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Edwards présente ses solutions de traitement intégrées à SEMICON® Korea

4 février 2015

« Edwards s’efforce continuellement de réduire les coûts de fonctionnement, d’accroître la productivité et d’améliorer la qualité du produit final. À titre d’exemple, nous sommes heureux de présenter nos solutions intégrées à SEMICON Korea », a déclaré Charles Lee, responsable du secteur marché chez Edwards. « L’intégration des systèmes de vide et traitement de gaz dans une seule unité, telle que notre famille de produits EZENITH™, offre de nombreux avantages, notamment : une meilleure fiabilité des processus, un fonctionnement plus sûr, un démarrage plus rapide et une réduction du coût de fonctionnement. Dans un système intégré, nos ingénieurs d’application spécialisés déterminent la configuration optimale des pompes à vide, du système de traitement des gaz, de la configuration et de la température du tuyau d’échappement, et ce, afin de fournir une performance fiable et prévisible avec un coût de fonctionnement le plus bas possible. »

En outre, la gamme de produits de cette année comprend la gamme suivante de pompes sèches offrant un mode écologique, dans laquelle la consommation électrique est réduite jusqu’à 95 % :

  • Pompes sèches iXL120 et iXL200 - les pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de sas de chargement et les applications propres,
  • pompe sèche iXH - spécialement conçue pour les applications de fabrication difficiles,
  • pompe sèche iXM - une pompe à faible consommation d’énergie offrant une fiabilité maximale et une durée de vie prolongée de la pompe,
  • pompe turbomoléculaire STP maglev - la solution « tout-en-un » pour les applications à grand volume et à haut débit telles que la fabrication de semi-conducteurs, d’écrans plats, de LED et de systèmes solaires.

    « Nous sommes très fiers de participer à SEMICON Korea cette année encore et nous sommes impatients de discuter avec nos clients des systèmes intégrés d’atelier », a déclaré Charles Lee. « Nous concevons et vendons des systèmes intégrés de vide et de traitement des gaz depuis près de 15 ans et nous avons plus de 1 000 systèmes installés dans le monde entier. En fait, la plupart de nos pompes sèches sont fabriquées en Corée et exportées dans le monde entier. Nous avons donc l’expérience sur laquelle nos clients peuvent compter. » Charles ajoute : « Nous invitons tous les participants à SEMICON Korea à se rendre au stand d’Edwards n° 5 104 et à discuter avec nos experts en applications des avantages d’un système de vide et de traitement des gaz intégré. »

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