AUMENTE A PRODUTIVIDADE ENQUANTO REDUZ OS CUSTOS E O IMPACTO AMBIENTAL
Como parte do nosso processo de melhoria contínua, projetamos atualizações para ajudar nossos clientes a melhorar o desempenho das suas máquinas, reduzir o custo de propriedade e atingir suas metas de sustentabilidade.
- Proteção do desempenho do equipamento
- Minimizando o custo total de propriedade
- Atualizações ambientais
PROTEÇÃO DO DESEMPENHO DO EQUIPAMENTO
Atualizações projetadas para melhorar o desempenho da sua máquina e aumentar a produtividade da sua operação
Atualizações de redução de partículas na ferramenta para Turbobombas Maglev
Em nossa missão contínua de melhorar a produtividade e o rendimento de nossos clientes, desenvolvemos uma série de soluções que permitem aos nossos clientes reduzir a contaminação por partículas no wafer em aplicações de semicondutores, usando três tecnologias na ferramenta: nossa Tecnologia Antirretorno, uma cobertura de copo do rotor e a utilização de bombas de alta temperatura.
Tecnologia Antirretorno
Durante a produção, as partículas podem retornar da turbobomba para a câmara, potencialmente contaminando os wafers e reduzindo a produtividade. Nossa tecnologia antirretorno reduz significativamente a contaminação por partículas, permitindo que elas passem facilmente pela turbobomba até o escapamento.
Tampa do copo do rotor
Para evitar corrosão e acúmulo de partículas no copo do rotor (na entrada da bomba turbo), desenvolvemos uma tampa do copo do rotor resistente à corrosão que evita tanto a formação de deposição quanto a corrosão dos componentes de aço inoxidável.
Bombas de alta temperatura
Outra fonte de contaminação por partículas vem da deposição dentro da turbobomba, que também pode permitir que as partículas voltem através da turbobomba e entrem na câmara. Ao usar bombas de alta temperatura, a passagem de gás é aquecida a temperaturas extremamente altas, diminuindo a formação de deposição. Essas bombas possuem um revestimento especial de alta emissividade ao calor nos principais componentes de vácuo, como o rotor e o estator, e seu perfil de temperatura é continuamente otimizado para obter melhores resultados.
Todas as três tecnologias de redução de partículas podem ser instaladas durante um serviço regular de bomba em nosso Centro de Tecnologia de Serviço para garantir que os clientes possam otimizar a produtividade de novos equipamentos e de sua base instalada existente.
Proteção da bomba sea XCEDE para processos de fabricação difíceis
A tecnologia de proteção da bomba seca XCEDE evita a corrosão de componentes críticos da bomba e aumenta o tempo entre os intervalos de manutenção, maximizando o tempo de atividade do cliente. Essa tecnologia supera todos os métodos concorrentes usando uma combinação complexa de tratamento de superfície e engenharia de precisão para reduzir o desgaste químico e mecânico no mecanismo da bomba para as famílias de bombas Edwards iH, iXH e iXM.
MINIMIZANDO O CUSTO TOTAL DE PROPRIEDADE
Atualizações projetadas para aumentar o intervalo entre os serviços e aumentar a eficiência da sua frota de equipamentos para um custo total de propriedade reduzido.
Porous Head com redução
A Edwards desenvolveu o Porous Head, uma atualização de serviço de campo que emprega um bloco de metal sinterizado e poroso, que distribui uniformemente uma purga de ar pela superfície para reduzir o risco de acúmulo de pó. Ele substitui a tradicional cabeça isolante de cerâmica.
Durante o processo de redução, sólidos, normalmente pós, podem acumular-se em áreas indesejadas do sistema, como a parte inferior da cabeça de entrada. Esse acúmulo de pó leva a um bloqueio que impede o fluxo de gases de processo, causando frequentes intervenções planejadas de serviço. Em um ano de processos severos, esse acúmulo de pó pode causar mais de nove interrupções de serviço, resultando em um aumento no custo de propriedade por meio do uso de mão de obra e peças sobressalentes.
Os clientes que utilizam a atualização Porous Head passaram de dez intervalos de manutenção por ano para apenas dois em média. Isso eliminou uma média de 64 horas de tempo de paralisação de ferramentas por ano para clientes sem um sistema de redução de backup, resultando em $1,5 milhões de rendimento adicional.
Os clientes com um sistema de redução de backup percebem economias substanciais em peças sobressalentes, mão de obra de manutenção e maior eficiência energética, reduzindo sua dependência do sistema de backup.
Serviços de aumento da vida útil
Frotas com máquinas que estão em uso há mais de cinco anos correm o risco de falhas inesperadas nos seus componentes eletrônicos críticos, independentemente do seu desempenho mecânico, que é preservado principalmente por regimes de manutenção eficazes.
A solução Edwards Life Services é uma ótima opção para atualizar máquinas e prolongar a vida útil da sua frota. O Life Services cobre todas as principais peças eletrônicas do sistema com garantias estendidas, mantendo seu equipamento funcionando por muitos anos.
O Life Services está disponível através da nossa rede global de Centros de Tecnologia de Serviço.
ATUALIZAÇÕES AMBIENTAIS
Atualizações projetadas para aumentar a vida útil da sua frota de equipamentos e, no que se refere ao seu impacto ambiental, ajudá-lo a atingir suas metas de sustentabilidade.
Redução dos custos de energia na fabricação com nossas atualizações de economia de energia
Essa atualização da bomba seca Edwards do iXH1210 é uma troca fácil, sem trabalho adicional para equipes no local e sem perda de tempo de paralisação durante o processo de atualização.
Ele oferece quase um terço de seus custos de energia para funcionar e ajuda a reduzir o impacto ambiental, economizando mais emissões de carbono, contribuindo para suas metas ambientais. Não é à toa que chamamos isso de atualização de economia de energia.
Agora imagine multiplicar esses números pela quantidade de bombas que podem ser atualizadas em sua Fab?
Além disso, há o benefício adicional que nossos clientes não precisam para planejar capital para novas bombas, já que a atualização pode ser obtida por meio do processo de atualização do Edwards Intelligent Service.
Trocadores de calor
A contaminação da água de resfriamento em toda a fábrica é um risco representado por sistemas de redução sem cronogramas de manutenção rigorosos. Em muitos sistemas, os trocadores de calor são vulneráveis a danos por corrosão causados por processos químicos ácidos que podem causar vazamento na água de resfriamento do processo da Fab. Essa contaminação pode danificar outras ferramentas de processo que utilizam o mesmo circuito de água de resfriamento. Também representa um risco para o meio ambiente, pois é perigoso descartá-lo.
O kit de atualização de serviço de campo do trocador de calor é uma solução eficaz que converte o trocador de calor soldado existente em um novo projeto de placa e junta, sem modificação significativa no sistema. Ele oferece maior resistência a ataques ácidos quando comparado aos trocadores de calor originais, oferecendo uma vida útil aprimorada de cerca de cinco a dez vezes e reduzindo o risco de contaminação da água de resfriamento da Fab.
