Edwards utnyttjar 100 års teknisk innovation genom att sätta nya standarder för tuffa processer, tillförlitlighet, driftsäkerhet och lägre ägandekostnader.
BURGESS HILL, WEST SUSSEX, STORBRITANNIEN (14 mars 2019) - Edwards presenterar den nya iXH Mk2-serien – en högeffektiv torrpump med låg effekt som uppfyller dagens krav för halvledarprocesser och möter morgondagens framtida applikationsutmaningar inom halvledar-, display-, LED- och solcellstillverkning. Edwards kommer att visa upp den nya iXH Mk2-lösningen på SEMICON® CHINA den 20-22 mars, SNIEC, Shanghai (monter 1309 FPD KINA)
"Den nya torrpumpen iXH Mk2 har ännu längre livslängd än tidigare generationer för de tuffaste processerna. Den kan också ge betydande förbättringar av energieffektiviteten", säger Al Brightman, Sr. Product Manager, Edwards. "Med hjälp av 100 års teknisk innovation har vi ”återställt ribban” för tuffa processer, tillförlitlighet, driftsäkerhet och låg ägandekostnad. iXH minskar miljöpåverkan från några av de tuffaste processerna som används inom halvledartillverkning."
Besök oss i montern för att ta reda på hur iXH Mk2 löser framväxande processutmaningar i hög-k, låg-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN och EPI.