Edwards firar 100 år av innovation på SEMICON Korea

Nya tillvägagångssätt för vakuum- och reduktionsutmaningar bidrar till att möjliggöra nya, mer komplexa chiptekniker och mer produktiva fabriker.

På SEMICON® Korea i år kommer Edwards att presentera innovativa lösningar som hjälper spåntillverkare att förbli konkurrenskraftiga på dagens krävande och mångsidiga marknad. Den växande efterfrågan på mer komplexa konstruktioner vid mindre tekniknoder har resulterat i många olika halvledartillverkningsprocesser som använder en mängd olika tekniker och material – som alla förlitar sig på nya vakuum- och reduktionsmetoder för framgångsrik implementering.

I år firar Edwards 100 år av teknisk innovation. Den kommer att visa nya metoder för innovation, produktivitet och säkerhet i två presentationer under SEMICON Korea:

” CVD Precursors and Associated By-products – Ensuring Maximum Chamber Productivity” av Al Brightman, Sr. Product Manager, Edwards. I det här dokumentet presenteras optimala vakuumlösningar som är utformade för att minska utrustningens stilleståndstid och förbättra produktiviteten i fabriken. Dessutom kan hälso- och säkerhetsriskerna minskas avsevärt (onsdag, 23 januari, rum 308). "Enable3D and High-aspect Ratio Etch Technologies through On-Chamber Process Vacuum", av Adam Stover, Applications Manager, Edwards. I detta dokument kommer vi inte bara att diskutera traditionella pumpningsutmaningar och beprövade lösningar, utan även de nya tillämpningsutmaningar som potentiellt kan gälla mer komplexa 3D NAND-, DRAM- och andra enhetsstrukturer (torsdagen den 24 januari, rum 307).

I montern (D104) kommer Edwards att presentera nästa generations modell av den populära torrgående vakuumpumpen iXH, som är särskilt utformad för att hantera kondenserbara gaser. Den erbjuder högre temperaturkapacitet för krävande processer. ”Säker och effektiv hantering av processutlopp är ett växande problem idag, särskilt med utvecklingen av allt strängare utsläppsgränser över hela världen”, säger Jason Yun, General Manager, Edwards Korea. "Samtidigt introducerar den avancerade tekniken nya material och processer som innebär utmaningar, och var och en kräver en optimerad vakuum- och reduktionslösning. Vår nästa generations iXH-pump är till exempel särskilt utformad för att förhindra ansamling av kondenserbara material inuti pumpen." Yun tillägger: ”Eftersom Edwards firar sitt 100-årsjubileum i år ser vi fram emot att fortsätta att samarbeta nära med våra kunder för att skapa lösningar som gör det möjligt för dem att vara innovativa.” Besök Edwards i monter D104 under SEMICON Korea för att lära dig mer om subfab-lösningar och mervärdestjänster. SEMICON Korea äger rum 23-25 januari på COEX, Seoul, Korea.