БЕРДЖЕСС-ХИЛЛ, ЗАПАДНЫЙ САССЕКС, ВЕЛИКОБРИТАНИЯ, 29 мая 2019 г. — Межправительственная группа экспертов по изменению климата (МГЭИК) при ООН выпустила последнее дополнение к своим Нормативам от 2006 года. В рамках усилий по борьбе с изменениями климата был ужесточен контроль над выбросами новых парниковых газов, используемых в полупроводниковой отрасли, и повышены требования к отчетности и ответственности производителей.
«МГЭИК признала несоответствие между количеством парниковых газов в атмосфере и суммарным объемом газов, выброшенных из известных источников,— отметил профессор Майк Черняк из Бристольского университета, также занимающий пост менеджера по развитию бизнеса экологически чистых решений в компании Edwards. — Это несоответствие особенно велико для фторуглеродов, которые не только оказывают чрезвычайно большой эффект на глобальное потепление, но и сохраняются в атмосфере на очень долгое время, до 50 000 лет».
Были выявлены два новых механизма образования фторуглеродов в процессе производства полупроводников, что привело к добавлению в последнюю версию нормативов МГЭИК новых факторов выброса:
1) Образование CF4 при очистке химическим осаждением из газовой фазы (CVD) в рабочей камере.
2) Образование CF4 в результате реакции фторопласта с углеводородным топливом в процессе очистки сжиганием в системах со смешением топлива с потоком газов из рабочей камеры.
«Впервые учитывается новый фактор выброса, связанный с процессом очистки фторопласта сжиганием — теперь производитель оборудования должен представить сертификат о том, что проблемная реакция сведена к минимуму, — поясняет профессор Черняк. — Образование фторуглеродов можно свести к минимуму, внеся необходимые изменения в конструкцию камеры сгорания».
Конструкция камеры внутреннего сгорания в системах Edwards предотвращает смешивание выпускных газов из рабочей камеры с топливом, что в других конструкциях могло привести к образованию фторуглеродов, которых первоначально не было в потоке выпускных газов. Более низкий и стабильный температурный режим в камере внутреннего сгорания гарантирует более эффективную ликвидацию отходов с минимальным образованием оксидов азота. Подобные камеры внутреннего сгорания используются во всех очистных системах Edwards с момента разработки первой такой системы в 1990-х гг.
Посетите стенд Edwards (№ 750) на выставке SEMICON West, чтобы узнать больше о последних изменениях в нормативах МГЭИК и передовых методах сокращения выбросов парниковых газов. Выставка SEMICON West пройдет 9–11 июля 2019 года в Сан-Франциско (США).
