sprzęt będzie działał przez wiele lat.
Usługi Life Services są dostępne za pośrednictwem naszej globalnej sieci Centrów Technologii Serwisowej.
ŚRODOWISKO NATURALNE
Modernizacje zaprojektowane w celu wydłużenia żywotności floty urządzeń i ich wpływu na środowisko, aby pomóc Ci osiągnąć cele w zakresie zrównoważonego rozwoju.
Obniżenie kosztów energii w produkcji dzięki naszym energooszczędnym modernizacjom
Ta modernizacja pompy suchej Edwards iXH1210 jest łatwa w wymianie, bez dodatkowego nakładu pracy zespołów na miejscu i bez strat związanych z przestojami podczas procesu modernizacji.
Zapewnia prawie jedną trzecią kosztów energii i pomaga zmniejszyć wpływ na środowisko poprzez zmniejszenie emisji dwutlenku węgla, przyczyniając się do realizacji celów środowiskowych. Nic dziwnego, że nazywamy to energooszczędną modernizacją.
Wyobraź sobie teraz, że pomnożysz te liczby przez liczbę pomp, które można zmodernizować w swojej fabryce?
Dodatkową zaletą jest to, że nasi klienci nie muszą planować inwestycji w nowe pompy, ponieważ modernizację można przeprowadzić w ramach procesu modernizacji Intelligent Service firmy Edwards.
Modernizacja energooszczędnej pompy EUV
W produkcji półprzewodników zrównoważony rozwój staje się coraz ważniejszy. Nasze modernizacje pomp suchych EUV zostały zaprojektowane z myślą o zrównoważonym rozwoju poprzez znaczne zmniejszenie zużycia energii w procesach EUV i zużycia energii EUV. Modernizując pompy, można zoptymalizować wydajność energetyczną procesu, osiągając znaczne oszczędności energii przy jednoczesnym zwiększeniu wydajności.
Dowiedz się więcej na temat oszczędności energii EUV w naszej historii sukcesu poniżej:
Wymienniki ciepła
Zanieczyszczenie wody chłodzącej w całej fabryce stanowi ryzyko związane z systemami oczyszczania spalin bez rygorystycznych harmonogramów konserwacji. W wielu systemach wymienniki ciepła są podatne na uszkodzenia korozyjne spowodowane kwaśnymi chemikaliami procesowymi, które mogą powodować wyciek do wody chłodzącej proces Fab. Zanieczyszczenie to może uszkodzić inne narzędzia procesowe, które korzystają z tego samego obiegu wody chłodzącej. Stanowi również zagrożenie dla środowiska, ponieważ jego utylizacja jest niebezpieczna.
Zestaw do modernizacji wymiennika ciepła w terenie to skuteczne rozwiązanie, które przekształca istniejący lutowany wymiennik ciepła w nową konstrukcję płyt i uszczelek bez znaczących modyfikacji systemu. Zapewnia lepszą odporność na działanie kwasów w porównaniu z oryginalnymi wymiennikami ciepła, zapewniając około pięcio- do dziesięciokrotnie dłuższą żywotność i zmniejszając ryzyko zanieczyszczenia wody chłodzącej Fab.
Liner Pro: modernizacja palnika nowej generacji
Fabryki półprzewodników są pod stałą presją, aby zmniejszyć ryzyko nieoczekiwanych przestojów, kontrolować koszty konserwacji i poprawić wydajność operacyjną. Liner Pro to wytrzymała wykładzina układu oczyszczania spalin, która została zaprojektowana z myślą o powtarzających się wyzwaniach związanych z konserwacją wykładzin palników w systemach oczyszczania spalin. Jest to również element wielokrotnego użytku, który wspiera Twoje wysiłki na rzecz zrównoważonego rozwoju. Integrując Liner Pro z planem serwisowym, możesz usprawnić operacje, obniżyć całkowity koszt posiadania i utrzymać wysoką wydajność w wymagających procesach.
