Компания Edwards адаптируется к новым нормативам ООН, регулирующим выброс парниковых газов

Компания Edwards адаптируется к новым нормативам ООН, регулирующим выброс парниковых газов

Более строгие нормативы МГЭИК распространяются на производство и выбросы тетрафторида углерода (CF4)

«МГЭИК признала несоответствие между количеством парниковых газов в атмосфере и суммарным объемом газов, выброшенных из известных источников,— отметил профессор Майк Черняк из Бристольского университета, также занимающий пост менеджера по развитию бизнеса экологически чистых решений в компании Edwards. — Это несоответствие особенно велико для фторуглеродов, которые не только оказывают чрезвычайно большой эффект на глобальное потепление, но и сохраняются в атмосфере на очень долгое время, до 50 000 лет».

Были выявлены два новых механизма образования фторуглеродов в процессе производства полупроводников, что привело к добавлению в последнюю версию нормативов МГЭИК новых факторов выброса:

1) Образование CF4 при очистке химическим осаждением из газовой фазы (CVD) в рабочей камере.

2) Образование CF4 в результате реакции фторопласта с углеводородным топливом в процессе очистки сжиганием в системах со смешением топлива с потоком газов из рабочей камеры.

«Впервые учитывается новый фактор выброса, связанный с процессом очистки фторопласта сжиганием — теперь производитель оборудования должен представить сертификат о том, что проблемная реакция сведена к минимуму, — поясняет профессор Черняк. — Образование фторуглеродов можно свести к минимуму, внеся необходимые изменения в конструкцию камеры сгорания».

Конструкция камеры внутреннего сгорания в системах Edwards предотвращает смешивание выпускных газов из рабочей камеры с топливом, что в других конструкциях могло привести к образованию фторуглеродов, которых первоначально не было в потоке выпускных газов. Более низкий и стабильный температурный режим в камере внутреннего сгорания гарантирует более эффективную ликвидацию отходов с минимальным образованием оксидов азота. Подобные камеры внутреннего сгорания используются во всех очистных системах Edwards с момента разработки первой такой системы в 1990-х гг.

Посетите стенд Edwards (№ 750) на выставке SEMICON West, чтобы узнать больше о последних изменениях в нормативах МГЭИК и передовых методах сокращения выбросов парниковых газов. Выставка SEMICON West пройдет 9–11 июля 2019 года в Сан-Франциско (США).