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Analizadores de gas residual

El equilibrio perfecto entre rendimiento y accesibilidad de alto nivel

Analizadores de gas residual RGA de Edwards

Nuestros RGA incluyen dos variantes: ambas cuentan con un funcionamiento simple y eficaz, lo que garantiza un alto rendimiento y eficiencia   

Para aquellos que desean una vista instantánea, las unidades tienen una pantalla integrada única que puede mostrar los principales tipos de gas, así como la presión general del sistema sin tener que conectarse con una computadora portátil.

Analizador de gas principal PRA

Ofrece el equilibrio perfecto entre rendimiento y accesibilidad de alto nivel.

  • Disponible en cuatro variantes para adecuarse a sus necesidades de proceso, ya sea que solo necesite un modelo básico o un dispositivo con más sensibilidad o rango.
  • El PRA es el punto de partida perfecto para analizar sus procesos.

Analizador de gas residual de amplio espectro WRA

Modelos de primera línea con especificaciones líderes en el mercado.

  • Disponible en dos variantes, 1-200 o 1-300 amu, puede medir un amplio espectro de gases o subproductos de sus procesos. 
  • Esto se combina con una mayor sensibilidad, en comparación con el PRA, para obtener una mayor precisión en las mediciones.

/
Medición de presión total

para un control completo del proceso

Filamento doble

para obtener la más alta confiabilidad y tiempo de actividad

Pantalla en la unidad

para mediciones básicas sin una PC

Piezas sustituibles por el cliente
Función de desgasificación
Protección de la fuente de iones y EM
Los RGA realizan análisis de gases y de su composición, por lo que es necesario para lo que se indica a continuación:

  • Detección e identificación de fugas
  • Encuentre e identifique contaminantes 
  • Verifique la pureza del gas
  • Garantía de calidad de productos y procesos
  • Diagnóstico & control del equipo de proceso
  • Optimice el rendimiento y la producción de los procesos

La solución perfecta en una amplia gama de aplicaciones:

  • Procesos semiconductores
  • Película delgada y pantalla
  • Tratamiento térmico al vacío
  • Secado por congelación al vacío
  • Investigación & desarrollo
  • Física de altas energías