Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography - PDF
Rozcieńczanie wodoru metodą EUV firmy Edwards z Richardem Salloumem
Litografia EUV pomaga w produkcji wielkoseryjnej precyzyjnych obwodów zintegrowanych. Zwiększa to zapotrzebowanie na produkty przyjazne dla środowiska, a jednocześnie maksymalizuje produktywność naszych klientów.
Aby zmniejszyć bezpośrednie emisje klienta, firma Edwards opracowała rozwiązanie, które odchodzi od stosowania gazów ziemnych w SubFab i zmienia sposób zarządzania spalinami do litografii EUV.
Z myślą o zrównoważonym rozwoju zespoły ds. innowacji firmy Edwards opracowały bezpaliwową alternatywę dla oczyszczania gazowego w systemie EUV - Hydrogen Dilution System lub H2D.
TRANSKRYPCJA WIDEO
Co robi kierownik ds. produktu?
Jako menedżer produktu zawsze staramy się uchwycić wymagania klientów i przede wszystkim staramy się przewidywać przyszłe potrzeby i oczekiwania klientów.
Omówimy, w jaki sposób rozcieńczanie zastępuje nasz obecny produkt, który wykorzystuje paliwa kopalne i ograniczone zasoby, oraz zastępuje go produktem rozcieńczającym, który jest lepszy dla środowiska, bardziej efektywny dla klientów i poprawia ich wydajność.
Jaki jest obecny czynnik napędzający rynek EUV?
Szybki rozwój 5G, sztucznej inteligencji i produkcji chipów napędza zapotrzebowanie na obwody zintegrowane o wyższej wydajności i niższym zużyciu energii. Producenci chipów nieustannie inwestują w nowe technologie i opracowują nowe procesy, aby dostarczać rozwiązania, które spełniają i wspierają ten szybki rozwój technologii cyfrowej.
Litografia EUV umożliwia producentom chipów kontynuowanie redukcji cech i rozmiarów urządzeń, co od początku definiuje postęp w branży półprzewodnikowej. Inwestycja wymagana do wykorzystania EUV w produkcji wielkoseryjnej oznacza, że producenci chipów są pod ogromną presją, aby zmaksymalizować wydajność w celu osiągnięcia akceptowalnego zwrotu.
Całkowita przepustowość narzędzia EUV jest zasadniczo stała, dlatego producenci chipów muszą dążyć do zmniejszenia kosztów operacyjnych, maksymalizacji przepustowości, a także zmniejszenia kosztów środowiskowych. Krótko mówiąc, istnieje zapotrzebowanie na produkty przyjazne dla środowiska przy jednoczesnym zmaksymalizowaniu wydajności.
Jakie wyzwania stoją przed globalnymi klientami EUV?
Nasi klienci są pod ogromną presją, aby produkować obwody zintegrowane, które są wytwarzane w sposób zrównoważony i przyjazny dla środowiska. Zobowiązanie do realizacji zrównoważonych celów, takich jak inicjatywa Science-Based Targets i Greenhouse Gas Protocol, oznacza, że nasi klienci szukają nowych i innowacyjnych sposobów na zmniejszenie swojego śladu węglowego i nadal muszą skupić się na poprawie czasu sprawnego działania swoich narzędzi E U V, a także skupić się na bezpieczeństwie.
Jak można rozwiązać ten problem?
Większość naszych klientów zobowiązała się do zmniejszenia zakresu pierwszego i drugiego protokołu dotyczącego gazów cieplarnianych, co oznacza, że zobowiązali się do zmniejszenia swojego wpływu na środowisko i emisji ekwiwalentu CO2. System oczyszczania spalin, który tradycyjnie stosujemy w systemie EUV Zenith, wykorzystuje gaz ziemny do spalania wodoru. Wodór jest gazem procesowym, który umożliwia pracę narzędzia EUV i wytwarzanie wzoru na obwodzie zintegrowanym. Nasz tradycyjny sposób zarządzania tymi spalinami polega na ich kontrolowanym spalaniu, podczas gdy produkt rozcieńczający wodór jest bezpieczniejszy, ma niższy koszt posiadania i jest bardziej przyjazny dla środowiska, ponieważ wykorzystuje tylko energię do napędu mechanizmu wentylatora.
Jak działa H2D?
H2D jest zintegrowany z naszym systemem EUV Zenith. Bezpiecznie rozcieńczamy wodór procesowy za pomocą wentylatora do niskiej procentowej objętości na objętość, a następnie uwalniamy go do atmosfery, gdy spadnie poniżej bezpiecznego poziomu.
Zabezpieczenie
Sztuka innowacji polega na dostarczaniu produktu, który bezpiecznie radzi sobie ze spalinami wodorowymi, ale również chroni ludzi pracujących w SubFab. Oczywiście mamy społeczną odpowiedzialność korporacyjną wobec społeczności mieszkających wokół Fab, więc musimy upewnić się, że spaliny są rozrzedzane do bezpiecznego poziomu.
W jaki sposób H2D może przynieść korzyści naszym klientom?
Rozumiemy, że klienci muszą poprawić zrównoważony rozwój i bezpieczeństwo, ale także musimy poprawić produktywność klientów, aby umożliwić im odniesienie sukcesu na swoich rynkach. H2D poprawi wydajność i dostępność narzędzia EUV w Fab dzięki znacznie mniejszej liczbie czynności związanych z konserwacją w porównaniu z technologią spalania powietrza, pracy nadmiarowej zapewniającej stuprocentowy czas sprawnego działania, a rutynowa konserwacja może być wykonywana podczas przepływu wodoru dzięki naszej koncepcji podwójnego wentylatora. Obecnie opracowujemy wyższą wydajność H2D, aby wspierać nową generację narzędzi EUV
Kluczowe wnioski dotyczące H2D to obniżenie kosztów środowiskowych, bezpieczeństwo dzięki bezpiecznemu rozcieńczaniu wodoru, a także poprawa produktywności dla naszych klientów.
Aby dowiedzieć się więcej na ten temat, poniżej można pobrać opracowanie Davida Engerrana „Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography”.
Nasze zaangażowanie w ochronę środowiska
