Bombas en seco para semiconductores

Las bombas en seco de la serie de bajo consumo iXM de Edwards pueden proporcionar mejoras reales en el proceso con más tiempo de funcionamiento, menor impacto medioambiental y ventajas económicas para sus aplicaciones más esenciales.

• El mecanismo de raíces de bajo consumo de energía puede reducir la potencia de entrada en hasta un 60 %, lo que reduce el impacto medioambiental y disminuye el costo de propiedad
• Las mejoras en la tecnología de barrera de gases y en su diseño térmico le otorgan una resistencia a la corrosión cuatro veces mayor que en nuestra serie anterior.
• Las funciones avanzadas de manipulación del polvo ofrecen la máxima confiabilidad y prolongan la vida útil de la bomba para los procesos de grabado multicapa 
• Menor consumo de energía para los procesos de CVD
• Su diseño compacto y ligero, además de sus ruidos y vibraciones excepcionalmente bajos, le ofrecen más versatilidad.
• La serie iXM está disponible con tecnología XCEDE para una mayor resistencia a la corrosión.
  
   

La gama de bombas en seco iXH establece nuevos estándares en cuanto a capacidad en procesos difíciles, confiabilidad y un menor costo de propiedad.

• Su amplio rango de temperaturas le permite optimizar la bomba para una acumulación mínima de productos por condensación y recubrimiento.
• Las bombas en seco iXH Mk2 proporcionan una vida útil incluso mayor en los procesos más difíciles y pueden brindar mejoras significativas en eficiencia energética.
• La innovadora tecnología de sellado de la bomba puede prolongar la vida útil del proceso y reducir los riesgos de fugas.
• Disponible con tecnología XCEDE para una mayor resistencia a la corrosión.
  
   

La serie iXL es una gama de bombas en seco compactas y de bajo consumo de energía para aplicaciones de servicio ligero, como procesamiento de obleas, PVD y metrología.

• Rápido vaciado de la cámara y consumo de energía extremadamente bajo 
• Las bombas en seco iXL600(N) y iXL1000(N) son algunas de las bombas más pequeñas y silenciosas disponibles para aplicaciones de servicio ligero. 
• Las variantes iXL600M e iXL1000M están diseñadas para procesos más difíciles, especialmente los decapados dieléctricos (óxido) y otras aplicaciones similares. 
• Las bombas en seco iXL600(N) e iXL1000(N) cuentan con una alta velocidad de bombeo y un bajo consumo de energía.
• La iXL900R es la bomba de bloqueo de carga más rápida disponible en la actualidad para aplicaciones de bloqueo de carga FPD. Los clientes pueden reducir significativamente sus costos de operación y los tiempos de instalación con esta nueva bomba, que es particularmente adecuada para las cámaras de bloqueo más grandes que se utilizan en aplicaciones de deposición de vapor de plasma (PVD, por sus siglas en inglés). Además, los clientes necesitarán menos bombas por cámara de bloqueo de carga, lo que reduce el tiempo de instalación, los costos de sistematización, la necesidad de mantenimiento y el consumo de servicios públicos.
• El modo ecológico permite reducir el uso de servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que disminuye los costos y ayuda a mejorar su rendimiento medioambiental.