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nEXT55 및 nEXT85 터보 분자 펌프
Edwards의 nEXT 터보 분자 펌프는 유지보수가 쉬우므로 고객이 직접 펌프를 정비할 것을 권장합니다.

nEXT55 및 nEXT85 터보 분자 펌프의 카트리지와 베어링을 교체하는 방법

수십 년의 노하우를 토대로 개발된 nEXT 터보 분자 펌프는 탁월한 성능과 신뢰성은 물론 쉬운 유지보수로 실사용자가 직접 정비하는 것이 가능합니다. Edwards nEXT55/85, Edwards nEXT55 및 nEXT85 터보 분자 펌프의 카트리지를 바꾸고 베어링을 교체하는 방법은 아래 안내 영상 및 단계별 안내를 참고하십시오. nEXT 펌프에 대한 유지보수는 35,000시간마다 실행하는 것이 좋습니다.

카트리지를 교체하려면 공구가 필요합니다.


B8E200845 베어링 교환 공구 키트

  • B8G200811 베어링
  • 정품 오일 카트리지 키트
  • 2.5mm 육각 렌치
  • T15 & T10 별 모양 스크루드라이버.
  •  ¼인치 사각 스크루드라이버 비트
  • 플레인 윅 와셔(nEXT55/85 Any Orientation 유지보수용)


카트리지 교체를 위해서는 B8E200845 nEXT55/85 베어링 교환 공구 키트 및 B8G200811 nEXT55/85 베어링 & 오일 카트리지 키트가 필요합니다. 사전에 B8G200840 nEXT55/85 서비스 툴 키트 사용 설명서를 읽어보십시오.

펌프 정비 시 유의해야 할 5가지 팁

  1. 작업 영역과 펌프 베이스를 청소하고, 모든 공구가 깨끗하며 손상이 없는지 확인합니다. 베어링 유닛 및 주변 부품을 다룰 때는 장갑을 착용해야 합니다.

  2. 베어링 모듈 제거 및 삽입 시, 추출기 슬리브를 장착하거나 제거하는 동안 회전 방지 튜브를 사용하여 베어링이 미끄러지는 것을 방지합니다.

  3. 베어링 Preload 점검: 베어링 Preload 공구로 베어링이 올바르게 설정되었는지 점검합니다. 필요한 경우, 베어링 공구를 사용하여 Preload를 설정합니다. 그렇지 않으면 터보 펌프의 사용 수명이 단축될 수 있습니다. 플런저를 사용하여 모니터링하는 것이 좋습니다.

  4. 서비스 카운터 재 설정: 오일 카트리지 교환 또는 오일 카트리지 및 베어링 모듈 교환을 완료한 후에는 다음 서비스 간격을 예약하기 위해 서비스 간격을 재 설정하는 것이 중요합니다. 나머지 단계를 따르면 펌프가 간단한 설정/테스트 루틴을 시작합니다. 안전을 위해 컨트롤러를 전원 공급 장치에 연결하기 전에 진공 시스템에 펌프를 설치하십시오.

  5. 펌프 점검: 펌프를 작동하기 전에 간극 점검, 진공 누출 점검 및 작동 점검을 포함한 여러 점검을 하는 것이 좋습니다. 이러한 점검은 펌프가 최상의 상태를 유지하도록 돕습니다.

펌프 정비 시 유의해야 할 5가지 팁

  1. 작업 영역과 펌프 베이스를 청소하고, 모든 공구가 깨끗하며 손상이 없는지 확인합니다. 베어링 유닛 및 주변 부품을 다룰 때는 장갑을 착용해야 합니다.

  2. 베어링 모듈 제거 및 삽입 시, 추출기 슬리브를 장착하거나 제거하는 동안 회전 방지 튜브를 사용하여 베어링이 미끄러지는 것을 방지합니다.

  3. 베어링 Preload 점검: 베어링 Preload 공구로 베어링이 올바르게 설정되었는지 점검합니다. 필요한 경우, 베어링 공구를 사용하여 Preload를 설정합니다. 그렇지 않으면 터보 펌프의 사용 수명이 단축될 수 있습니다. 플런저를 사용하여 모니터링하는 것이 좋습니다.

  4. 서비스 카운터 재 설정: 오일 카트리지 교환 또는 오일 카트리지 및 베어링 모듈 교환을 완료한 후에는 다음 서비스 간격을 예약하기 위해 서비스 간격을 재 설정하는 것이 중요합니다. 나머지 단계를 따르면 펌프가 간단한 설정/테스트 루틴을 시작합니다. 안전을 위해 컨트롤러를 전원 공급 장치에 연결하기 전에 진공 시스템에 펌프를 설치하십시오.

  5. 펌프 점검: 펌프를 작동하기 전에 간극 점검, 진공 누출 점검 및 작동 점검을 포함한 여러 점검을 하는 것이 좋습니다. 이러한 점검은 펌프가 최상의 상태를 유지하도록 돕습니다.

오일 카트리지 및 베어링 교체 방법

nEXT55 및 85 진공 펌프에 대한 전체 비디오 시청하기
nEXT AO 진공 펌프에 대한 전체 비디오 시청하기

다음은 nEXT55/85 Any Orientation, nEXT55 및 nEXT85 펌프에서 오일 카트리지 및 베어링을 교체하는 단계별 프로세스입니다.

올바른 핀 선택

1단계: 올바른 핀 선택

첫 번째 단계는 항상 펌프의 크기에 따라 올바른 핀을 선택하는 것입니다. nEXT55용 핀과 nEXT85용 핀이 있습니다. 공구를 사용하기 전에 핀이 올바르게 배치되어 있고 홀더에서 쉽게 움직이는지 확인하십시오. 
소리 확인

2단계: 베어링 Preload 점검

권장 이동 거리 내에서 Preload 시 딸깍 소리가 들리는지 확인하십시오. 

오일 피드 너트 제거

3단계: 오일 카트리지 및 오일 피드 너트 제거

2.5mm 육각 렌치를 사용하여 오일 카트리지의 볼트를 풉니다. 오일 피드 너트를 제거하려면 T15 & T10 별 모양 스크루드라이버를 사용하십시오. 

베어링 모듈 교체

4단계: 베어링 모듈 교체

¼’’ 사각 스크루드라이버 비트를 사용하여 B8E200076 핀 스패너 토오크 어댑터의 도움을 받아 베어링 리테이닝 너트를 제거하십시오. 베어링 모듈을 제거할 때 깨끗하고 부드러운 표면을 사용하여 입구 플랜지 손상을 방지하십시오. 이제 베어링 모듈 추출기를 사용하여 새 베어링 모듈을 삽입하십시오.

베어링 너트 조립

5단계: 베어링 리테이닝 너트 조립

6Nm의 토오크 설정을 사용하십시오. 오일 피드 너트 어셈블리의 경우, 토오크 설정은 2Nm입니다. 새 오일 카트리지를 조립할 때 토오크 설정은 4Nm입니다.

Preload 점검

6단계: 베어링 Preload 점검

항상 올바른 핀 크기를 사용하고 있는지 확인하십시오. 오래된 부품은 폐기하고 다음 정비를 위해 공구를 보관하십시오. 빠른 가이드 지침에 따라 서비스 인디케이터를 재설정합니다.

공정 시작 전 및 진행 중

유지보수 프로세스

안전하고 효율적인 작동을 위해 다음 사항에 유의하십시오. 자세한 내용은 이 페이지 끝에 있는 B8E200845 베어링 교환을 참고 하시기 바라며, 항상 설명서를 끝까지 읽으십시오.

1. 포장 제거 및 검사

모든 포장을 제거하고 B8G200840 품목 체크리스트 또는 B8E200845 품목 체크리스트의 모든 품목을 수령했는지 확인합니다. 품목은 주문한 공구 키트 세트에 따라 다를 수 있으며, 누락된 품목이 있으면 가능한 한 빨리 공급업체에 알립니다.

2. 올바른 서비스 키트가 있는지 확인

베어링 모듈 서비스를 시작하기 전에, 올바른 베어링 및 오일 카트리지 서비스 키트 B8G200811을 구입했는지 확인하십시오.

3. Preload 사전 정비

펌프를 제거하거나 정비하기 전에 펌프가 정지된 상태이며 전류가 흐르지 않을 때까지 기다립니다.

4. 서비스 지침

다음 사항을 확인합니다.

  • 직접적인 작업 영역과 펌프 베이스를 청소합니다.
  • 모든 수공구는 깨끗하고 손상이 없는지 확인합니다.
  • 베어링 유닛 및 주변 부품을 취급할 때는 항상 장갑을 착용해야 합니다.

5. 베어링 모듈 제거

베어링 회전 방지 튜브를 사용하여 추출기 슬리브를 장착하는 동안 베어링이 미끄러지는 것을 방지할 수 있습니다.

6. 베어링 모듈 삽입

베어링 회전 방지 튜브를 사용하여 추출기 슬리브를 제거하는 동안 베어링이 미끄러지는 것을 방지할 수 있습니다.

7. 베어링 예비 부하 점검

베어링 Preload 공구는 베어링이 올바르게 설정되었는지 점검합니다. 필요한 경우, 공구를 사용하여 베어링 Preload를 설정할 수 있습니다. 그렇지 않으면 터보 펌프의 사용 수명이 단축될 수 있으며 테스트 플런저를 사용하여 Preload를 모니터링하는 것이 좋습니다.

8. 서비스 카운터 재설정

오일 카트리지 교환 또는 오일 카트리지 및 베어링 모듈 교환을 완료한 후에는 다음 서비스 간격을 예약하기 위해 서비스 간격을 재 설정하는 것이 중요합니다. 나머지를 따르면 펌프가 간단한 설정/테스트 루틴을 시작할 수 있습니다. 안전을 위해 컨트롤러를 전원 공급 장치에 연결하기 전에 진공 시스템에 펌프를 설치하십시오.

9. 펌프 점검

펌프를 작동하기 전에 간극, 진공 누출 및 작동 점검을 포함한 여러 점검을 수행하는 것이 좋습니다. 이러한 점검은 펌프가 최상의 상태를 유지하도록 설계되었습니다.

참조

복도에서 웃으며 서 있는 Edwards 직원들