Proteus

Proteus est une solution à faible consommation électrique, conviviale et rentable visant à réduire l’empreinte carbone de la fabrication de semi-conducteurs.

• Technologie Plasma à faible consommation et à hautes performances
• Modulation Puissance Plasma
• Faibles émissions de NOx
• MTBS prolongé
• Protection du temps d’utilisation avec Proteus Dual

1. Une technologie Plasma unique et à faible consommation qui atteint des niveaux élevés de destruction (DRE) de gaz PFC tels que le CF₄ et d’autres gaz à effet de serre tels que le SF₆, le NF₃ et le N₂O. À ce titre, Proteus constitue l’une des solutions les plus rentables en vue du traitement des gaz à effet de serre émis par les procédés de fabrication de semi-conducteurs.
2. La puissance de fonctionnement de Proteus Plasma s’adapte entièrement à la charge de gaz entrante, permettant ainsi aux utilisateurs de réduire la consommation électrique tout en conservant une efficacité de traitement optimale. L’interfaçage avec les équipements et la fonctionnalité automatique Plasma Power Modulation permet par ailleurs de réduire les coûts de fonctionnement tout en bénéficiant des meilleures performances environnementales.
3. Le traitement des gaz PFC nécessite des températures élevées favorisant la formation de gaz NOx. La technologie Proteus Plasma a été mise au point afin de réduire les émissions de « NOx thermique ». Aujourd’hui, elle est utilisée dans les principaux systèmes de traitement de PFC « à faible NOx ».
4. La destruction de molécules de PFC tend à accroître la charge d’acide en raison de la formation de composés hydrosolubles toxiques et corrosifs. Proteus Plasma comprend des phases de lavage spécialement conçues pour réduire la corrosion des composants. Présentant en outre d’excellentes capacités de traitement des poudres, Proteus est en mesure d’atteindre un MTBS prolongé tout en garantissant la sécurité de l’environnement de travail dans les ateliers.
5. Proteus Dual offre encore une solution « de secours » entièrement intégrée assurant la disponibilité des procédés de traitement sans nécessiter de raccordement ou d’interfaçage complexe. Proteus Dual est une solution rentable et facile à installer. Elle permet de préserver le temps d’utilisation des procédés et de réduire leur empreinte écologique ainsi que les coûts d’installation, tout en optimisant la sécurité dans les ateliers.
   
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