Your browser is not supported

더 이상 지원하지 않는 브라우저를 사용하고 있습니다. 저희 웹 사이트를 계속 방문하려면 다음 지원되는 브라우저 중 하나를 선택하십시오.

다공성 헤드
비용 및 환경에 미치는 영향을 줄이면서 생산성 향상

지속적인 개선 공정의 일환으로 Edwards는 고객이 기계의 성능을 개선하고 소유 비용을 절감하며 지속 가능성 목표를 달성할 수 있도록 업그레이드를 설계합니다. 

장비 성능 보호

장비 성능을 개선하고 작업 생산성을 향상시키도록 설계된 업그레이드

자기부상 터보 펌프에 대한 온툴 입자 감소 업그레이드

고객의 생산성과 수율을 개선하기 위한 지속적인 노력의 일환으로, Edwards는 고객이 반도체 응용 분야에서 반동 방지 기술, 로터 컵 커버, 고온 펌프 사용이라는 세 가지 온툴 기술을 사용하여 웨이퍼 입자 오염을 줄일 수 있도록 하는 일련의 솔루션을 고안했습니다.  

반동 방지 기술 
생산 중에 입자가 터보 펌프에서 챔버로 반동하여 웨이퍼를 오염시키고 생산성을 떨어뜨릴 수 있습니다. Edwards의 반동 방지 기술은 터보 펌프를 통해 배기 시스템으로 쉽게 통과할 수 있도록 하여 입자 오염을 크게 줄여줍니다. 

로터 컵 커버  
로터 컵(터보 펌프 입구)에 부식 및 입자가 축적되는 것을 방지하기 위해, Edwards는 부식 방지 로터 컵 커버를 개발하여 스테인리스강 구성 요소의 증착과 부식을 모두 방지합니다.

고온 펌프 
또 다른 입자 오염원은 터보 펌프 내부의 증착에서 비롯되며, 입자가 터보 펌프를 통해 챔버로 다시 이동할 수도 있습니다. 고온 펌프를 사용하면 가스 경로가 매우 높은 온도까지 가열되어 증착 상태가 완화됩니다. 이러한 펌프는 로터 및 스테이터와 같은 주요 진공 구성 요소에 특수한 높은 열 방사율 코팅이 적용되어 있으며, 최상의 결과를 위해 온도 프로필이 지속적으로 최적화됩니다.

서비스 기술 센터의 정기 펌프 서비스 중에 3가지 입자 감소 기술을 모두 설치하여 신규 장비 및 기존 장착 기반에 대한 생산성을 최적화할 수 있습니다.

XCEDE 건식 펌프를 사용하여 거친 제조 공정 보호

XCEDE의 건식 펌프 보호 기술은 중요한 펌프 구성 요소의 부식을 방지하고 서비스 주기 간 간격을 늘려 가동 시간을 극대화합니다. 이 기술은 Edwards IH, iXH 및 iXM 펌프 제품군의 펌프 메커니즘 내에서 화학적 및 기계적 마모를 줄이기 위해 복잡한 표면 처리 및 정밀 엔지니어링 조합을 사용하여 어떠한 경쟁 방식보다 성능이 뛰어납니다.

총 소유 비용 최소화

서비스 간 간격을 늘리고 총 소유 비용을 절감하기 위해 장비의 효율을 높이도록 설계된 업그레이드.

저감 다공성 헤드

Edwards는 소결된 다공성 금속 블록을 사용한 현장 서비스 업그레이드인 다공성 헤드를 개발했습니다. 이 업그레이드는 표면 전체에 공기 퍼지를 고르게 분산시켜 분말 축적 위험을 줄입니다. 이는 기존의 세라믹 절연체 헤드를 대체합니다.

저감 공정 중에 고체(일반적으로 분말)가 입구 헤드 하부와 같은 시스템의 원치 않는 영역에 쌓일 수 있습니다. 이러한 분말 축적은 공정 가스의 흐름을 막는 막힘으로 이어져 계획된 서비스 개입을 자주 유발합니다. 1년 동안 열악한 공정에서 이러한 분말 축적으로 인해 9회 이상의 서비스 중단이 발생하여 인건비와 예비 부품 사용으로 인한 소유 비용 증가가 발생할 수 있습니다.

다공성 헤드 업그레이드를 사용하는 고객은 연간 10회의 서비스 주기를 평균 2회로 줄였습니다. 이로 인해 백업 저감 시스템이 없는 고객의 경우, 연간 평균 64시간의 툴 가동 중지 시간이 제거되어 $1만 달러의 추가 처리량을 확보할 수 있었습니다. 

백업 저감 시스템을 사용하는 고객은 백업 시스템에 대한 의존도를 줄임으로써 예비 부품, 정비 인력, 에너지 효율성 증대로 인해 상당한 절감 효과를 볼 수 있습니다.

수명 서비스

5년 이상 사용한 기계류가 있는 장비는 기계 성능에 관계없이 주요 전자 장치에 예기치 않은 고장이 발생할 위험이 있으며, 이는 주로 효과적인 유지보수 체제를 통해 예방할 수 있습니다. 

Edwards 수명 서비스 솔루션은 장비를 새로 고치고 장비의 수명을 연장하기 위한 훌륭한 옵션입니다. 수명 서비스는 보증 기간이 연장된 모든 주요 시스템 전자 부품에 적용되므로 향후 수년간 장비를 가동할 수 있습니다. 

수명 서비스는 글로벌 서비스 기술 센터 네트워크를 통해 이용할 수 있습니다.

환경 업그레이드

장비 수명 및 환경 영향을 늘려 지속 가능성 목표를 달성할 수 있도록 설계된 업그레이드입니다.

열 교환기

팹 전체의 냉각수 오염은 저감 계통에 의해 엄격한 정비 일정 없이 발생할 수 있는 위험입니다. 대부분의 시스템에서 열 교환기는 산성 공정 화학물질로 인한 부식 손상에 취약하며, 이 경우 팹의 공정 냉각수로 누출될 수 있습니다. 이 오염은 동일한 냉각수 회로를 사용하는 다른 공정 툴을 손상시킬 수 있습니다. 또한 폐기 시에 위험하며 환경에 위험을 초래할 수 있습니다. 

열 교환기 현장 서비스 업그레이드 키트는 기존의 브레이징된 열 교환기를 시스템에 대한 큰 변경 없이 새 플레이트와 개스킷 설계로 변환하는 효과적인 솔루션입니다. 이 제품은 원래 열 교환기와 비교하여 산 공격에 대한 저항성을 개선하여 사용 수명이 약 5-10배 향상되었으며 팹 냉각수 오염의 위험을 줄여줍니다.

map placeholder image
구독

이메일 업데이트를 받으시겠습니까?