Atlas

ATLAS - непревзойденная эффективность очистки отработавших газов

Atlas — технология нейтрализации газообразных продуктов сгорания с учетом специфики технологического процесса.

  • Atlas TCS для обычных газов в технологических процессах осаждения из газовой фазы (NF3/F2)
  • Atlas TPU для перфторуглеродных газов (PFC) (ClF3, C2F6, C3F8) в технологических процессах осаждения из газовой фазы
  • Atlas Kronis для газов с низкой диэлектрической проницаемостью в технологических процессах осаждения из газовой фазы следующего поколения
  • Atlas Etch для технологических процессов травления в производстве полупроводников и дисплеев с плоским экраном (CF4, SF6, а также PFC при высоком расходе)
  • Atlas Helios для обеспечения безопасности в технологических процессах с использованием водорода для эпитаксиального выращивания кристаллов и MOCVD

Системы Atlas™ отличаются низким расходом топлива по сравнению с устройствами для очистки отработавших газа предыдущего поколения. В них используется отлично зарекомендовавшая себя камера сгорания Alzeta™, что позволяет значительно снизить стоимость владения. Системы Atlas имеют от одного до шести впускных отверстий, множество опций, включая систему регулирования температуры (TMS), и обеспечивают пропускную способность по потоку до 1200 ст. л/мин. Их конструкция разрабатывалась с учетом простоты использования и оптимизации обслуживания.

Технология сжигания Edwards с направленным внутрь потоком

Камеры сгорания с направленным внутрь потоком используются на большинстве предприятий крупных производителей полупроводников, и с 1994 года они стали мировым стандартом в области очистки отработавших газов.

Уникальная технология сжигания, созданная компанией Edwards, обеспечивает равномерную температуру горения. Это гарантирует очень низкий уровень фоновой эмиссии газа, а направленный внутрь поток газа исключает контакт обрабатываемого материала со стенками камеры, что сводит к минимуму засорение твердыми частицами. Единственный в своем роде состав материала камеры сгорания обеспечивает превосходную устойчивость к коррозии, а также непревзойденную надежность и безопасность систем Atlas.

Высокотехнологичный инновационный центр Edwards по охране окружающей среды предлагает высокопроизводительные, отлично зарекомендовавшие себя решения для конкретных технологических процессов. Эффективность всех систем подтверждена независимыми экспертами. Параметры DRE (эффективность разрушения и обезвреживания) обычно превышают требования международного и национального законодательства:

    Содержание SiH4 и других галидов должно быть ниже ПДК

    NF3: > 99 % / < ПДК

    F2: : > 99 % / < ПДК

    CF4: > 90 %

    Другие фтористые соединения (PFC): > 99 %

Компания Edwards — лидер по числу установленных систем собственного производства и предлагает клиентам самые оптимальные решения, отлично подходящие для технологических процессов, а также техническую поддержку по всему миру высококвалифицированных специалистов по прикладному применению. Обратитесь к представителю нашей компании для совместной разработки оптимального решения.