영국 웨스트 서섹스 버지스 힐 (2019년 3월 14일) - Edwards가 새로운 iXH Mk2 시리즈를 발표한다. 이 시리즈는 고효율, 저전력, 초강력 건식 펌프로 오늘날 반도체 공정에 필요한 요건을 만족하고, 반도체, 디스플레이, LED 및 태양광 PV 제조 공정 분야에서 앞으로 부상할 어플리케이션의 도전 과제를 대비할 펌프이다. Edwards는 iXH Mk2 솔루션을 3월 20일부터 22일까지 상하이의 SNIEC에서 열리는 중국 SEMICON®에서 선보인다(부스 1309 FPD CHINA).
"이 새로운 iXH Mk2 건식 펌프는 가장 혹독한 공정 환경에서도 이전 세대 모델보다 훨씬 더 긴 서비스 수명을 제공한다. 이 모델은 전력 효율 면에서도 중대한 개선점을 제공할 수 있다."라고 Al Brightman, Sr. Edwards Product Manager 또 "100년 역사의 기술 혁신을 이루어 내면서, 당사는 가혹한 공정 환경에 대한 역량, 신뢰성, 더 낮은 보유 비용에 '새로운 기준을 설정'하였다. iXH는 반도체 제조에 이용되는 가장 혹독한 몇 가지 공정에서 환경에 미치는 영향을 줄여준다."고 덧붙였다.
부스에 들러 iXH Mk2를 통한 하이-k, 로우-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN, EPI에서 부상하고 있는 공정 과제 해결 방법에 대해 알아보십시오.
