I sistemi a pompa criogenica CTI-Cryogenics IS di Edwards sfruttano l'innovativa tecnologia ad alta efficienza per fornire prestazioni di vuoto e un'efficienza energetica senza pari.
Un sistema di controllo distribuito brevettato monitora e regola costantemente i singoli elementi del sistema della pompa criogenica per mantenere prestazioni ottimali del vuoto a livello di sistema e un'eccezionale uniformità del processo. Le pompe criogeniche On-Board IS offrono i massimi tempi di attività, la migliore produttività e i costi complessivi di proprietà più bassi di qualsiasi sistema analogo oggi disponibile, con il supporto della rete di assistenza e supporto globale altamente reattiva di Edwards.
La pompa criogenica IS 320FX On-Board®, progettata specificamente per affrontare le sfide degli odierni processi di impianto di ioni, consente una maggiore velocità e capacità di pompaggio dell'idrogeno, mantenendo la qualità, le prestazioni e l'affidabilità che si possono prevedere.
La pompa criogenica IS XP On-Board® offre una maggiore capacità per le applicazioni PVD, consentendo di ottenere la massima produttività mantenendo al contempo la trasparenza dei processi. Allo stesso tempo, sfrutta la comprovata efficienza energetica, le prestazioni costanti e i bassi costi di gestione che ci si aspetta da On-Board® IS.
