터보 분자 펌핑 스테이션

Turbomolecular Pumping Stations

Edwards T 스테이션 85 및 TIC 터보 분자 펌핑 스테이션

Edwards의 터보 분자 펌핑 스테이션 제품군은 설치와 작동이 쉽도록 최신 기술이 탑재된 종합적인 진공 솔루션을 제공하기 위해 개발되었습니다.

Edwards T 스테이션 85 펌핑 스테이션

Edwards T 스테이션 85 펌핑 스테이션

T 스테이션 85 펌핑 스테이션

T 스테이션 85는 건식 다이아프램 펌프 또는 오일 씰 보조 펌프 및 간단한 컨트롤러가 있는 nEXT85H 터보 분자 펌프와 매끄럽게 결합되며, 펌핑 속도는 47 l/s에서 84 l/s입니다.

T 스테이션 85는 통합 터보 및 액티브 게이지 제어기를 포함하며 시스템을 한 개의 버튼으로 가동/중단할 수 있습니다. 또한 활성 게이지 중 하나를 제어할 수 있는 기능, 게이지 장착 시 시간 또는 압력에 맞추어 배기 밸브 제어 및 터보 분자 펌프 지연 시작할 수 있는 기능이 있어 T 스테이션 85는 일반 실험실용으로 이상적입니다.

Edwards TIC 터보 분자 펌핑 스테이션

Edwards TIC 터보 분자 펌핑 스테이션

TIC 터보 분자 펌핑 스테이션

모든 Edwards 터보 분자 펌핑 스테이션에는 TIC 터보 및 기기 컨트롤러가 함께 제공되어 제어 패널 패널에서 시스템 시작/중지를 할 수 있고 Edwards 활성 게이지와 쉽게 통합할 수 있습니다.

TIC 터보 분자 펌핑 스테이션은 펌핑 속도 속도 85 l/s에서 최대 400 l/s인 제품군과 TIC 컨트롤러, 오일 씰 또는 건식 배압 펌프 중 한 가지를 선택하여 제공됩니다. 모든 TIC 터보 분자 펌핑 스테이션은 신뢰성을 검증받았으며 최종 사용자가 서비스할 수 있는, 업계 최고의 nEXT 터보 분자 펌프가 함께 제공됩니다.

오일 씰 펌프에는 EMF 미스트 필터가 표준으로 장착되어 있으며 nXDS 건식 스크롤 펌프에는 터보 펌프와 배압 펌프 사이에 차단 밸브가 표준으로 장착되어 있습니다.

T 스테이션 85 - 완전한 펌핑 솔루션

  • 바닥판 양측에 수동 취급용 고무 발과 절단부가 포함되어 있어 작고 낮으면서도 넘어지지 않는 안정적인 설계 구현
  • 전체 메탈 프레임을 사용하여 강한 부하에서도 찌그러짐도 파손 없는 견고한 설계 구현
  • E2M1.5 또는 XDD1 고용량 배압 펌프로 오일 씰 펌프 또는 완전 건식 다이아프램 펌프 중 한 가지 선택 가능
  • 통합 공냉기가 내부 전원 공급 장치와 펌프/컨트롤러를 냉각시켜 주어 여러 팬을 사용할 필요가 없으며 조용한 작업 환경을 제공
  • 고객 통합 제어 기능

T 스테이션 85 - 준비 완료

  • 가동 및 중단 명령 전용 버튼
  • 정확한 디스플레이 판독 용이
  • TAV5 배기구 밸브가 사용자 개입 없이 자동 배기구에 장착되는 배기구 모드 선택 가능
  • 해당 응용 분야에 맞게 NW40, ISO63 또는 CF63 흡입 플랜지 중 한 가지를 선택하여 사용 가능
  • 사용자 서비스가 가능한 nEXT85H 터보 분자 펌프

T 스테이션 85  기술 사양 
N2 펌핑 속도   
NW40 47 ls-1 
ISO/CF63  84 ls-1
N2 압축비   >1 x 1011
50Hz에서의 보조 펌프 속도   
E2M1.5(TS85H 습식)  1.6 m3h-1
XDD1(TS85H 건식)   1.2 m3h-1
절대 진공   <5 x 10-10mbar*
흡입 플랜지   NW40, ISO63 또는 CF63
배기구 플랜지   
E2M1.5(TS85H 습식)  11mm 외부 직경 노즐 또는 3/8” BSP 
XDD1(TS85H 건식)   장착 소음기 또는 1/8” BSP
질량   
E2M1.5 시스템(TS85H 습식)  21kg 최대 
XDD1 시스템(TS85H 건식)  17kg 최대
소음 수준  ≤56 dB(A)
밀폐성  <1 x 10-6mbar ls-1
작동 온도 범위  12 - 40°C
*T 스테이션 85H 습식 CF63   
폭넓은 터보 분자 펌프 옵션

터보 분자 펌프 펌핑 스피드, 47에서 400 ls-1까지 그리고 DN40에서 DN160의 흡입구 플랜지 중 선택 가능합니다

전체 제어 가능

TIC 터보와 기기 컨트롤러는 펌프 전체와 최대 3개의 활성 게이지를 제어할 수 있으며 원격 통신을 제공합니다.

보조 펌프 선택 가능

용량 범위 1에서 20 m3h-1의 오일 씰 또는 건식 보조 펌프 중 선택 가능

사용자 서비스 가능

모든 nEXT 터보 분자 펌프와 보조 펌프는 사용자가 직접 서비스할 수 있을만큼 편리한 서비스를 자랑합니다.

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