Une pompe turbomoléculaire (TMP) est une turbine multi-étagée à flux axial à l’intérieur de laquelle des ailettes tournent à grande vitesse pour assurer une compression en augmentant la probabilité de déplacement de molécules gazeuses dans le sens de pompage. La pompe turbomoléculaire est optimisée pour fonctionner dans les conditions d'écoulement moléculaire et nécessite une pompe primaire d’une taille adaptée pour le refoulement à l’atmosphère.
Reposant sur plus de deux décennies d’expérience acquise avec nos gammes éprouvées et fiables EXT et STP, les pompes turbomoléculaires de la série nEXT offrent des performances supérieures, une plus grande fiabilité et un entretien aisé par l’utilisateur. Elles constituent la nouvelle référence en matière de pompes turbomoléculaires scientifiques.
La série nEXT a été conçue pour offrir un véritable produit haut de gamme combinant d’une part les toutes dernières avancées technologiques dans le domaine des pompes turbomoléculaires, et d’autre part, la possibilité pour l’utilisateur de réaliser l’entretien lui-même, s’il le désire. La taille des pompes de notre gamme nEXT (N2), qui permettait déjà une vitesse de pompage réelle de 85, 240, 300 et 400 litres par seconde, permet désormais une vitesse de pompage réelle de 700 et 900 litres par seconde. Les rotors des pompes turbomoléculaires conventionnelles ont été conçus pour offrir une vitesse ou une compression élevée. Pour éliminer ce compromis, la disposition des palettes du rotor des pompes nEXT a été entièrement redessinée pour optimiser les performances de la pompe et atteindre des vitesses supérieures ainsi qu’une compression plus importante. Le résultat : des performances exceptionnelles pour une pompe de cette taille.
Edwards est fière d’ajouter deux nouveaux produits à sa gamme nEXT, les pompes turbomoléculaires nEXT730 et nEXT930. Grâce aux pompes nEXT730 et nEXT930, Edwards étend la gamme de sa plateforme nEXT, leader sur le marché, avec deux nouvelles pompes plus grandes offrant des vitesses bien au-dessus de 700 l/s et de 900 l/s pour l’azote. En plus du marché général de la R&D où des vitesses de pompage plus élevées sont parfois nécessaires, ces pompes répondent aux exigences du marché du revêtement et d’autres secteurs de marché diffus comme le traitement thermique, les applications de fours, le soudage par faisceau d’ions, la gravure, l’implantation ionique, le dégazage et l’évacuation de chambres.
Les pompes turbomoléculaires nEXT730 et nEXT930 d’Edwards viennent compléter la gamme nEXT d’Edwards et offrent les meilleures performances de leur catégorie, une fiabilité élevée ainsi que des frais d’investissement et de fonctionnement réduits. Avec plus de 80 000 pompes nEXT testées et approuvées, nous offrons désormais des vitesses de pompage plus élevées et une flexibilité accrue à de nouveaux secteurs et à de nouvelles applications plus exigeants. Ces nouvelles pompes étendent la capacité de la gamme nEXT grâce à des modèles de bride d’admission ISO/CF 160 et ISO/CF 200 permettant des vitesses de pompage supérieures à 900 l/s.
nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
Bride d’admission | DN40 | DN63 ISO-K ou DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K ou DN100CF | DN100 ISO-K ou DN100CF | DN160 ISO-K ou DN160-CF | |
Vitesse de pompage à l’admission ls-1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
He | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
H2 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
Taux de compression (D) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 |
Ar | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | |
He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | |||
H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | |||
Taux de compression (T/H) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | |||
He | 1 x 106 | 3 x 106 | > 1 x 108 | ||||
H2 | 1,5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 |
nEXT730D | nEXT930D | |||
ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
Admission principale vitesse de pompage |
||||
N2 ls-1 | 730 | 925 | ||
He ls-1 | 820 | 905 | ||
H2 ls-1 | 715 | 735 | ||
Ar ls-1 | 665 | 865 | ||
Taux de compression maximale entre l’orifice de refoulement et l’orifice d’admission principal | ||||
N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | ||
He | 1.2X108 | 1.2X108 | ||
H2 | 4X106 | 4X106 | ||
Ar | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | ||
Pression limite (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | ||
Poids (kg) | 14,6 | 19,6 | 15,4 | 21,7 |
Débit à plein régime : | ||||
N2 | 14 | 14 | ||
He | 21 | 21 | ||
H2 | >14 | >14 | ||
Ar | 3,5 | 3,5 |
nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
Bride d’admission | DN40 | DN63 ISO-K ou DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K ou DN100CF | DN100 ISO-K ou DN100CF | DN160 ISO-K ou DN160-CF | |
Vitesse de pompage à l’admission ls-1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
He | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
H2 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
Taux de compression (D) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 |
Ar | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | |
He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | |||
H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | |||
Taux de compression (T/H) | N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | |||
He | 1 x 106 | 3 x 106 | > 1 x 108 | ||||
H2 | 1,5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 |
nEXT730D | nEXT930D | |||
ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
Admission principale vitesse de pompage |
||||
N2 ls-1 | 730 | 925 | ||
He ls-1 | 820 | 905 | ||
H2 ls-1 | 715 | 735 | ||
Ar ls-1 | 665 | 865 | ||
Taux de compression maximale entre l’orifice de refoulement et l’orifice d’admission principal | ||||
N2 | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | ||
He | 1.2X108 | 1.2X108 | ||
H2 | 4X106 | 4X106 | ||
Ar | > 1 x 1011 | > 1 x 1011 | ||
Pression limite (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | ||
Poids (kg) | 14,6 | 19,6 | 15,4 | 21,7 |
Débit à plein régime : | ||||
N2 | 14 | 14 | ||
He | 21 | 21 | ||
H2 | >14 | >14 | ||
Ar | 3,5 | 3,5 |
La nEXT85 est la dernière venue dans la gamme populaire de pompes turbomoléculaires nEXT Edwards. Basée sur l’incontournable gamme EXT, elle offre une meilleure performance, ainsi que des caractéristiques et des avantages améliorés, le tout dans un format plus petit. Voici John Wood, Product Manager Edwards, qui vous présente cette nouvelle et formidable pompe turbomoléculaire.
Avec des variantes pour des compressions standard ou plus élevées, la pompe turbomoléculaire nEXT85 Edwards vous offre des performances supérieures, tout en étant la pompe la plus petite de sa catégorie sur le marché.
Pour obtenir la pression la plus basse, nous avons décidé de lancer la nouvelle nEXT85 dans l’espace, à 32 km au-dessus de la Terre... mais il nous a suffi de la faire démarrer pour que cela fonctionne.
Le centre de fabrication de nEXT. Implanté sur le site de Lutin en République tchèque, le centre de fabrication mondial Edwards est opérationnel depuis 1999. Ce site a une superficie de 13 000 mètres carrés et comprend plus de 80 équipements de fabrication haute précision, une salle blanche de 550 mètres carrés à la pointe du progrès certifiée ISO 7, et regroupe 450 personnes.