새로운 에너지 효율 이니셔티브로 탄소 발자국을 감축하는 팹
반도체 제조업체들은 온실가스(GHG) 배출을 줄이면서 생산량을 늘리기 위해 노력하고 있습니다. 전력, 용수 및 공정 가스를 포함한 유틸리티 소비는 공급망 전반에 걸쳐 공급업체 및 제조업체가 탄소 배출량을 줄이기 위한 조치를 취하는 주요 목표입니다.
팹 전력 소비량의 20%는 진공 및 저감 공정에서 발생
문제는 장비가 아니라 공정 공구에서부터 진공 시스템에 이르기까지 "그린 모드" 상태를 시작하고 종료할 시점을 전달하는 신뢰할 수 있는 프로세스를 구축하는 것이었습니다. 모든 공정 도구에 이 기능에 사용할 수 있는 "그린 모드" 신호가 있는 것은 아닙니다.
시스템을 "생산 모드"로 두면 값비싼 공정 도구, 웨이퍼 제품 및 인력 안전에 대한 위험이 불필요하게 증가했습니다.
공정 도구가 유휴 상태이거나 유지보수 중에 에너지 사용량을 낮추면 유틸리티 소비와 운영 비용이 모두 최소화됩니다.
불필요한 전력 소비 및 운영 비용
기업이 만드는 모든 계획은 독립적으로 검증, 공개 및 검토되어야 합니다. 첫 번째 단계로 기업은 "과학 기반 목표 이니셔티브"와 같은 조직에 의향서를 제출합니다.
다음 단계로, 기업들은 온실 가스 프로토콜에 명시된 회계 원칙을 사용하여 자체 지구 온난화 가스 배출량을 추정합니다. 이는 자체 공장뿐 아니라 공급업체의 공장으로부터의 온실 가스 배출 및 고객의 공장에서의 제품 사용을 모두 감당해야 합니다. 단기 목표의 경우 자체 운영에서 발생하는 배출량의 95% 이상, 공급업체에서 발생하는 배출량의 2/3를 파악하고 고객의 공장에서 제품을 사용하는 경우에도 이를 파악해야 합니다.
팹 전반의 우려 사항
- 탄소 중립성 및 에너지 절감 목표
- 안전 및 유지보수 팀의 추가 부담
- 운영 비용 증가
이 팹은 서브팹 운영과 관련된 환경 영향 및 유틸리티 비용을 줄일 수 있는 신뢰할 수 있는 방법이 필요했습니다.
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