Em soluções de câmara
Baixa vibração e manutenção zero
Se você precisa de um desempenho consistente e confiável sem manutenção, nossa linha de bombas STP Maglev Turbomolecular define o padrão. O rotor é totalmente suspenso por rolamentos magnéticos- perfeitas para aplicações que exigem alto tempo de operação, bombeamento sem hidrocarbonetos, manutenção mínima e baixa vibração.
Série avançada de alto rendimento
A série avançada oferece altos níveis de rendimento, perfeitos para seus processos de gravação de semicondutores e CVD:
- Pegada compacta
- Velocidades de produção de 300 l/s a 4.500 l/s
- Rendimento de até 6 slm e aumento de desempenho de H2, N2 e Ar
- Controlador e fonte de alimentação totalmente integrados
- Vácuo ultra-alto
- Série de vibrações baixas e vácuo ultra-alto
Controlador e fonte de alimentação totalmente integrados
Essa solução de bomba turbo multifuncional elimina o cabo de conexão e o rack convencionalmente necessários:
- Área ocupada reduzida, economizando valioso espaços físicos, tempo de instalação e custos
- A fonte de alimentação integrada reduz o consumo de energia em até 32% em altos fluxos de gás
- Operação com velocidades de produção de 300 l/s a 4.500 l/s
Vácuo ultra-alto
A série Ultra High Vacuum oferece confiabilidade, desempenho, limpeza e baixos níveis de vibração incomparáveis:
- A alimentação D.C. elimina a necessidade de baterias
- O controlador de meio rack apresenta ajuste automático e recursos avançados de diagnóstico
- Velocidades de 300 l/s a 1.000 l/s e <10-10 mbar pressão máxima Flange CF
- A versão “C” para processos difíceis também está disponível
Série de vibrações baixas e vácuo ultra-alto
A versão Ultra High Vacuum Low Vibration incorpora todos os recursos da série Ultra High Vacuum, além de um isolador de vibração integrado para proporcionar um desempenho de vibração ultrabaixo.
Essa solução de bomba turbo multifuncional elimina o cabo de conexão e o rack convencionalmente necessários:
- Área ocupada reduzida, economizando valioso espaços físicos, tempo de instalação e custos
- A fonte de alimentação integrada reduz o consumo de energia em até 32% em altos fluxos de gás
- Operação com velocidades de produção de 300 l/s a 4.500 l/s
A série Ultra High Vacuum oferece confiabilidade, desempenho, limpeza e baixos níveis de vibração incomparáveis:
- A alimentação D.C. elimina a necessidade de baterias
- O controlador de meio rack apresenta ajuste automático e recursos avançados de diagnóstico
- Velocidades de 300 l/s a 1.000 l/s e <10-10 mbar pressão máxima Flange CF
- A versão “C” para processos difíceis também está disponível
A versão Ultra High Vacuum Low Vibration incorpora todos os recursos da série Ultra High Vacuum, além de um isolador de vibração integrado para proporcionar um desempenho de vibração ultrabaixo.
- Edwards STP iXA4506 Large Capacity Turbopump Datasheet 245.8 kB, PDF
