Edwards Proteus
Edwards Proteus는 PFC 및 기타 지구 온실가스를 천연가스 또는 기타 탄화수소를 사용하지 않고 효과적으로 처리할 수 있게 해줍니다.
Proteus는 반도체 제조 시 발생하는 탄소 발자국을 감축하는 데 전력 소비량이 낮고 사용자 친화적이며 비용 효과적인 솔루션입니다.
- 낮은 전력 소비량, 고효율 플라스마 기술
- 플라스마 파워 모듈레이션
- 낮은 NOx 배출
- 긴 MTBS
- Proteus Dual로 가동시간 보호
- CF4와 같은 PFC 가스 및 SF6, NF3 및 N2O와 같은 다른 지구 온난화 가스의 높은 파괴 속도 효율(DRE)을 달성하는 고유한 저전력 플라즈마 기술입니다. 이는 Proteus를 반도체 제조 공정에서 발생하는 지구 온실가스의 저감을 위한 가장 비용 효율적인 솔루션 중 하나로 만듭니다.
- Proteus Plasma의 작동 전력은 들어오는 가스 부하의 기능에 따라 완전히 조절되어 사용자가 전력 소비를 최소화하면서도 최적의 처리 효율성을 유지할 수 있도록 해줍니다. 공정 도구 및 자동 플라즈마 전력 변조와의 인터페이싱을 통해 최고의 환경 성능을 유지하면서 운용 비용을 절감할 수 있는 추가적인 기회를 제공합니다.
- PFC 가스 저감 시에는 NOx 가스 형성을 촉진하는 고온이 필요합니다. Proteus Plasma 기술은 "열 NOx" 배출을 최소화하기 위해 개발되었고 현재 최고의 "저 NOx" PFC 저감 시스템 중 하나로 자리매김하고 있습니다.
- PFC 분자의 파괴는 독성 및 부식성 수용성 화합물의 생성을 통해 산 부하를 증가시키는 경향이 있습니다. Proteus Plasma 토치와 습식 스크러빙 단계는 구성 요소의 부식을 최소화하도록 특별히 설계되었습니다. Proteus는 뛰어난 분말 처리 기능과 결합하여 팹에서 안전한 작업 환경을 유지하면서 긴 MTBS를 달성할 수 있습니다.
- Proteus Dual은 복잡한 배관 및 인터페이스 없이도 저감 가용성을 확보할 수 있도록 완벽하게 통합된 "백업" 솔루션을 제공합니다. Proteus Dual 은 비용 효율적이고 설치가 간편한 솔루션입니다. 이는 공정 가동 시간을 유지하고, 설치 공간 및 설치 비용을 절감하는 동시에 하위 공정의 안전성을 향상시킬 수 있습니다.
친환경 목표를 Proteus로 어떻게 달성할 수 있을지 Edwards 의 전문가와 상담하십시오.
