Интегрированные решения

Максимальная работоспособность вспомогательного оборудования

Повышение производительности на предприятиях наших клиентов

Современный мир быстро меняется, и мы понимаем, как важна для наших клиентов максимальная производительность. Мы предлагаем самые передовые технологии и непрерывно работаем над снижением производственных рисков и уровня воздействия на окружающую среду.


Эксперты Edwards считают, что лучшим решением для клиентов является комплексный подход. Опираясь на обширный опыт, мы предлагаем интегрированные системы, которые обеспечивают создание вакуума и очистку отработавших газов. Инновационные интегрированные решения обеспечивают нашим клиентам стабильность качества продукции и услуг, что гарантирует высокую эффективность, безопасность и экологичность производства.


Инновационный метод литографии с использованием предельной УФ- области спектра (EUVL или EUV) — это технология следующего поколения, которую ведущие производители полупроводниковых чипов планируют использовать в производстве самых передовых полупроводниковых компонентов. Эта технология имеет историческое значение, так как подтверждает справедливость закона Мура. Самой актуальной проблемой для метода экстремального ультрафиолета является время безотказной работы оборудования. Компания Edwards предлагает полностью интегрированное решение для всего комплекса вспомогательного оборудования, что обеспечит значительные преимущества при производстве методом литографии с использованием экстремального ультрафиолета. Вот уже более 10 лет специалисты нашей компании занимаются проектированием систем, обеспечивающих надежность процессов EUV за счет бесперебойной работы вспомогательного оборудования. Самые инновационные технологические решения Edwards и возможности систематизации нацелены на увеличение продолжительности процесса EUV и увеличение выхода продукции в контролируемых безопасных условиях.

Четкое понимание существующих проблем

  • Управление рисками

Обширный мировой опыт, обеспечивающий преимущества для наших клиентов

  • Энергосбережение

Увеличение объема производства не требует использования более мощного оборудования

Переработка и повторное использование

  • Масштабирование

У компании Edwards есть возможности и опыт, чтобы адаптировать оборудование в соответствии с требованиями клиентов. Удвоение объемов производства не влечет за собой необходимости двукратного роста производственной компании, умело использующей системы, числа специалистов по обслуживанию и технической поддержке клиентов, а также расширения международного присутствия

EZENITH — это широкий выбор интегрированных систем для создания вакуума и очистки отработавших газов при производстве полупроводников. Системы EZENITH обеспечивают следующие уникальные преимущества:

  • Создание вакуума и очистка отработавших газов в точном соответствии с параметрами конкретного технологического процесса
  • Полная интеграция компонентов
  • Управление всеми функциями с помощью мощного интегрированного интерфейса управления
  • Конструкция обеспечивает эффективное использование пространства — сокращение площади для монтажа почти на 70 %
  • Полное внутреннее распределение, регулирование и мониторинг инженерных сетей и оборудования, что позволяет сократить более чем на 60 % число подключений к коммуникациям и обеспечить при этом надежную, бесперебойную работу

Для выполнения технологического процесса недостаточно наличия насоса и устройства для очистки отработавших газов. Необходимо также подключиться к выпускному патрубку насоса, подсоединить подогреватели трубопровода (при необходимости), обеспечить работоспособность сетей подачи воды, электропитания и системы продувки, а после этого настроить все необходимые управляющие сигналы. Следует предусмотреть наличие двойной оболочки и системы течеискания, при необходимости — выполнить проверку на герметичность после технического обслуживания оборудования. Организация подобных работ требует временных и финансовых затрат. Мы хорошо представляем себе все эти проблемы, поэтому разработали интегрированные решения, точно соответствующие параметрам конкретных технологических процессов.

Наши интегрированные системы уже адаптированы для большинства технологических процессов в производстве полупроводников. Нагреватели отработавших газов настраиваются для их нагрева до нужной температуры с целью минимизации затрат и максимального увеличения продолжительности бесперебойного выполнения процесса. Смотровые отверстия для контроля утечек и шаберы устанавливаются в тех местах, где они необходимы. Вся система заключена в оболочку, и клиенту необходимо только обеспечить подключение к инженерным сетям. В системе предусмотрены средства распределения газа, воды, электроэнергии и сигналов управления в точном соответствии с потребностями, поэтому она полностью готова к использованию.