Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography - PDF
Pencairan Hidrogen EUV Edwards bersama Richard Salloum
Litografi EUV membantu membolehkan pengeluaran dalam jumlah tinggi bagi litar bersepadu yang tepat dan berkualiti tinggi. Ini meningkatkan permintaan untuk produk mesra alam sambil memaksimumkan produktiviti pelanggan kami.
Untuk mengurangkan emisi langsung pelanggan, Edwards telah membangunkan satu penyelesaian yang mengalihkan penggunaan gas asli di SubFab dan mengubah cara pengurusan gas ekzos untuk litografi EUV.
Dengan mengambil kira kelestarian, pasukan inovatif Edwards telah membangunkan alternatif tanpa bahan bakar untuk pengurangan gas yang dibakar bagi EUV – Sistem Pencairan Hidrogen atau H2D.
TRANSKRIP VIDEO
Apa yang dilakukan oleh seorang pengurus produk?
Sebagai pengurus produk, kami sentiasa berusaha untuk menangkap keperluan pelanggan dan pada dasarnya kami berusaha untuk meramalkan masa depan keperluan pelanggan dan apa yang mereka inginkan.
Kami akan membincangkan bagaimana pencairan menggantikan produk kami yang sedia ada, yang menggunakan bahan bakar fosil dan sumber terhad, dan menggantikannya dengan produk pencairan, yang lebih baik untuk alam sekitar, lebih berkesan untuk pelanggan dan meningkatkan produktiviti mereka.
Apakah pendorong pasaran semasa untuk EUV?
Pertumbuhan pesat 5G, kecerdasan buatan dan pembuatan cip mendorong keperluan untuk litar bersepadu yang mempunyai prestasi lebih tinggi dan penggunaan kuasa yang lebih rendah. Pengeluar cip terus melabur dalam teknologi baharu dan membangunkan proses baharu untuk menyediakan penyelesaian yang memenuhi dan menyokong pertumbuhan teknologi digital yang pesat.
Litografi EUV membolehkan pengeluar cip untuk terus mengurangkan ciri dan saiz peranti, yang telah menentukan kemajuan dalam industri semikonduktor sejak hari-hari awalnya. Pelaburan yang diperlukan untuk menggunakan EUV dalam pengeluar bervolume tinggi bermakna terdapat tekanan besar ke atas pengeluar cip untuk memaksimumkan pengeluaran bagi mencapai pulangan yang boleh diterima.
Jumlah keseluruhan throughput alat EUV pada dasarnya adalah tetap, jadi pengeluar cip terpaksa mencari cara untuk mengurangkan kos operasi, memaksimumkan throughput, dan mengurangkan kos alam sekitar juga. Secara ringkas, terdapat keperluan untuk produk mesra alam sambil memaksimumkan produktiviti.
Apakah cabaran yang dihadapi oleh pelanggan EUV global?
Terdapat tekanan yang besar ke atas pelanggan kami untuk menghasilkan litar bersepadu yang telah dihasilkan dengan cara yang mampan dan mesra alam. Komitmen kepada matlamat lestari seperti Science-Based Targets initiative dan Greenhouse Gas Protocol bermakna pelanggan kami sedang mencari cara baru dan inovatif untuk mengurangkan jejak karbon mereka dan masih perlu memberi tumpuan kepada peningkatan waktu operasi alat E U V mereka serta menumpukan perhatian kepada keselamatan juga.
Bagaimana isu-isu tersebut boleh diselesaikan?
Kebanyakan pelanggan kami telah berkomitmen untuk mengurangkan skop satu dan dua Protokol Gas Rumah Kaca, yang bermakna mereka mempunyai komitmen dalam mengurangkan impak mereka terhadap alam sekitar dan setara emisi CO2 mereka. Sistem pengurangan yang kami gunakan secara tradisional pada sistem EUV Zenith menggunakan gas asli untuk membakar hidrogen. Hidrogen adalah gas proses yang membolehkan alat EUV beroperasi dan menghasilkan corak pada litar bersepadu. Cara tradisional kami untuk mengurus gas ekzos itu adalah dengan membakarnya secara terkawal, manakala produk pencairan hidrogen adalah lebih selamat, mempunyai kos pemilikan yang lebih rendah dan lebih mesra alam kerana ia hanya menggunakan tenaga untuk menggerakkan mekanisme kipas.
Bagaimana H2D berfungsi?
H2D diintegrasikan dengan sistem EUV Zenith kami. Kami dengan selamat mencairkan gas proses hidrogen dengan kipas kepada peratusan rendah bagi setiap isipadu, dan ia kemudian dilepaskan ke atmosfera setelah berada di bawah tahap yang selamat.
Keselamatan
Seni inovasi terletak pada penyediaan produk yang dengan selamat mengendalikan gas ekzos hidrogen, tetapi juga melindungi orang-orang yang bekerja di SubFab, dan kami jelas mempunyai tanggungjawab sosial korporat kepada komuniti yang tinggal di sekitar Fabs, jadi kami perlu memastikan bahawa gas ekzos dicairkan ke tahap yang selamat.
Bagaimana H2D dapat memberi manfaat kepada pelanggan kami?
Kami memahami bahawa pelanggan perlu meningkatkan kelestarian dan keselamatan, tetapi kami juga perlu meningkatkan produktiviti pelanggan untuk membolehkan mereka berjaya di pasaran mereka. H2D akan meningkatkan prestasi dan ketersediaan alat EUV di Fab dengan mengurangkan aktiviti berkaitan penyelenggaraan secara signifikan berbanding dengan teknologi pembakaran udara, operasi redundan yang memberikan waktu operasi seratus peratus dan penyelenggaraan rutin boleh dilakukan semasa aliran hidrogen dengan konsep kipas ganda kami. Kami sedang membangunkan H2D dengan kapasiti yang lebih tinggi untuk menyokong generasi seterusnya alat EUV.
Oleh itu, perkara utama untuk H2D adalah ia mengurangkan kos alam sekitar, ia selamat melalui pencairan hidrogen dengan selamat, dan ia juga meningkatkan produktiviti untuk pelanggan kami.
Untuk membaca lebih lanjut mengenai subjek ini, kertas kerja David Engerran 'Memahami cabaran vakum terintegrasi dalam Litografi HVM EUV', boleh dimuat turun di bawah.
Komitmen kami terhadap alam sekitar
