Edwards, SEMICON 코리아에서 통합 제거 솔루션 선보여

"Edwards는 소유비용을 낮추고 생산성을 제고하며 최종 제품의 품질을 향상시키기 위해 지속적으로 노력해왔다. 그 일환으로 우리의 통합 솔루션을 SEMICON 코리아에서 소개할 수 있게 되어 기쁘다."고 Edwards의 Market Sector Manager인 이승철(Charles Lee) 전무가 말했다. "우리의 EZENITH™ 제품군과 같이 진공 및 제거 시스템을 단일 유닛으로 통합하는 것은 공정 신뢰도 개선, 더 안전한 작업, 더욱 빠른 가동, 총 소유비용 감축, 등의 많은 장점을 의미한다. Edwards만의 특화된 애플리케이션 엔지니어들은 통합된 시스템 안에서 진공 펌프, 제거 시스템, 배기 파이프 구성 및 파이프 온도 관리를 공정 최적으로 설정해 최저의 소유비용으로 믿을 수 있고 예측 가능한 성과를 제공한다. "

또한, 올해의 제품 라인업에는 전력 소비량을 최대 95%까지 낮추는 친환경 Green Mode를 제공하는 건식 펌프 제품군이 포함되어 있다.

• iXL120 및 iXL200 건식 펌프 - load lock과 클린 애플리케이션용 초소형, 초경량 펌프
• iXH 건식 펌프 - Harsh한 제조 애플리케이션 환경에 특화된 설계
• iXM 건식 펌프 - 최대의 신뢰도와 연장된 펌프 수명을 제공하는 저전력 펌프
• STP maglev 터보 분자 펌프 - 반도체, FPD, LED 및 태양광 제조와 같은 대용량, 고유량 애플리케이션을 위한 "올인원" 솔루션
  
  "올해 SEMICON 코리아에 다시 참석할 수 있게 된 것을 매우 자랑스럽게 생각하며 통합 서브팹 시스템에 대해 고객들과 이야기를 나눌 수 있기를 기대한다."라고 이 전무가 말했다. 그리고, "현재까지 15년 가까이 통합 진공 및 제거 시스템을 설계하고 판매해왔으며, 전 세계적으로 1,000여 대의 시스템을 설치했다. 사실 우리 건식 펌프는 대부분 한국에서 생산되어 전 세계로 수출된다. 우리는 고객들이 믿고 의지할 수 있는 경험을 갖추고 있다."라고 덧붙였다. 마지막으로 이 전무는 "SEMICON 코리아를  방문하여 우리 애플리케이션 전문가들을 통해 통합 진공 및 제거 시스템에 대해 의견을 나누고 알아볼수 있을 기회를 환영한다"며 Edwards 부스 #5104로 초대했다.