AUGMENTEZ VOTRE PRODUCTIVITE TOUT EN REDUISANT VOS COUTS ET VOTRE IMPACT ENVIRONNEMENTAL
Dans le cadre de notre processus d'amélioration continue, nous concevons des upgrades pour permettre à nos clients d'améliorer les performances de leurs machines, de réduire leur coût d'exploitation et d'atteindre leurs objectifs en matière de développement durable.
- Protection des performances de l'équipement
- Minimiser le coût total de possession
- Mises à niveau environnementales
PROTECTION DES PERFORMANCES DE L'EQUIPEMENT
Upgrades conçues pour améliorer les performances de votre machine et augmenter la productivité de votre exploitation
Upgrades pour la réduction des particules sur l'outil pour les turbopompes Maglev
Dans le cadre de notre mission permanente visant à améliorer la productivité et le rendement de nos clients, nous avons conçu une série de solutions qui permettent à nos clients de réduire la contamination par particules sur les plaques dans les applications de semi-conducteurs en utilisant trois technologies sur outils, notre technologie anti-dispersion, un couvercle de cuvette de rotor et l'utilisation de pompes haute température.
Technologie anti-dispersion
Au cours de la production, des particules peuvent sortir de la turbopompe et se disperser dans la chambre, ce qui peut contaminer les plaques et réduire la productivité. Notre technologie anti-dispersion réduit considérablement la contamination par les particules en les faisant facilement sortir de la turbopompe par l'échappement.
Couvercle de cuvette de rotor
Pour éviter la corrosion et l'accumulation de particules sur la cuvette de rotor (à l'entrée de la turbopompe), nous avons développé un couvercle de cuvette de rotor résistant à la corrosion, qui empêche la formation de dépôts et la corrosion des composants en acier inoxydable.
Pompes haute température
Une autre source de contamination par des particules provient du dépôt présent à l'intérieur de la turbopompe, qui peut également laisser les particules revenir dans la chambre par la turbopompe. En utilisant des pompes haute température, le circuit de gaz est chauffé à des températures extrêmement élevées, ce qui réduit la formation de dépôts. Ces pompes sont dotées d'un revêtement spécial à forte émissivité thermique sur les principaux composants de vide, comme le rotor et le stator, et leur profil de température est continuellement optimisé pour de meilleurs résultats.
Ces trois technologies de réduction des particules peuvent être installées lors d'un entretien classique de la pompe dans notre Centre Technologique d'Entretien afin de garantir aux clients une productivité optimale pour leurs nouveaux équipements et leur base existante.
Protection de pompe sèche XCEDE pour les processus de fabrication difficiles
La technologie de protection de pompe sèche XCEDE empêche la corrosion des composants critiques de la pompe et augmente les intervalles entre les entretiens, optimisant ainsi le temps de fonctionnement. Cette technologie surpasse toutes les méthodes concurrentes en utilisant une combinaison complexe de traitement de surface et d'ingénierie de précision pour réduire l'usure chimique et mécanique du mécanisme de pompe des gammes de pompes Edwards iH, iXH et iXM.
MINIMISER LE COÛT TOTAL DE POSSESSION
Upgrades conçues pour augmenter les intervalles entre les entretiens et l'efficacité de votre parc d'équipements pour un coût total de possession réduit.
Tête poreuse de traitement
Edwards a développé la tête poreuse, une upgrade de service sur site qui comporte un bloc métallique fritté et poreux qui répartit uniformément une purge d'air sur la surface pour réduire le risque d'accumulation de poudre. Il remplace la tête isolante en céramique classique.
Au cours du procédé, les solides, généralement des poudres, peuvent s'accumuler dans des zones indésirables du système, comme le dessous de la tête d'entrée. Cette accumulation de poudre entraîne un blocage qui empêche l'écoulement des gaz de procédé, provoquant de fréquentes interventions d'entretien planifiées. Au bout d'une année avec ces conditions difficiles, cette accumulation de poudre peut entraîner plus de neuf interruptions de service, ce qui provoque une augmentation du coût de possession du fait de la main-d'œuvre et des pièces de rechange utilisées.
Les clients qui utilisent la mise à niveau de la tête poreuse sont passés de dix intervalles d'entretien par an à seulement deux en moyenne. Cela a permis d'éliminer en moyenne 64 heures d'interruption des outils par an pour les clients qui ne disposent pas d'un système de traitement de secours, soit un rendement supplémentaire de $1,5 million.
Les clients disposant d'un système de traitement de secours réalisent des économies substantielles en termes de pièces de rechange et de main-d'œuvre de maintenance ; de plus, ils augmentent leur efficacité énergétique en réduisant leur dépendance à leur système de secours.
Maintenance axée sur la durée de vie
Les parcs composés de machines utilisées depuis plus de cinq ans risquent des défaillances inattendues de leurs composants électroniques critiques, quelles que soient leurs performances mécaniques. Ces composants sont principalement préservés par des régimes de maintenance efficaces.
La solution de maintenance axée sur la durée de vie Edwards est une excellente option pour mettre à niveau les machines et prolonger la durée de vie de votre parc. Cette solution couvre tous les principaux composants électroniques du système et leur accorde des extensions de garantie, ce qui permet à votre équipement de fonctionner pendant des années.
La solution est disponible via notre réseau mondial de Centres Technologiques d'Entretien.
MISES A NIVEAU ENVIRONNEMENTALES
Des mises à niveau conçues pour augmenter la durée de vie de votre parc d'équipements et réduire son impact sur l'environnement, afin de vous permettre d'atteindre vos objectifs en matière de développement durable.
Réduire les coûts énergétiques dans la fabrication grâce à nos mises à niveau économes en énergie
Cette mise à niveau de la pompe à sec iXH1210 d'Edwards garantit un remplacement facile sans travail supplémentaire pour les équipes sur site et sans pertes liées aux interruptions pendant le processus de mise à niveau.
Elle vous permet de réduire vos coûts énergétiques de près d'un tiers et contribue à atténuer votre impact environnemental en limitant davantage vos émissions de carbone, vous permettant ainsi d'atteindre vos objectifs environnementaux. Il n'est donc pas étonnant que nous la qualifions de mise à niveau économe en énergie.
Imaginez maintenant que vous multipliez ces chiffres par le nombre de pompes qui peuvent être améliorées dans votre usine de fabrication.
De plus, elle présente un avantage supplémentaire : nos clients n'ont pas besoin d'avancer du capital pour les nouvelles pompes, car la mise à niveau peut être réalisée via le processus de mise à niveau Intelligent Service d'Edwards.
Echangeur de chaleur
La contamination de l'eau de refroidissement à l'échelle de l'usine est un risque induit par les systèmes de traitement qui ne disposent pas d'un calendrier de maintenance rigoureux. Dans de nombreux systèmes, les échangeurs de chaleur sont vulnérables aux dommages dus à la corrosion causés par les produits chimiques acides qui peuvent s'infiltrer dans l'eau de refroidissement du procédé de l'usine. Cette contamination peut endommager d'autres outils de traitement utilisant le même circuit d'eau de refroidissement. Elle présente également un risque pour l'environnement, car sa mise au rebut est dangereuse.
Le kit de mise à niveau de service sur site de l'échangeur thermique est une solution efficace qui convertit l'échangeur thermique brasé existant en un nouveau produit composé de plaques et de joints, sans modification significative du système. Il offre une meilleure résistance aux attaques acides par rapport aux échangeurs de chaleur classiques, offrant ainsi une durée de vie accrue d'environ cinq à dix fois et réduisant le risque de contamination de l'eau de refroidissement de l'usine.
