วาล์วพิเศษสําหรับระบบสุญญากาศ

ออกแบบมาสําหรับการใช้งานเฉพาะทาง

ทําไมต้องเลือกวาล์วพิเศษ

วาล์วพิเศษไม่ใช่ประเภทของวาล์ว แต่เป็นคํากว้างที่อ้างถึงประเภทของวาล์วที่ออกแบบมาสําหรับการใช้งานเฉพาะและเฉพาะทางภายในระบบสุญญากาศ

วาล์วเหล่านี้มีขนาดและการออกแบบที่หลากหลาย รวมถึงแบบแมนนวลและแบบนิวแมติก และมักมีคุณสมบัติขั้นสูงเพื่อรับมือกับความท้าทายเฉพาะของการใช้งานที่มุ่งหมาย

วาล์วระบายอากาศเข้า AV5A พร้อมข้อต่อ

AV5A ผลิตจากอลูมิเนียมอัลลอย โดยมีลูกบิดควบคุมติดอยู่กับลูกสูบที่ทํางานด้วยสกรู: หมุนลูกบิดควบคุมตามเข็มนาฬิกาเพื่อปิดวาล์ว โอริงไนไตรล์ปิดผนึกลูกสูบกับตัววาล์ว

วาล์วสามารถเชื่อมต่อโดยตรง รองรับท่อ หรือติดตั้งแผง และเชื่อมต่อกับระบบสุญญากาศด้วยข้อต่อ SC5 ของ Edwards (ให้มาด้วย)

วาล์วระบายอากาศเข้าแบบแมนนวลที่เรียบง่าย
เชื่อมต่อโดยตรง รองรับการเดินท่อหรือติดตั้งแผงควบคุม
เชื่อมต่อผ่านข้อต่อ SC5 (มีให้)

วาล์วทางเข้าอากาศ AV10K

AV10K ผลิตและทํางานในลักษณะเดียวกับ AV5A แต่มีการเชื่อมต่อที่แตกต่างกัน

วาล์วนี้สามารถรองรับการเดินท่อเท่านั้น และเชื่อมต่อกับระบบสุญญากาศด้วยข้อต่อ NW10

วาล์วระบายอากาศเข้าแบบแมนนวลที่เรียบง่าย
รองรับเฉพาะระบบท่อเท่านั้น
เชื่อมต่อผ่านข้อต่อ NW10

วาล์วสํารอง/ขั้นต้น BRV

วาล์วป้อนกลับ/ป้อนขั้นต้น BRV ที่มีปลายปั๊มขั้นต้นและป้อนขั้นต้น ISO NW มีการทํางานแบบแมนนวลหรือแบบนิวแมติก โดยรวมฟังก์ชันของวาล์วสํารอง/วาล์วขั้นต้นแยกต่างหากไว้ในชุด 3 พอร์ตที่รวมอยู่ในเครื่องเดียว

มีขั้วต่อนีโอพรีนแบบยืดหยุ่นให้สําหรับการเชื่อมต่อด้านหลัง พอร์ตปั๊มขั้นต้นและปั๊มขั้นต้นจะสิ้นสุดในจุดต่อ NW ที่เหมาะสม

ใช้งานง่าย - พอร์ตทั้งสองปิดอยู่ในตําแหน่ง
อายุการใช้งานยาวนาน - 100,000 ครั้งขึ้นไป
ตัวบ่งชี้ตําแหน่งบนวาล์วนิวเมติก
ป้องกันการรั่วไหลได้ดีกว่า 10 ^-9 mbar ls ^-1 /8 x 10 ^-10 Torr ls ^-1

IPV10EK วาล์วขาเข้าอากาศ NW10

IPVA10EK เป็นวาล์วที่ทํางานด้วยโซลินอยด์วาล์วที่ออกแบบมาสําหรับการนําอากาศหรือก๊าซระบายเข้าสู่ระบบสุญญากาศโดยอัตโนมัติ

วาล์วมีพอร์ตสองพอร์ตที่มีหน้าแปลน NW ช่องวาล์วช่องหนึ่งเชื่อมต่อกับระบบสุญญากาศ ช่องอีกช่องหนึ่งสามารถเปิดออกสู่บรรยากาศหรือเชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายก๊าซระบาย

ระบบสุญญากาศถูกแยกออกจากบรรยากาศ (หรือการจ่ายก๊าซระบาย) โดยแผ่นฟลูออโรอีลาสโตเมอร์ที่ฐานของลูกสูบวาล์ว ซึ่งจะซีลกับตัววาล์ว

ตัวเลือกเปิดปกติหรือปิดปกติ
ขนาดกะทัดรัด
การป้องกัน IP65
MTTF 500,000 รอบ

วาล์วผีเสื้อสวิงแบบไตรมาส QSB

วาล์วสวิงแบบไตรมาส QSB เป็นวาล์วแยกที่มีขนาดกะทัดรัด ทํางานรวดเร็ว และมีการนําไฟฟ้าสูง วาล์ว QSB มีตัวเรือนหน้าแปลน ISO สเตนเลสสตีลขัดเงาพร้อมแผ่นวาล์วและเพลาที่ซีลด้วยโอริงฟลูออโรอีลาสโตเมอร์ ร่องโอริงของแผ่นวาล์วมีการระบายอากาศเพื่อช่วยรักษาสุญญากาศสูงที่เสถียร โอริงและตลับลูกปืนของเพลาวาล์วได้รับการหล่อลื่นด้วยจาระบี Fomblin® เพื่อป้องกันการระเบิดของก๊าซจากด้านหลังซีลเพลา

วาล์วนี้มาพร้อมกับซีลร่วม

ด้วยตัวเอง
การนําไฟฟ้าสูง
ทนต่อบรรยากาศในทิศทางใดทิศทางหนึ่ง
กะทัดรัดและทํางานได้อย่างรวดเร็ว
โครงสร้างที่ทนต่อการกัดกร่อน

วาล์วแยกสุญญากาศ VIV

วาล์วแยกสุญญากาศ VIV เป็นวาล์วแยกสุญญากาศสูงที่มีค่าการนําไฟฟ้าสูงและทํางานรวดเร็ว ซึ่งออกแบบมาเพื่อป้องกันการเคลื่อนไหวของไอน้ําหรืออนุภาคจากปั๊มสํารองไปยังห้องทํางาน

เมื่อปิด VIV ปั๊มสํารองจะระบายอากาศออกอย่างปลอดภัย VIV จะป้องกันไม่ให้ห้องทํางานระบายอากาศออกเมื่อปั๊มหยุดทํางานหรือหยุดทํางาน เมื่อปั๊มสํารองเริ่มทํางานอีกครั้ง วาล์วจะค่อยๆ เปิดออกเมื่อแรงดันภายใน VIV ลดลง ซึ่งจะช่วยลดผลกระทบจากการระเบิดแรงดันให้เหลือน้อยที่สุด

วาล์วแยกสุญญากาศ VIV ออกแบบมาเพื่อใช้กับปั๊มหลักแบบแห้งขนาดเล็ก nXDS, XDS, nXLi และ nXRi ของ Edwards

การนําไฟฟ้าสูง
การปิดอย่างรวดเร็ว
การป้องกันไฟดับ
ตัวเลือกการติดตั้งที่ยืดหยุ่น
ไม่จํากัดประสิทธิภาพของปั๊มหลัก
ป้องกันการเคลื่อนย้ายของไอน้ําหรืออนุภาคจากปั๊มสํารองไปยังห้องทํางาน
ป้องกันการระบายอากาศออกจากห้องทํางานในกรณีที่แหล่งจ่ายไฟขัดข้อง

สําหรับปั๊มสํารองของ Edwards ที่ติดตั้งขั้วต่อวาล์ว M8 หรือขั้วต่ออินเทอร์เฟซตรรกะประเภท D แบบ 15 ทาง เราขอแนะนําให้ใช้วาล์ว DC 24V และสายเคเบิลเสริมหรือ VIV Link เนื่องจากจะให้ระดับการป้องกันที่เพิ่มขึ้น