믿을 수 있고 안정적인 진공 환경을 중요하게 생각하시나요? 그때마다 Edwards 진공 장비를 믿고 맡기셔도 좋습니다.
Edwards는 이러한 까다로운 요구를 충족하기 위해 기성 또는 맞춤형 솔루션을 통해 진공 장비를 제공합니다. 초기 자문부터 구현 및 지원에 이르기까지, 분석 및 발견에 대한 복잡하고 끊임없이 변화하는 요구 사항을 충족하는 안전하고 안정적인 진공 환경을 제공합니다.
아트라스콥코의 건식 및 오일 밀봉 1차 펌프 제품군은 높은 신뢰성, 성능 및 서비스성 덕분에 업계 표준이 되었습니다. 고진공이 필요한 응용 분야의 경우 광범위한 하이브리드 베어링 및 자기부상 터보 분자 펌프 제품군은 47~4,300ls-1의 펌핑 속도를 제공합니다.UHV 및 XHV와 관련된 응용 분야에서는 10~11mbar 이하의 압력을 달성하는 다양한 포획 이온 펌프를 제공합니다.
고에너지 물리학 | UNI & LABS | 기타 | |||||||||
촉진제/LINAC | Beamlines & End Stations | Fustion | 레이저 | 중력파 | 대학 | 화학 연구실 | 일반 연구실 | 나노테크 시설 | 공간 시뮬레이션 | ||
로터리 베인 펌프 | |||||||||||
싱글 스테이지 | ES | * | * | * | * | ||||||
2단계 | E2M 소형 | * | * | * | * | * | * | * | * | ||
RV | * | * | * | * | * | * | * | * | |||
E2M 중형 & 대형 | * | * | * | * | * | * | * | * | |||
기계식 부스터 | |||||||||||
EH/pXH | o | o | o | ||||||||
소형 건식 펌프 | |||||||||||
다이아프램 | D-Lab, XDD1 | o | o | o | o | o | |||||
스크롤 | nXDS, XDS | o | o | o | o | o | o | o | o | * | o |
대형 펌프 및 시스템 | |||||||||||
멀티 스테이지 루츠 | iXL (청정 및 클린 공정용 펌프) | o | o | o | o | o | o | * | o | ||
iXM (medium 공정용 펌프) | o | o | o | o | o | o | o | o | o | ||
클로우 펌프 | iXH (harsh 공정용 펌프) | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
iGX (경급 & 중급) | * | * | * | * | * | * | * | o | |||
iH (harsh 공정용 펌프) | * | * | * | * | * | * | * | o | |||
스크루 펌프 | GXS | o | o | o | o | o | o | o | o | ||
CXS | o | o | o | o | o | o | |||||
고진공 일차 펌프 | |||||||||||
EPX | |||||||||||
터보 분자 펌프 | |||||||||||
하이브리드 베어링 | nEXT | o | o | o | o | o | o | o | o | - | o |
자기 베어링 | STP | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
펌핑 스테이션 | 터보 펌핑 스테이션 | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
UHV 펌프 | |||||||||||
이온 게터 | o | o | o | o | o | o | o | ||||
티타늄 승화 | o | o | o | o | o | o | o | ||||
비증발형 게터 | o | o | o | o | o | o | o | ||||
진공 기기 | |||||||||||
측정 & 컨트롤 | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
누출 감지기 | ELD500 | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o |
진공 하드웨어 | |||||||||||
밸브 | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
파이프라인 구성품 | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o | |
플랜지 & 피팅 | o | o | o | o | o | o | o | o | o | o |