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EXS 乾式螺旋真空泵浦

EXS 乾式螺旋真空泵浦

加強粗抽速度及極限真空效能,適合嚴苛的工業環境應用

EXS 乾式螺旋真空泵浦及組合

EXS 乾式螺旋真空泵浦組合 EXS 450、750、750/4200 圖像

堅固耐用的設計特點

可靠的新型儲氣系統,搭配手動氣鎮流閥控制,並具備俐落的板金保護殼。

簡單的電氣策略

內建現有的反相器,可輕鬆連接與通訊。配置防護感測器,電氣設計兼顧可靠性和安全性。

低電力和公用設施消耗

EXS 具備低電力和公用設施消耗,碳排放量低。由於不會產生受汙染或骯髒的廢棄油,對環境也相當有益。

加強粗抽速度及低極限效能

強化加工速度並縮短泵浦停機時間,成就更高的生產力;乾式螺旋真空泵浦的低極限真空壓力達 <1 x 10-2,泵浦搭配助抽泵之組合的低極限真空壓力則達 <1 x 10-3

非接觸式長效密封

非接觸式長效密封搭配內置油阻式迷宮密封,提供絕佳密封效果。

先進核心技術

具備高品質的軸承及低蒸氣壓的特殊用機油,享有高應用相容性。 

EXS 泵浦適合各種產業的應用,包括:

冶煉

  • 真空硬焊
  • 電子束焊接
  • 軟氮化
  • 低壓滲氮
  • 低壓滲碳
  • 碳蒸氣浸漬
  • 燒結
  • 金屬射出成形
  • 精密包模鑄造
  • 真空電弧精煉
  • 鋼材除氣

電漿製程

  • 電漿焊接
  • 電漿滲氮

真空腔體排氣

  • 太空模擬室
  • 氣體回收/循環
  • 負載腔體室

LED 製造

 

太陽能

  • 矽拉晶 
  • PV 層壓

塗層 (鍍膜)

  • 捲動式鍍膜
  • 硬質塗層 (CVD/DLC)
  •  表面活化
  • 電漿噴塗
  • 玻璃鍍膜

規格

 

單位

 

 

 

EXS450

EXS750

EXS750/4200

一般

極限真空

Mbar (Torr)

<1 x10-2 (<8x10-3)

<1 x10-3 (<8x10-4)

最大抽氣速度

m3/小時 (cfm)

450 (265)

740 (435)

3450 (2032)

極限功率

Kw (hp)

6 (8)

10.5 (14)

12 (16)

全負載功率

11 (15)

22 (30)

24 (32)

最大轉子速度

轉數/分鐘

6600

DP-6600
MB-6120

入口/出口法蘭

 

ISO100/NW50

ISO160/NW50

尺寸 (公釐)

長 x 寬 x 高 公釐 (英吋)

1265 x 567 x 642

1650 x 567 x 642

1650 x 567 x 996

(49.8 x 22.3 x 25.3)

(65 x 22.3 x 25.3)

(65 x 22.3 x 39.2)

冷卻

連接

 

G3/8'' 內螺紋

冷卻流量 (恆開啟)

l/分鐘 (gal/分鐘)

10 (2.6)

12 (3.2)

15 (4)

最大供應壓力

barg (psig)

6.9 (100)

溫度

°C (°F)

5 至 40 (41 至 104)

吹掃

連接

 

G1/2" 內螺紋

壓力

barg (psig)

2.5 - 6.9 (36 - 100)

軸封流量 (恆開啟)

l/分鐘

12 (3.1)

氣鎮閥流量 (手動調整)

l/分鐘

1 - 130 (0.2-34.3)

操作

環境溫度範圍

°C (°F)

5 至 40 (41 至 104)

搭配消音器的噪音等級

分貝 (A)

<64

<70

最大排氣背壓

bar.a (psig)

1.2 (2.9)

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