Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography - PDF
Edwards’ EUV-brintfortynding med Richard Salloum
EUV-litografi er med til at muliggøre produktion af højpræcisions integrerede kredsløb i store mængder. Det øger efterspørgslen efter miljøvenlige produkter og maksimerer samtidig vores kunders produktivitet.
For at reducere kundens direkte emissioner har Edwards udviklet en løsning, der bevæger sig væk fra brugen af naturgasser i SubFab og ændrer den måde, udstødningsgassen håndteres på til EUV-litografi.
Med bæredygtighed for øje har Edwards’ innovative teams udviklet et brændstoffrit alternativ til gasfyret reduktion til EUV – Hydrogen Dilution System eller H2D.
VIDEOAFSKRIFT
Hvad laver en produktchef?
Som produktchef forsøger vi altid at fange kundernes behov, og vi forsøger grundlæggende at forudsige fremtidens kundebehov og -ønsker.
Vi vil tale om, hvordan fortynding erstatter vores nuværende produkt, som bruger fossile brændstoffer og begrænsede ressourcer, og erstatter det med et fortyndingsprodukt, som er bedre for miljøet, mere effektivt for kunderne og forbedrer deres produktivitet.
Hvad er den aktuelle markedsdriver for EUV?
Den hurtige vækst inden for 5G, kunstig intelligens og fremstilling af chips driver behovet for integrerede kredsløb, der har højere ydeevne og lavere strømforbrug. Chipproducenterne fortsætter med at investere i ny teknologi og udvikle nye processer for at levere løsninger, der opfylder og understøtter den hurtige vækst inden for digital teknologi.
EUV-litografi gør det muligt for chipproducenter at fortsætte reduktionen af funktioner og enhedsstørrelser, hvilket har defineret fremskridt i halvlederindustrien siden de første dage. Den investering, der er nødvendig for at bruge EUV i en producent med høj volumen, betyder, at der er et enormt pres på chipproducenter for at maksimere produktionen for at opnå et acceptabelt afkast.
Det samlede gennemløb for et EUV-værktøj er grundlæggende fast, så chipproducenter er nødt til at søge at reducere driftsomkostningerne, maksimere gennemløbet og også reducere miljøomkostningerne. Kort sagt er der behov for miljøvenlige produkter, samtidig med at produktiviteten maksimeres.
Hvilke udfordringer står globale EUV-kunder over for?
Der er et enormt pres på vores kunder om at producere integrerede kredsløb, der er fremstillet på en bæredygtig og miljøvenlig måde. Vores engagement i bæredygtige mål som Science-Based Targets initiative og Greenhouse Gas Protocol betyder, at vores kunder er på udkig efter nye og innovative måder at reducere deres kulstofaftryk på og stadig skal fokusere på at forbedre oppetiden for deres E U V-værktøjer og også fokusere på sikkerhed.
Hvordan kan disse problemer løses?
Størstedelen af vores kunder har forpligtet sig til at reducere deres omfang et og to af Greenhouse Gas Protocol, hvilket betyder, at de har forpligtet sig til at reducere deres påvirkning af miljøet og deres CO2-ækvivalent. Et reduktionssystem, som vi traditionelt bruger på et EUV Zenith-system, bruger naturgas til at forbrænde brinen. Brint er den procesgas, der gør det muligt for EUV-værktøjet at køre og producere mønstret på det integrerede kredsløb. Vores traditionelle måde at håndtere udstødningsgassen på er at forbrænde den på en kontrolleret måde, mens brintfortyndingsproduktet er sikrere, har lavere ejeromkostninger og er mere miljøvenligt, fordi det kun bruger strøm til at drive ventilatormekanismen.
Hvordan fungerer H2D?
H2D er integreret med vores EUV Zenith-system. Vi fortynder på sikker vis brintprocesgassen med en ventilator til en lav volumenprocent, og den udledes derefter til atmosfæren, når den er under et sikkert niveau.
Sikkerhed
Kunsten i innovation ligger i at levere et produkt, der på sikker vis håndterer brintudstødningen, men også beskytter de mennesker, der arbejder i SubFab, og vi har naturligvis et socialt ansvar over for de samfund, der bor omkring Fabs, så vi er nødt til at sikre, at udstødningen fortyndes til et sikkert niveau.
Hvordan kan H2D gavne vores kunder?
Vi forstår, at kunderne har brug for at forbedre bæredygtighed og sikkerhed, men vi har også brug for at forbedre kundernes produktivitet for at give dem mulighed for at få succes på deres markeder. H2D vil forbedre ydeevnen og tilgængeligheden af EUV-værktøjet i fabrikken ved at reducere vedligeholdelsesrelaterede aktiviteter betydeligt sammenlignet med luftforbrændingsteknologi, redundant drift, der giver hundrede procent oppetid, og rutinemæssig vedligeholdelse kan udføres under brintflow med vores dobbelte ventilatorkoncept. Vi udvikler i øjeblikket H2D med højere kapacitet til at understøtte næste generation af EUV-værktøjer
Så de vigtigste konklusioner for H2D er, at det reducerer miljøomkostningerne, at det er sikkert ved at fortynde brint sikkert, og at det også forbedrer produktiviteten for vores kunder.
Hvis du vil læse mere om dette emne, kan du downloade David Engerrans artikel "Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography" (Forståelse af de integrerede vakuumudfordringer ved HVM EUV-litografi) nedenfor.
Vores forpligtelse over for miljøet
