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Spectra

Pour la fabrication d'écrans plats et de cellules solaires

Spectra combine hautes performances et conscience environnementale

Traitement des gaz

• Technologie de combustion unique en 4 phases

• Traitement efficace du SiH4

• Grande capacité de traitement des flux de H2

• Excellente gestion des flux élevés de NF3/F2

• Grande capacité de traitement du NH3

• Conception modulaire de la gestion du traitement et des particules

• Efficacité d'élimination de poudre de 80 %

Epuration des gaz acides

• Système de lavage intégré

• Unité de recirculation d'eau pour optimiser la consommation d'eau

Captation des poudres

Spectra ZW2 : traitement refroidi par eau avec enlèvement de particules

• Précipitateur électrostatique humide modulaire (WESP)

• Elimination des particules à 99 %

• Grande capacité de traitement de la charge de poudre

• Faible coût de possession par rapport aux solutions alternatives

Solutions environnementales Edwards pour la fabrication de semi-conducteurs

Découvrez la contribution d'Edwards Vacuum au développement durable.

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