Une pompe turbomoléculaire est une turbine multi-étagée à flux axial dans laquelle des ailettes tournent très rapidement pour assurer la compression en augmentant la probabilité de déplacement du gaz dans le sens de pompage. La pompe turbomoléculaire est optimisée pour fonctionner dans les conditions d'écoulement moléculaire et nécessite une pompe primaire d'une taille adaptée pour le refoulement dans l'atmosphère.
Reposant sur plus de deux décennies d'expérience acquise avec nos gammes éprouvées et fiables EXT et STP, les pompes turbomoléculaires nEXT offrent des performances supérieures, une plus grande fiabilité et un entretien aisé pour l'utilisateur. Elles constituent la nouvelle référence en matière de pompes turbomoléculaires scientifiques.
La taille des pompes de notre gamme nEXT (N2), qui permettait déjà une vitesse de pompage réelle de 85, 240, 300 et 400 litres par seconde, permet désormais une vitesse de pompage réelle de 700 et 900 litres par seconde.
Les rotors des pompes turbomoléculaires conventionnelles ont été conçus pour offrir une vitesse ou une compression élevée. Pour éviter d'avoir à faire ce compromis, la disposition des ailettes du rotor des pompes nEXT a été entièrement redessinée pour optimiser les performances de la pompe et atteindre des vitesses supérieures ainsi qu'une compression plus importante. Le résultat : des performances exceptionnelles pour une pompe de cette taille.
Le modèle nEXT85 s'appuie sur la célèbre gamme EXT, mais propose des performances accrues ainsi qu'une amélioration des fonctionnalités et avantages, le tout avec un encombrement réduit. John Wood, chef de produit Edwards, vous présente cette nouvelle pompe turbomoléculaire exceptionnelle.
Edwards étend la gamme de sa plateforme nEXT, leader sur le marché, avec ses deux nouvelles pompes nEXT730 et nEXT930, plus grandes et dont la vitesse est bien supérieure à 700 l/s et 900 l/s pour l'azote.
Non seulement destinées au marché général de la R&D, pour lequel des vitesses de pompage plus rapides sont parfois nécessaires, ces pompes répondent également aux exigences du marché du revêtement et d'autres secteurs de marché diffus, tels que le traitement thermique, les applications de fours, le soudage par faisceau d'électrons, la gravure, l'implantation ionique, le dégazage et l'évacuation de cylindre.
Après avoir produit plus de 80 000 pompes testées et approuvées, nous proposons désormais des vitesses de pompage plus élevées et une flexibilité accrue pour de nouveaux secteurs et applications plus exigeants. Ces nouveaux modèles augmentent les capacités de la gamme nEXT grâce aux brides d'admission ISO/CF 160 et ISO/CF 200 qui offrent des vitesses de pompage supérieures à 900 l/s.
Elles offrent des performances de pointe ainsi qu'une fiabilité élevée et un coût d'exploitation réduit.
| nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
| Bride d’admission | DN40 | DN63 ISO-K ou DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K ou DN100CF | DN100 ISO-K ou DN100CF | DN160 ISO-K ou DN160-CF | |
| Vitesse de pompage à l'admission en l/s-1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
| He | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
| H2 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
| Taux de compression (D) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 |
| Ar | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | |
| He | 8 × 106/2 × 107 (D/H) | 3 × 105 | 1 × 106 | 1 × 108 | |||
| H2 | 2 × 105/5 × 105 (D/H) | 1 × 104 | 5 × 104 | 5 × 105 | |||
| Taux de compression (T/H) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | |||
| He | 1 × 106 | 3 × 106 | > 1 × 108 | ||||
| H2 | 1,5 × 104 | 1 × 105 | 1 × 106 | ||||
| nEXT730D | nEXT930D | |||
| ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
| Admission principale Vitesse de pompage |
||||
| N2 l/s-1 | 730 | 925 | ||
| He l/s-1 | 820 | 905 | ||
| H2 l/s-1 | 715 | 735 | ||
| Ar l/s-1 | 665 | 865 | ||
| Taux de compression maximale entre l'orifice de refoulement et l'orifice d'admission principal | ||||
| N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | ||
| He | 1,2 × 108 | 1,2 × 108 | ||
| H2 | 4 × 106 | 4 × 106 | ||
| Ar | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | ||
| Pression limite (mbar) (CF) | 3,0 × 10-10 | 3,0 × 10-10 | ||
| Poids (kg) | 14,6 | 19,6 | 15,4 | 21,7 |
| Débit à plein régime : | ||||
| N2 | 14 | 14 | ||
| He | 21 | 21 | ||
| H2 | >14 | >14 | ||
| Ar | 3.5 | 3.5 | ||
