Burgess Hill, UK (2019년 3월 14일) - 세계적인 진공 펌프 제조사인 Edwards가 새로운 iXH Mk2 시리즈를 출시한다. 이 시리즈는 고효율, 저전력의 기능을 갖춘 초강력 건식 펌프로 오늘날 반도체 공정에 필요한 요건을 만족한다. 또한 반도체, 디스플레이, LED 및 태양광 PV 제조 공정 분야에서서 앞으로 부상할 어플리케이션에 대비할 수 있는 진공 펌프이다.
Sr. Product Manager인 Al Brightman은 "새로운 iXH Mk2 건식 펌프는 가장 혹독한 공정 환경에서도 이전 세대 모델보다 더욱 긴 서비스 수명을 제공하며 전력 효율 면에서도 중대한 개선점을 제공한다. 또한 가혹한 공정 환경에 대한 역량, 신뢰성, 더 낮은 보유 비용에 새로운 기준을 적용했고 iXH 건식 펌프는 반도체 제조의 가장 혹독한 공정에서 환경에 미치는 영향을 줄여준다."고 말했다.
Edwards의 iXH Mk2 건식 펌프에 대한 문의 사항은 각 지역별 담당자에게 문의하면 더욱 자세한 정보를 확인할 수 있다.
