Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography - PDF
Edwardsin EUV-vetylaimennus Richard Salloumin kanssa
EUV-litografia auttaa mahdollistamaan erittäin tarkkojen integroitujen piirien suuren volyymin valmistuksen. Tämä lisää ympäristöystävällisten tuotteiden kysyntää ja maksimoi samalla asiakkaidemme tuottavuuden.
Asiakkaiden suorien päästöjen vähentämiseksi Edwards on kehittänyt ratkaisun, joka siirtyy pois maakaasujen käytöstä SubFab-yksikössä ja muuttaa tapaa, jolla pakokaasua hallitaan EUV-litografiassa.
Edwardsin innovatiiviset tiimit ovat kehittäneet kestävää kehitystä ajatellen polttoaineettoman vaihtoehdon kaasulla toimivalle EUV-vedynlaimennusjärjestelmälle eli H2D:lle.
VIDEON TRANSKRIPTIO
Mitä tuotepäällikkö tekee?
Tuotepäällikkönä pyrimme aina tunnistamaan asiakkaiden tarpeet ja pohjimmiltaan ennakoimaan asiakkaiden tarpeita ja toiveita tulevaisuudessa.
Keskustelemme siitä, miten laimennus korvaa nykyisen tuotteemme, joka käyttää fossiilisia polttoaineita ja rajallisia resursseja, ja korvaa sen laimennustuotteella, joka on parempi ympäristölle, tehokkaampi asiakkaille ja parantaa heidän tuottavuuttaan.
Mikä on EUV:n nykyinen markkinavetäjä?
5G:n, tekoälyn ja sirujen valmistuksen nopea kasvu lisää tarvetta integroiduille piireille, joiden suorituskyky on parempi ja virrankulutus pienempi. Sirunvalmistajat jatkavat investointeja uuteen teknologiaan ja kehittävät uusia prosesseja tarjotakseen ratkaisuja, jotka vastaavat ja tukevat nopeaa digitaalisen teknologian kasvua.
EUV-litografian avulla siruvalmistajat voivat jatkaa ominaisuuksien ja laitekokojen pienentämistä, mikä on määrittänyt puolijohdeteollisuuden edistymisen ensimmäisistä päivistään lähtien. EUV:n käyttöön tarvittava investointi suuren volyymin valmistajassa tarkoittaa, että sirunvalmistajiin kohdistuu valtava paine maksimoida tuotanto hyväksyttävän tuoton saavuttamiseksi.
EUV-työkalun kokonaiskapasiteetti on periaatteessa kiinteä, joten sirunvalmistajien on pyrittävä vähentämään käyttökustannuksia, maksimoimaan kapasiteetti ja vähentämään myös ympäristökustannuksia. Lyhyesti sanottuna tarvitaan ympäristöystävällisiä tuotteita tuottavuuden maksimoimiseksi.
Mitkä ovat maailmanlaajuisten EUV-asiakkaiden haasteet?
Asiakkaillamme on valtava paine valmistaa integroituja piirejä, jotka on valmistettu kestävällä ja ympäristöystävällisellä tavalla. Sitoutuminen kestävän kehityksen tavoitteisiin, kuten Science-Based Targets -aloitteeseen ja kasvihuonekaasuprotokollaan , tarkoittaa, että asiakkaamme etsivät uusia ja innovatiivisia tapoja pienentää hiilijalanjälkeään ja heidän on silti keskityttävä parantamaan E U V -työkalujensa käytettävyyttä ja keskittymään myös turvallisuuteen.
Miten nämä ongelmat voidaan ratkaista?
Suurin osa asiakkaistamme on sitoutunut vähentämään kasvihuonekaasuprotokollan soveltamisalaa yksi ja kaksi, mikä tarkoittaa, että he ovat sitoutuneet vähentämään ympäristövaikutuksiaan ja CO2-päästöjä. EUV Zenith -järjestelmässä perinteisesti käyttämämme poistojärjestelmä käyttää maakaasua vedyn polttamiseen. Vety on prosessikaasu, jonka avulla EUV-työkalu voi toimia ja tuottaa kuvion integroidussa piirissä. Perinteinen tapamme hallita pakokaasua on polttaa se hallitusti, kun taas vetylaimennustuote on turvallisempi, sen omistajuuskustannukset ovat alhaisemmat ja se on ympäristöystävällisempi, koska se käyttää vain virtaa puhallinmekanismin käyttämiseen.
Miten H2D toimii?
H2D on integroitu EUV Zenith -järjestelmään. Laimennamme vedyn prosessikaasun turvallisesti puhaltimella pieneen tilavuusprosenttiin, ja se päästetään ilmakehään, kun se on turvallisen tason alapuolella.
Turvallisuus
Innovaation taito on tarjota tuote, joka käsittelee vetypäästöjä turvallisesti, mutta suojaa myös SubFabissa työskenteleviä ihmisiä. Meillä on luonnollisesti sosiaalinen vastuu Fabsin ympäristössä asuvia yhteisöjä kohtaan, joten meidän on varmistettava, että pakokaasut laimennetaan turvalliselle tasolle.
Miten H2D voi hyödyttää asiakkaitamme?
Ymmärrämme, että asiakkaiden on parannettava kestävyyttä ja turvallisuutta, mutta meidän on myös parannettava asiakkaiden tuottavuutta, jotta he menestyvät omilla markkinoillaan. H2D parantaa EUV-työkalun suorituskykyä ja käytettävyyttä tehtaalla vähentämällä huollon tarvetta merkittävästi ilmapolttotekniikkaan verrattuna, varmistamalla sataprosenttisen käytettävyyden ja mahdollistamalla rutiinihuollon vetyvirtauksen aikana kaksoispuhallinkonseptimme avulla. Kehitämme parhaillaan suurempaa H2D-kapasiteettia tukemaan seuraavan sukupolven EUV-työkaluja
H2D:n tärkeimmät opit ovat siis se, että se vähentää ympäristökustannuksia, on turvallista laimentamalla vetyä turvallisesti ja parantaa myös tuottavuutta asiakkaillemme.
Jos haluat lukea lisää tästä aiheesta, voit ladata alla olevan David Engerranin julkaisun ”Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography”.
Sitoutumisemme ympäristöön
