Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography - PDF
การเจือจางด้วยไฮโดรเจน EUV ของ Edwards ด้วย Richard Salloum
ลิโธกราฟี EUV ช่วยให้สามารถผลิตวงจรรวมความแม่นยําสูงในปริมาณมากได้ นี่เป็นการเพิ่มความต้องการผลิตภัณฑ์ที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม ในขณะเดียวกันก็เพิ่มความสามารถในการผลิตให้กับลูกค้าของเรา
เพื่อลดการปล่อยก๊าซเรือนกระจกโดยตรงของลูกค้า Edwards ได้พัฒนาโซลูชันที่ขจัดการใช้ก๊าซธรรมชาติใน SubFab และเปลี่ยนวิธีจัดการก๊าซไอเสียสําหรับโลโธกราฟี EUV
โดยคํานึงถึงความยั่งยืน ทีมนวัตกรรมของ Edwards ได้พัฒนาทางเลือกที่ปราศจากเชื้อเพลิงแทนการบําบัดด้วยก๊าซสําหรับ EUV - ระบบเจือจางไฮโดรเจนหรือ H2D
การถอดรหัสวิดีโอ
ผู้จัดการผลิตภัณฑ์ทําอะไร
ในฐานะผู้จัดการผลิตภัณฑ์ เราพยายามมองหาความต้องการของลูกค้าอยู่เสมอ และโดยพื้นฐานแล้ว เราพยายามคาดการณ์อนาคตของความต้องการของลูกค้าและสิ่งที่พวกเขาต้องการ
เราจะพูดถึงวิธีที่การเจือจางจะแทนที่ผลิตภัณฑ์ปัจจุบันของเรา ซึ่งใช้เชื้อเพลิงฟอสซิลและทรัพยากรที่มีจํากัด และแทนที่ด้วยผลิตภัณฑ์เจือจางซึ่งดีต่อสิ่งแวดล้อม มีประสิทธิภาพมากขึ้นในการดําเนินงานสําหรับลูกค้าและปรับปรุงความสามารถในการผลิตของพวกเขา
อะไรคือตัวขับเคลื่อนตลาดปัจจุบันสําหรับ EUV
การเติบโตอย่างรวดเร็วของ 5G, ปัญญาประดิษฐ์ และการผลิตชิปกําลังผลักดันความต้องการวงจรรวมที่มีประสิทธิภาพสูงขึ้นและใช้พลังงานต่ําลง ผู้ผลิตชิปยังคงลงทุนในเทคโนโลยีใหม่ๆ และพัฒนากระบวนการใหม่ๆ เพื่อนําเสนอโซลูชันที่ตอบสนองและสนับสนุนการเติบโตของเทคโนโลยีดิจิทัลที่รวดเร็ว
โลโธกราฟี EUV ช่วยให้ผู้ผลิตชิปสามารถลดคุณสมบัติและขนาดอุปกรณ์ได้อย่างต่อเนื่อง ซึ่งกําหนดความก้าวหน้าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ตั้งแต่วันแรก การลงทุนที่จําเป็นในการใช้ EUV ในผู้ผลิตปริมาณมากหมายความว่ามีแรงกดดันอย่างมากต่อผู้ผลิตชิปในการเพิ่มผลผลิตให้สูงที่สุดเพื่อให้ได้ผลตอบแทนที่ยอมรับได้
ปริมาณงานโดยรวมของเครื่องมือ EUV เป็นแบบคงที่ ดังนั้นผู้ผลิตชิปจึงต้องมองหาวิธีลดต้นทุนการดําเนินงาน เพิ่มปริมาณงานสูงสุด และลดต้นทุนด้านสิ่งแวดล้อมด้วย กล่าวโดยสรุปคือ จําเป็นต้องมีผลิตภัณฑ์ที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม ในขณะเดียวกันก็เพิ่มความสามารถในการผลิตให้สูงที่สุด
ความท้าทายที่ลูกค้า EUV ทั่วโลกต้องเผชิญคืออะไร
ลูกค้าของเราอยู่ภายใต้แรงกดดันอย่างมากในการผลิตวงจรรวมที่ผลิตอย่างยั่งยืนและเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม การมุ่งมั่นที่จะบรรลุเป้าหมายที่ยั่งยืน เช่น โครงการริเริ่ม Science-Based Targets และ Greenhouse Gas Protocol หมายความว่าลูกค้าของเรากําลังมองหาวิธีใหม่ๆ และนวัตกรรมใหม่ๆ เพื่อลดการปล่อยก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์ และยังคงต้องมุ่งเน้นไปที่การปรับปรุงเวลาทํางานของเครื่องมือ E U V และมุ่งเน้นไปที่ความปลอดภัยด้วย
จะแก้ไขปัญหาเหล่านี้ได้อย่างไร?
ลูกค้าส่วนใหญ่ของเรามุ่งมั่นที่จะลดขอบเขตที่หนึ่งและสองของ Greenhouse Gas Protocol ซึ่งหมายความว่าพวกเขามีความมุ่งมั่นในการลดผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมและการปล่อยก๊าซ CO2 เทียบเท่า ระบบบําบัดที่เรามักใช้กับระบบ EUV Zenith จะใช้ก๊าซธรรมชาติเพื่อเผาไหม้ไฮโดรเจน ไฮโดรเจนเป็นก๊าซในกระบวนการที่ช่วยให้เครื่องมือ EUV ทํางานและสร้างรูปแบบบนวงจรรวม วิธีดั้งเดิมของเราในการจัดการก๊าซไอเสียคือการเผาไหม้ในลักษณะที่ควบคุมได้ ในขณะที่ผลิตภัณฑ์เจือจางด้วยไฮโดรเจนปลอดภัยกว่า มีต้นทุนการเป็นเจ้าของต่ํากว่า และเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมมากกว่า เนื่องจากใช้พลังงานเพื่อขับเคลื่อนกลไกพัดลมเท่านั้น
H2D ทํางานอย่างไร
H2D ผสานรวมเข้ากับระบบ EUV Zenith ของเรา เราเจือจางก๊าซไฮโดรเจนในกระบวนการอย่างปลอดภัยด้วยพัดลมเป็นเปอร์เซ็นต์ปริมาตรต่อปริมาตรที่ต่ํา และปล่อยออกสู่บรรยากาศเมื่อต่ํากว่าระดับที่ปลอดภัย
ความปลอดภัย
ศิลปะแห่งนวัตกรรมอยู่ที่การจัดหาผลิตภัณฑ์ที่จัดการกับก๊าซไฮโดรเจนที่ปลอดภัย แต่ยังปกป้องผู้คนที่ทํางานใน SubFab และเห็นได้ชัดว่าเรามีความรับผิดชอบต่อสังคมขององค์กรต่อชุมชนที่อาศัยอยู่รอบๆ Fab ดังนั้นเราจึงต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าก๊าซไอเสียถูกเจือจางในระดับที่ปลอดภัย
H2D จะเป็นประโยชน์ต่อลูกค้าของเราอย่างไร
เราเข้าใจว่าลูกค้าจําเป็นต้องปรับปรุงความยั่งยืนและความปลอดภัย แต่เรายังจําเป็นต้องปรับปรุงความสามารถในการผลิตของลูกค้าเพื่อให้พวกเขาประสบความสําเร็จในตลาดของพวกเขา H2D จะปรับปรุงประสิทธิภาพและความพร้อมใช้งานของเครื่องมือ EUV ในโรงงานผลิตโดยการลดกิจกรรมที่เกี่ยวข้องกับการบํารุงรักษาลงอย่างมีนัยสําคัญเมื่อเทียบกับเทคโนโลยีการเผาไหม้ด้วยอากาศ การดําเนินงานซ้ําซ้อนให้เวลาทํางานต่อเนื่องร้อยเปอร์เซ็นต์ และการบํารุงรักษาตามปกติสามารถดําเนินการได้ระหว่างการไหลของไฮโดรเจนด้วยแนวคิดพัดลมคู่ของเรา ขณะนี้เรากําลังพัฒนา H2D ที่มีความจุสูงขึ้นเพื่อรองรับเครื่องมือ EUV รุ่นถัดไป
ดังนั้น ประเด็นสําคัญสําหรับ H2D ก็คือ ลดต้นทุนด้านสิ่งแวดล้อม ปลอดภัยด้วยการเจือจางไฮโดรเจนอย่างปลอดภัย และยังช่วยเพิ่มผลผลิตให้กับลูกค้าของเราอีกด้วย
หากต้องการอ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับหัวข้อนี้ คุณสามารถดาวน์โหลดเอกสารของ David Engerran 'การทําความเข้าใจความท้าทายด้านสุญญากาศแบบบูรณาการของ HVM EUV Lithography' ได้ด้านล่าง
ความมุ่งมั่นของเราต่อสิ่งแวดล้อม
