Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography - PDF
Edwards EUV vätespädning med Richard Salloum
EUV-litografi bidrar till att möjliggöra högvolymstillverkning av integrerade kretsar med hög precision. Detta ökar efterfrågan på miljövänliga produkter samtidigt som våra kunders produktivitet maximeras.
För att minska kundernas direkta utsläpp har Edwards utvecklat en lösning som går bort från användningen av naturgaser i SubFab och ändrar sättet som avgaserna hanteras för EUV-litografi.
Med hållbarhet i åtanke har Edwards innovativa team utvecklat ett bränslefritt alternativ till gaseldad reduktion för EUV – Hydrogen Dilution System eller H2D.
VIDEOUTSKRIFT
Vad gör en produktchef?
Som produktchef försöker vi alltid fånga upp kundernas behov och i grund och botten försöker vi förutsäga framtidens kundbehov och vad de vill ha.
Vi ska prata om hur utspädning ersätter vår nuvarande produkt, som använder fossila bränslen och begränsade resurser, och ersätter den med en utspädningsprodukt, som är bättre för miljön, effektivare att köra för kunderna och förbättrar deras produktivitet.
Vilken är den aktuella marknadsdrivkraften för EUV?
Den snabba tillväxten av 5G, artificiell intelligens och tillverkning av chip driver på behovet av integrerade kretsar som har högre prestanda och lägre strömförbrukning. Chiptillverkarna fortsätter att investera i ny teknik och utveckla nya processer för att tillhandahålla lösningar som möter och stödjer den snabba tillväxten av digital teknik.
EUV-litografi gör det möjligt för chiptillverkare att fortsätta minska funktioner och enhetsstorlekar, vilket har definierat framstegen inom halvledarindustrin sedan de första dagarna. Den investering som behövdes för att använda EUV i högvolymstillverkare innebär att det finns ett enormt tryck på chiptillverkare att maximera produktionen för att uppnå en acceptabel avkastning.
Den totala genomströmningen för ett EUV-verktyg är i huvudsak fast, så chiptillverkare måste försöka minska driftskostnaderna, maximera genomströmningen och även minska miljökostnaderna. Kort sagt finns det ett behov av miljövänliga produkter samtidigt som produktiviteten maximeras.
Vilka är de utmaningar som globala EUV-kunder står inför?
Det finns ett enormt tryck på våra kunder att producera integrerade kretsar som är tillverkade på ett hållbart och miljövänligt sätt. Att engagera sig i hållbara mål som Science-Based Targets initiative och Greenhouse Gas Protocol innebär att våra kunder letar efter nya och innovativa sätt att minska sitt koldioxidavtryck och fortfarande behöver fokusera på att förbättra drifttiden för sina E U V-verktyg och även fokusera på säkerhet.
Hur kan dessa problem lösas?
Majoriteten av våra kunder har åtagit sig att minska sin omfattning ett och två av Greenhouse Gas Protocol, vilket innebär att de har ett åtagande när det gäller att minska sin påverkan på miljön och sina CO2-utsläppsekvivalenter. Ett reduktionssystem som vi traditionellt använder på ett EUV Zenith-system använder naturgas för att förbränna vätet. Väte är den processgas som gör det möjligt för EUV-verktyget att arbeta och producera mönstret på den integrerade kretsen. Vårt traditionella sätt att hantera avgaserna är att förbränna dem på ett kontrollerat sätt, medan vätespädningsprodukten är säkrare, har lägre ägandekostnad och är mer miljövänlig eftersom den endast använder kraft för att driva fläktmekanismen.
Hur fungerar H2D?
H2D är integrerat med vårt EUV Zenith-system. Vi späder på ett säkert sätt ut vätgasen i processen med en fläkt till en låg volymprocent, som sedan släpps ut i atmosfären när den är under en säker nivå.
Säkerhet
Innovationskonsten ligger i att tillhandahålla en produkt som på ett säkert sätt hanterar vätgasavgaserna, men också skyddar människorna som arbetar i SubFab, och vi har naturligtvis ett socialt ansvar gentemot samhällen som bor runt Fabs så vi måste se till att avgaserna späds till en säker nivå.
Hur kan H2D gynna våra kunder?
Vi förstår att kunderna behöver förbättra hållbarhet och säkerhet, men vi behöver också förbättra kundernas produktivitet för att de ska kunna lyckas på sina marknader. H2D kommer att förbättra EUV-verktygets prestanda och tillgänglighet i fabriken genom betydligt mindre underhållsrelaterade aktiviteter jämfört med luftförbränningsteknik, redundant drift som ger hundra procent drifttid och rutinunderhåll kan utföras under vätgasflöde med vårt koncept med dubbla fläktar. Vi utvecklar för närvarande H2D med högre kapacitet för att stödja nästa generations EUV-verktyg
Så de viktigaste lärdomarna för H2D är att det minskar miljökostnaderna, det är säkert genom att späda ut vätgasen på ett säkert sätt och det förbättrar också produktiviteten för våra kunder.
Om du vill läsa mer om detta ämne kan du ladda ned David Engerrans rapport ”Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography” nedan.
Vårt engagemang för miljön
