提高生產力，同時降低成本與環境影響
在持續改善的過程中，我們會規劃升級項目，協助客戶提升機器效能，降低擁有成本，並達成他們的永續發展目標。
- 保護設備效能
- 最小化整體擁有成本
- 環境升級
保護設備效能
經過規劃的升級可改善機器效能，並提高營運設施的生產力
適用於磁浮式渦輪泵浦的機上微粒減量升級
為了持續提升客戶的生產力與良率，我們設計了一系列解決方案，支援客戶使用三種設備工具技術：我們的防反彈技術, 轉子杯防護以及高溫泵，來減少半導體應用中的晶圓表面微粒污染。
防反彈技術
在生產期間，微粒可能會從渦輪泵浦反衝入腔室中，因此污染晶圓並降低生產力。我們的抗反衝技術可讓微粒輕易通過渦輪泵進入排氣裝置，大幅減少污染。
轉子杯防護
為避免轉子杯 (位於渦輪泵浦進氣口處) 腐蝕和堆積微粒，我們開發了防腐蝕轉子杯罩，可防止沉積和不銹鋼組件腐蝕。
高溫泵浦
另一項粒子污染源是渦輪泵浦內部的沉積，也可能導致粒子通過渦輪泵浦並進入腔室。使用高溫泵浦可將氣體通道加熱至極高溫，進而減少沉積的形成。這些泵浦的轉子、定子等主要真空組件具有特殊高熱放射率塗層，可維持最佳溫度曲線，達到最佳成果。
在我們的維修技術中心進行定期泵浦檢修時，都可以安裝上述三種微粒減量技術，以確保客戶最佳化新設備和既有的裝機產能。
適用於嚴苛製程的 XCEDE 乾式泵浦保護
XCEDE 的乾式泵保護技術可防止關鍵泵浦組件腐蝕，增加平均檢修間隔，充分延長客戶設施的正常運行時間。本技術縝密結合表面處理與精密工程知識，優於所有競爭對手方法，可降低愛德華 iH、iXH 與 iXM 系列泵浦機構內的化學與機械磨損。
最小化整體擁有成本
精心設計的升級可延長平均檢修間隔，提升設備機隊效率，進而降低整體擁有成本。
減排設備 Porous Head
愛德華開發 Porous Head，這是一款現場檢修升級技術，採用燒結多孔金屬塊，可均勻噴出空氣，對表面進行迫淨，減少粉末積聚風險。此裝置取代了傳統的陶瓷絕緣頭。
在排氣過程中，固體 (通常是粉末) 可能會堆積在系統的不當區域，例如進氣頭的底面。這些堆積的粉末會妨礙製程氣體流動，導致頻繁定期檢修。在一年的高強度製程中，這類粉末堆積可能造成超過九次停機檢修，導致人工與備用零件用量增加，進而提高擁有成本。
客戶升級為 Porous Head 後，平均檢修週期從每年十次減少至兩次。對於沒有備用排氣系統的客戶，這相當於每年平均減少 64 小時的工具停機時間，額外增加 $150 萬美元的產能。
擁有備用排氣系統的客戶，則可減少對備用系統的依賴，大幅節省備用零件、保養人力，同時提高能源效率。
服務
設備中若有使用超過五年的，無論機械效能如何，重要電子儀器都有意外故障的風險，而機械效能主要是靠有效的維護機制來保持。
愛德華終身服務解決方案是汰換機具和延長機隊壽命的絕佳選擇。終身服務涵蓋所有主要系統電子零件並提供延長保固，讓您的設備持續運轉多年。
我們的全球服務技術中心網路均有提供終身服務。
環境升級
精心設計的升級可增加設備機隊使用壽命，降低對環境的影響，協助您達成永續性目標。
透過我們的節能升級降低製造業的能源成本
iXH1210 愛德華乾式泵浦升級可輕鬆更換，不會增加現場團隊的工作，在升級過程中也不會造成停機損失。
此升級可為您節省將近三分之一的執行能源成本，能減少更多碳排放，有助於減輕環境衝擊，讓您達成環保目標。我們稱之為節能升級，可說是名副其實。
現在請想像一下，將這些數字乘上您晶圓廠中可升級的泵浦數量？
此外，我們的客戶還能獲得額外好處，可透過愛德華智慧服務升級程序來完成升級，因此不需要為新泵浦規劃資本。
熱交換器
整廠冷卻水污染是由於排氣系統缺少嚴格維護排程所導致的風險。在許多系統中，熱交換器容易受到酸性製程的化學物質腐蝕而損壞，這可能導致污染物洩漏到整廠製程冷卻水中。這種污染可能損壞其他使用相同冷卻水迴路的製程設備。此外，由於棄置這類化學物質會造成危害，因此也會對環境帶來風險。
熱交換器現場服務升級套件是一項有效的解決方案，可將既有銲製型熱交換器改造為新型板件和墊圈設計，而無需對系統進行重大修改。相較於原本的熱交換器，此設計可提供更佳的抗酸蝕能力，延長約五至十倍的使用壽命，並降低晶圓廠冷卻水污染的風險。
