Edwards vermeld in AVS Journal: Betere vacuümprestaties met coatings van Ti-Zr-V-Hf-legering

In dit onderzoek onderzocht ons team de pompprestaties van verschillende NEG-coatings van Ti-Zr-V-Hf-legering, met de nadruk op hoe verschillende morfologieën en activeringsprotocollen hun effectiviteit beïnvloeden. Het onderzoek wijst op de superieure prestaties van dubbellaagse Ti-Zr-V-Hf-legeringscoatings, met name bij het bereiken van hogere kleefkansen voor gassen zoals H₂ en N₂ bij cryogene temperaturen – een doorbraak die aanzienlijke gevolgen heeft voor de R&D-sector.

Een belangrijk onderdeel van het onderzoek bestond uit het testen van de NEG-gecoate monsters met behulp van een geavanceerde testinstallatie uitgerust met Edwards nEXT85H turbomoleculaire pompen (TMP's) en een Edwards nXDS15i scrollpomp. Deze opstelling zorgde voor optimale basisdrukomstandigheden, waardoor nauwkeurige metingen van plakkansen en eindcapaciteiten op UHV-niveaus mogelijk waren.

De resultaten toonden aan dat dubbele (kolomvormige laag op de dichte laag) coatings de kans op kleven aanzienlijk verhoogden, met name voor H₂ en N₂. Onze pompen speelden een essentiële rol bij het handhaven van de precieze vacuümomstandigheden die vereist zijn voor deze tests, wat hun betrouwbaarheid in toepassingen met hoge prestaties bevestigt.