Le système de traitement des effluents gazeux Spectra est une solution de traitement rentable, fiable et très performante destinée aux procédés de fabrication de la dernière génération d'écrans plats (FPD) et de cellules solaires.
Traitement des gaz
• Technologie de combustion unique en 4 phases
• Traitement efficace du SiH4
• Grande capacité de traitement des flux de H2
• Excellente gestion des flux élevés de NF3/F2
• Grande capacité de traitement du NH3
• Conception modulaire de la gestion du traitement et des particules
• Efficacité d'élimination de poudre de 80 %
Epuration des gaz acides
• Système de lavage intégré
• Unité de recirculation d'eau pour optimiser la consommation d'eau
Captation des poudres
Spectra ZW2 : traitement refroidi par eau avec enlèvement de particules
• Précipitateur électrostatique humide modulaire (WESP)
• Elimination des particules à 99 %
• Grande capacité de traitement de la charge de poudre
• Faible coût de possession par rapport aux solutions alternatives
