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Système UHV ultravide

Nous proposons une gamme de pompes ioniques, de pompes combinées NEG-Ion, de pompes à sublimation de titane, de pompes NEG à piégeur non évaporable et d'accessoires de la marque Gamma Vacuum.

Les technologies de pompage par capture créent des environnements de vide poussé (HV) et d'ultravide (UHV) pour une grande variété d'applications, allant des spectromètres de masse portables aux accélérateurs de particules à grande échelle. Elles peuvent créer le vide le plus poussé possible moyennant un faible coût.

Pompes HyTan NEG-Ion

Les pompes NEG offrent des vitesses de pompage élevées pour le H2, mais aussi pour les gaz chimiquement actifs tels que le N2, l'O2 et le CO, tandis que les pompes ioniques extraient efficacement toutes les types de gaz, y compris les gaz nobles et le méthane. Les pompes HyTan NEG-Ion combinent les deux technologies en une seule pompe UHV compacte.

Grâce à la combinaison des modules interchangeables des pompes NEG offrant des vitesses de pompage de l'hydrogène allant de 100 à 500 l/s et des éléments de diodes nobles et conventionnelles du module de pompe ionique, cette technologie innovante convient à une large gamme d'applications UHV.

Grâce à sa taille compacte et à la possibilité d'assembler la pompe à l'intérieur d'une chambre, la pompe HyTan NEG-Ion est idéale pour les environnements UHV où l'espace est limité. 

Pompes ioniques

Pompe à vide ionique à sublimation de titane Gamma Vacuum

Pompe ionique de titane

Elles sont également appelées pompes ioniques à pulvérisation ou pompes ioniques à piégeur.

Il s'agit de pompes de capture qui ionisent les gaz à l'aide d'un réseau d'anodes/cathodes.

Les ions pulvérisent des matériaux cathodiques réactifs, engendrant alors une réaction chimique qui transforme les gaz ionisés en composés solides. Ces composés ne contribuent plus à la pression du système de vide et sont définitivement capturés dans la pompe ionique.

Les pompes ioniques peuvent fonctionner à des pressions allant de 10-5 à 10-12 mbar et ont un débit compris entre 0,2 à 1 200 l/s d'azote.

Pompes à sublimation de titane

Elles fonctionnent en chauffant un filament de titane et en sublimant (passage de l'état solide à l'état gazeux) les molécules de titane sur une surface.

Les molécules de titane sublimées peuvent alors réagir chimiquement avec des gaz réactifs, comme l'oxygène et l'azote, et dissocier et diffuser de l'hydrogène.

Les pompes TSP peuvent fonctionner à des pressions allant de 10-5 à 10-12 mbar et ont des vitesses de pompage supérieures à 10 000 l/s d'hydrogène.

Pompe ionique à sublimation de titane Gamma Vacuum

Pompe ionique à sublimation de titane

Pompes NEG à piégeur non évaporable

Il s'agit de métaux réactifs qui ont été pressés sur des substrats solides ou frittés dans des disques.

Il s'est avéré qu'une combinaison spécifique de zirconium, de vanadium et de fer fonctionne de manière optimale dans les environnements HV et UHV. La quantité de matériau utilisée détermine la vitesse et la capacité de la pompe NEG, mais ces dernières varient généralement de 55 à 412 l/s et de 630 à 3 600 Torr l/s respectivement.

A mesure que les pompes NEG saturent de gaz, elles peuvent être réactivées sans libération dans l'atmosphère.

Contrôleurs de pompe ionique DIGITEL

Une gamme de pompes ioniques, de pompes NEG et de contrôleurs TSP et NEG a été développée pour réguler, alimenter et gérer votre application de vide.

Que vous utilisiez une ou plusieurs pompes, notre gamme de contrôleurs a été conçue pour vous garantir des niveaux de tension et de courant constants, avec une série de protocoles d'intégration, des fonctions de sécurité et une interface de navigation facile à utiliser.

Les contrôleurs avancés SPCe, QPC, MPCq et TSP vous aideront à optimiser les performances de votre système de vide.

  • Contrôleur pour petite pompe SPCe DIGITEL pour la gestion de pompes ioniques seules jusqu'à 75 l/s
  • Contrôleur pour pompe quadruple QPC DIGITEL pour la gestion d'un maximum de 4 pompes ioniques jusqu'à 100 l/s
  • Contrôleur pour pompe multiple MPCq DIGITEL pour le contrôle d'un courant élevé destiné à un maximum de 4 grandes pompes ioniques
  • Contrôleur TSP pour la gestion d'un maximum de 2 pompes TSP (= 6 filaments TSP)

Accessoires UHV (ultravide)

Conçus pour fonctionner en parfaite harmonie avec le portefeuille de produits Gamma Vacuum.

Cette gamme d'accessoires vous permettra d'optimiser les performances, la fiabilité et l'efficacité de votre système de vide.

  • Câbles haute tension – Fabriquée en interne, notre gamme de câbles haute tension est conçue sur mesure pour répondre à un large éventail d'applications et d'exigences de puissance.
  • Câbles TSP – Câbles durables, robustes et fiables pour nos pompes à sublimation de titane.
  • Répartiteur – Répartition de l'alimentation des pompes ioniques ou NEG pour un fonctionnement en parallèle.
  • Buse d'aspiration TSP – La buse d'aspiration est recouverte de titane sublimé, ce qui crée une grande surface active permettant de pomper l'hydrogène à une vitesse supérieure.

Principales caractéristiques des pompes à ultravide

Elimination des vibrations mécaniques

Les pompes de capture ne comportent pas de pièces mobiles. Les vibrations liées aux pièces mobiles et le bruit électrique sont donc éliminés

Tolérance élevée aux rayonnements

Les pompes de capture sont fabriquées avec des matériaux ayant une tolérance aux rayonnements de plus de 108 Gray. Les connecteurs et câbles sont également fabriqués à partir de matériaux résistant aux rayonnements pour garantir des années de fonctionnement continu

Tolérance aux températures élevées

Sans considération particulière, les pompes de capture peuvent être étuvées jusqu'à 250 °C. La suppression des aimants permet un étuvage à température plus élevée : jusqu'à 450 °C. Les longs étuvages à chaud sont essentiels à chaque système UHV

  

Pas besoin d'entretien régulier

Les pompes de capture n'ont pratiquement pas besoin de maintenance et permettent d'éviter de coûteuses mises à l'atmosphère puisqu'elles sont complètement hermétiques. Cela permet d'épargner du temps, de l'argent et des ressources

Faibles coûts de fonctionnement initiaux

Le coût initial est généralement inférieur aux spécifications comparables des autres types de pompe à vide. Elles consomment peu ou pas d'énergie pendant des années de fonctionnement à faible coût

Vacuum Equipment for Ultra High Vacuum Applications Brochure

PDF

6.7 MB

Vacuum Equipment for Analytical Applications Brochure

PDF

6.7 MB

Employés d'Edwards souriant, debout dans un couloir
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