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多孔噴頭
提高生產力,同時降低成本與環境影響

在持續改善的過程中,我們會規劃升級項目,協助客戶提升機器效能,降低擁有成本,並達成他們的永續發展目標。 

保護設備效能

經過規劃的升級可改善機器效能,並提高營運設施的生產力

適用於磁浮式渦輪泵浦的機上微粒減量升級

為了持續提升客戶的生產力與良率,我們設計了一系列解決方案,支援客戶使用三種機上工具技術:我們的防反衝技術、轉子杯罩以及高溫泵,來減少半導體應用中的晶圓表面微粒污染。  

防反衝技術 
在生產期間,微粒可能會從渦輪泵浦反衝入腔室中,因此污染晶圓並降低生產力。我們的抗反衝技術可讓微粒輕易通過渦輪泵進入排氣裝置,大幅減少污染。 

轉子杯罩  
為避免轉子杯 (位於渦輪泵浦進氣口處) 腐蝕和堆積微粒,我們開發了防腐蝕轉子杯罩,可防止沉積和不銹鋼組件腐蝕。

高溫泵浦 
另一項粒子污染源是渦輪泵浦內部的沉積,也可能導致粒子通過渦輪泵浦並進入腔室。使用高溫泵浦可將氣體通道加熱至極高溫,進而減少沉積的形成。這些泵浦的轉子、定子等主要真空組件具有特殊高熱放射率塗層,可維持最佳溫度曲線,達到最佳成果。

在我們的維修技術中心進行定期泵浦檢修時,都可以安裝上述三種微粒減量技術,以確保客戶最佳化新設備和既有的裝機產能。

適用於嚴苛製程的 XCEDE 乾式泵浦保護

XCEDE 的乾式泵保護技術可防止關鍵泵浦組件腐蝕,增加平均檢修間隔,充分延長客戶設施的正常運行時間。本技術縝密結合表面處理與精密工程知識,優於所有競爭對手方法,可降低愛德華 iH、iXH 與 iXM 系列泵浦機構內的化學與機械磨損。

徹底減少整體擁有成本

精心設計的升級可延長平均檢修間隔,提升設備機隊效率,進而降低整體擁有成本。

排氣多孔噴頭

愛德華開發出多孔噴頭,這是一款現場檢修升級技術,採用燒結多孔金屬塊,可均勻噴出空氣,對表面進行迫淨,減少粉末積聚風險。此裝置取代了傳統的陶瓷絕緣頭。

在排氣過程中,固體 (通常是粉末) 可能會堆積在系統的不當區域,例如進氣頭的底面。這些堆積的粉末會妨礙製程氣體流動,導致頻繁定期檢修。在一年的高強度製程中,這類粉末堆積可能造成超過九次停機檢修,導致人工與備用零件用量增加,進而提高擁有成本。

客戶升級為多孔噴頭後,平均檢修週期從每年十次減少至兩次。對於沒有備用排氣系統的客戶,這相當於每年平均減少 64 小時的工具停機時間,額外增加 150 萬美元的產能。 

擁有備用排氣系統的客戶,則可減少對備用系統的依賴,大幅節省備用零件、保養人力,同時提高能源效率。

終身服務

機隊中若有使用超過五年的機具,無論機械效能如何,重要電子儀器都有意外故障的風險,而機械效能主要是靠有效的維護機制來保持。 

愛德華終身服務解決方案是汰換機具和延長機隊壽命的絕佳選擇。終身服務涵蓋所有主要系統電子零件並提供延長保固,讓您的設備持續運轉多年。 

我們的全球服務技術中心網路均有提供終身服務。

環境升級

精心設計的升級可增加設備機隊使用壽命,降低對環境的影響,協助您達成永續性目標。

熱交換器

整廠冷卻水污染是由於排氣系統缺少嚴格維護排程所導致的風險。在許多系統中,熱交換器容易受到酸性製程的化學物質腐蝕而損壞,這可能導致污染物洩漏到整廠製程冷卻水中。這種污染可能損壞其他使用相同冷卻水迴路的製程設備。此外,由於棄置這類化學物質會造成危害,因此也會對環境帶來風險。 

熱交換器現場服務升級套件是一項有效的解決方案,可將既有銲製型熱交換器改造為新型板件和墊圈設計,而無需對系統進行重大修改。相較於原本的熱交換器,此設計可提供更佳的抗酸蝕能力,延長約五至十倍的使用壽命,並降低晶圓廠冷卻水污染的風險。

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