ÖKA PRODUKTIVITETEN SAMTIDIGT SOM DU SÄNKER KOSTNADERNA OCH MILJÖPÅVERKAN
Som en del av vår kontinuerliga förbättringsprocess utformar vi uppgraderingar för att hjälpa våra kunder att förbättra maskinernas prestanda, minska ägandekostnaderna och nå sina hållbarhetsmål.
- Skydda utrustningens prestanda
- Lägre total ägandekostnad
- Miljömässiga fördelar
SKYDDA UTRUSTNINGENS PRESTANDA
Uppgraderingar utformade för att förbättra din maskins prestanda och öka produktiviteten i din verksamhet
Verktygsmonterade partikelreduceringsuppgraderingar för Maglev turbopumpar
I vårt pågående uppdrag att förbättra våra kunders produktivitet och avkastning har vi tagit fram en rad lösningar som gör det möjligt för våra kunder att minska partikelföroreningar på plattor i halvledartillämpningar genom att använda tre verktygsmonterade tekniker, vår antirekylteknik, en rotorkåpa (borrmaskin) och användning av högtemperaturpumpar.
Anti-rekylteknik
Under produktionen kan partiklar rekyleras från turbopumpen in i kammaren, vilket potentiellt kan förorena plattorna och minska produktiviteten. Vår Anti-Recoil-teknik minskar avsevärt partikelföroreningar genom att låta dem passera enkelt genom turbopumpen in i utloppet.
Kåpa (borrmaskin)
För att förhindra korrosion och partikelansamling på rotorkåpan (vid turbopumpens inlopp) har vi utvecklat en korrosionsbeständig rotorkåpa (borrmaskin) som förhindrar både avlagringsbildning och korrosion av de rostfria stålkomponenterna.
Högtemperaturpumpar
En annan källa till partikelförorening är avlagringar inuti turbopumpen, som också kan låta partiklar passera tillbaka genom turbopumpen och in i kammaren. Genom att använda högtemperaturpumpar värms gasvägen upp till extremt höga temperaturer vilket minskar bildandet av avlagringar. Dessa pumpar har en speciell beläggning med hög värmeemissivitet på viktiga vakuumkomponenter, som rotor och stator, och deras temperaturprofil optimeras kontinuerligt för bästa resultat.
Alla tre partikelreduceringsteknikerna kan installeras under en regelbunden pumpservice på vårt serviceteknikcenter för att säkerställa att kunderna kan optimera produktiviteten för ny utrustning och deras befintliga installerade bas.
Förbättra halvledaravkastningen med EUV-pumpuppgraderingar
I den konkurrensutsatta halvledarindustrin är det avgörande att maximera produktiviteten samtidigt som man hanterar energikostnaderna i tillverkningsanläggningarna. Våra EUV-torrpumpsuppgraderingar är utformade för att avsevärt förbättra prestandan hos din utrustning och säkerställa optimal förbättring av halvledaravkastningen. Genom att integrera avancerade halvledarutrustningstjänster ökar våra uppgraderingar inte bara avkastningen i halvledartillverkningen utan bidrar också till betydande energibesparingar. Detta holistiska tillvägagångssätt för avkastningsförbättring i halvledarprocesser säkerställer att era tillverkningsanläggningar fungerar med högsta effektivitet.
XCEDE torrpumpsskydd för krävande tillverkningsprocesser
XCEDE:s torrpumpsskyddsteknik förhindrar korrosion på kritiska pumpkomponenter och ökar tiden mellan serviceintervallerna, vilket maximerar kundens drifttid. Denna teknik överträffar alla konkurrerande metoder genom att använda en komplex kombination av ytbehandling och precisionsteknik för att minska det kemiska och mekaniska slitaget i pumpmekanismen för Edwards iH-, iXH- och iXM-pumpfamiljer.
LÄGRE TOTAL ÄGANDEKOSTNAD
Uppgraderingar som är utformade för att öka tiden mellan servicetillfällena och öka effektiviteten i din utrustningsflotta för en lägre total ägandekostnad.
Bearbetning av poröst huvud
Edwards utvecklade Porous Head, en uppgradering för fältservice som använder ett sintrat, poröst metallblock som sprider en luftrensning jämnt över ytan för att minska risken för pulveransamling. Den ersätter det traditionella keramiska isolatorhuvudet.
Under reduktionsprocessen kan fasta ämnen, vanligtvis pulver, ansamlas i oönskade områden i systemet, till exempel undersidan av inloppshuvudet. Denna pulveransamling leder till en blockering som förhindrar flödet av processgaser, vilket orsakar frekventa planerade serviceingrepp. Under ett år av krävande processer kan denna pulveransamling orsaka mer än nio serviceavbrott, vilket resulterar i ökade ägandekostnader genom användning av arbetskraft och reservdelar.
Kunder som använder Porous Head-uppgraderingen har gått från tio serviceintervall per år till bara två i genomsnitt. Detta har eliminerat i genomsnitt 64 timmars stilleståndstid per år för kunder utan ett backup-reduceringssystem, vilket resulterar i ytterligare $1,5miljoner i genomströmning.
Kunder med ett backup-reduktionssystem ser betydande besparingar i reservdelar, underhållsarbete och ökad energieffektivitet genom att minska sitt beroende av sitt backup-system.
Liner Pro: nästa generations eftermontering av brännare
Halvledarfabriker står under konstant press att minska risken för oväntade driftstopp, kontrollera underhållskostnaderna och förbättra driftseffektiviteten. Liner Pro är ett robust reduktionsfoder som är utformat för att hantera de återkommande utmaningarna med underhåll av brännarfoder i reduktionssystem. Det är nu också en återanvändbar komponent som stöd för ditt hållbarhetsarbete. Genom att integrera Liner Pro i en serviceplan kan du effektivisera driften, sänka den totala ägandekostnaden och upprätthålla hög prestanda i krävande processer.
Livstjänster
Maskinparker med maskiner som har använts i mer än fem år riskerar oväntade fel i sin kritiska elektronik oavsett deras mekaniska prestanda, vilket huvudsakligen bevaras genom effektiva underhållsregimer.
Edwards Life Services lösning är ett utmärkt alternativ för att fräscha upp maskiner och förlänga maskinparkens livslängd. Life Services täcker alla viktiga elektroniska systemdelar med utökade garantier, så att din utrustning fungerar i många år framöver.
Life Services finns tillgängligt via vårt globala nätverk av Service Technology Centres.
MILJÖMÄSSIGA FÖRBÄTTRINGAR
Uppgraderingar utformade för att öka livslängden på din utrustningsflotta och dess miljöpåverkan för att hjälpa dig att nå dina hållbarhetsmål.
Minska energikostnaderna i tillverkningen med våra energibesparande uppgraderingar
Denna uppgradering av Edwards torrpump iXH1210 är enkel att byta ut, utan extra arbete för team på plats och utan förlorad stilleståndstid under uppgraderingsprocessen.
Den ger nästan en tredjedel av dina energikostnader och bidrar till att minska din miljöpåverkan genom att spara mer koldioxidutsläpp, vilket bidrar till dina miljömål. Inte undra på att vi kallar det energibesparingsuppgraderingen.
Tänk dig nu att multiplicera dessa siffror med antalet pumpar som kan uppgraderas i din Fab?
Det finns också den extra fördelen att våra kunder inte behöver planera kapital för nya pumpar, eftersom uppgraderingen kan uppnås genom Edwards Intelligent Service-uppgraderingsprocess.
Uppgradering av EUV-energisparpump
Inom halvledartillverkning blir hållbarhet allt viktigare. Våra EUV-torrpumpsuppgraderingar är utformade för att stödja hållbarhet genom att avsevärt minska energiförbrukningen i EUV-processer och EUV-strömförbrukningen. Genom att uppgradera dina pumpar kan du optimera processens energiprestanda, uppnå betydande energibesparingar och samtidigt öka produktiviteten.
Läs mer om EUV-energibesparing i vår kundframgångsberättelse nedan:
Värmeväxlare
Förorening av kylvatten i hela anläggningen är en risk som utgörs av reningssystem utan strikta underhållsscheman. I många system är värmeväxlare känsliga för korrosionsskador från sura processkemikalier som kan orsaka läckage till fabrikens processkylvatten. Denna förorening kan skada andra processverktyg som använder samma kylvattenkrets. Det utgör också en risk för miljön eftersom det är farligt att kassera.
Uppgraderingssatsen för fältservice av värmeväxlare är en effektiv lösning som omvandlar den befintliga lödda värmeväxlaren till en ny platt- och packningskonstruktion, utan betydande ändringar i systemet. Den ger förbättrad beständighet mot syraangrepp jämfört med originalvärmeväxlare, vilket ger en förbättrad livslängd på cirka fem till tio gånger och minskar risken för förorening av Fab-kylvattnet.
