Understanding the integrated vacuum challenges of HVM EUV Lithography - PDF
Az Edwards EUV hidrogénhígítása Richard Salloum segítségével
Az EUV litográfia nagy mennyiségben teszi lehetővé a nagy pontosságú, integrált áramkörök gyártását. Ez növeli a környezetbarát termékek iránti keresletet, miközben ügyfeleink termelékenységét is maximalizálja.
Az ügyfelek közvetlen kibocsátásának csökkentése érdekében az Edwards olyan megoldást fejlesztett ki, amely elhagyja a földgázok használatát a SubFab-ban, és megváltoztatja a kipufogógáz kezelésének módját az EUV litográfia esetében.
A fenntarthatóságot szem előtt tartva az Edwards innovatív csapatai kifejlesztettek egy üzemanyag-mentes alternatívát a gáztüzelésű gázkezelő rendszerhez az EUV - hidrogénhígító rendszer vagy H2D - esetében.
VIDEÓ ÁTIRAT
Mit csinál egy termékmenedzser?
Termékmenedzserként mindig arra törekszünk, hogy megismerjük az ügyfelek igényeit, és lényegében megpróbáljuk előrejelezni az ügyfelek igényeinek és kívánságainak jövőjét.
Beszélni fogunk arról, hogy a hígítás hogyan helyettesíti jelenlegi termékünket, amely fosszilis tüzelőanyagokat és korlátozott erőforrásokat használ, és azt egy olyan hígító termékkel helyettesíti, amely jobb a környezet számára, hatékonyabb az ügyfelek számára, és javítja a termelékenységüket.
Mi az EUV jelenlegi piaci mozgatórugója?
Az 5G, a mesterséges intelligencia és a chipek gyártásának gyors növekedése növeli a nagyobb teljesítményű és alacsonyabb energiafogyasztású integrált áramkörök iránti igényt. A chipgyártók folyamatosan fektetnek be új technológiákba és fejlesztenek új folyamatokat, hogy olyan megoldásokat kínáljanak, amelyek megfelelnek a gyors digitális technológia növekedésének, és támogatják azt.
Az EUV litográfia lehetővé teszi a chipgyártók számára, hogy továbbra is csökkentsék a jellemzőket és az eszközméreteket, ami már a kezdetek óta meghatározza az előrehaladást a félvezetőiparban. Az EUV nagy volumenű gyártóknál történő használatához szükséges befektetés hatalmas nyomást gyakorol a chipgyártókra, hogy maximalizálják a kimenetet az elfogadható hozam elérése érdekében.
Az EUV szerszám teljes átbocsátási képessége lényegében rögzített, ezért a chipgyártóknak arra kell törekedniük, hogy csökkentsék a működési költségeket, maximalizálják az átbocsátást és csökkentsék a környezetvédelmi költségeket is. Röviden, szükség van környezetbarát termékekre a termelékenység maximalizálása mellett.
Milyen kihívásokkal szembesülnek az EUV-ügyfelek világszerte?
Ügyfeleinkre óriási nyomás nehezedik, hogy olyan integrált áramköröket gyártsanak, amelyek fenntartható módon és környezetbarát módon készülnek. Az olyan fenntartható célok melletti elkötelezettség, mint a Tudományos alapú célok kezdeményezés és az Üvegházhatású gáz protokoll, azt jelenti, hogy ügyfeleink új és innovatív módszereket keresnek szénlábnyomuk csökkentésére, és továbbra is az E U V eszközök rendelkezésre állásának javítására és a biztonságra kell összpontosítaniuk.
Hogyan oldhatók meg ezek a problémák?
Ügyfeleink többsége elkötelezett az ÜHG-protokoll első és második hatályának csökkentése mellett, ami azt jelenti, hogy elkötelezettek a környezetre gyakorolt hatásuk és a CO2-kibocsátásuk csökkentése mellett. Az EUV Zenith rendszeren hagyományosan használt gázkezelő rendszer földgázt használ a hidrogén elégetéséhez. A hidrogén az a folyamatgáz, amely lehetővé teszi az EUV eszköz működtetését és a mintázat létrehozását az integrált áramkörön. A kipufogógáz kezelésének hagyományos módja az, hogy szabályozott módon égjük el, míg a hidrogénhígító termék biztonságosabb, alacsonyabb tulajdonlási költséggel rendelkezik, és környezetbarátabb, mivel csak a ventilátormechanizmus meghajtására használ energiát.
Hogyan működik a H2D?
A H2D integrálva van az EUV Zenith rendszerünkbe. A folyamatban részt vevő hidrogéngázt ventilátorral biztonságosan hígítjuk alacsony térfogatszázalékra, majd a biztonságos szint alatt a légkörbe kerül.
Biztonság
Az innováció művészete abban rejlik, hogy olyan terméket biztosítunk, amely biztonságosan kezeli a hidrogénkibocsátást, de védi a SubFab-ban dolgozó embereket is, és természetesen vállalati társadalmi felelősségünk van a gyárak körül élő közösségek felé, ezért gondoskodnunk kell arról, hogy a kipufogógázt biztonságos szintre hígítsuk.
Milyen előnyökkel jár a H2D ügyfeleink számára?
Tisztában vagyunk azzal, hogy ügyfeleinknek javítaniuk kell a fenntarthatóságot és a biztonságot, de emellett javítaniuk kell ügyfeleink termelékenységét is, hogy sikeresek lehessenek a piacukon. A H2D javítani fogja az EUV eszköz teljesítményét és rendelkezésre állását a gyárban azáltal, hogy jelentősen kevesebb karbantartással kapcsolatos tevékenységet végez a levegőégési technológiához képest, redundáns működést biztosít, amely száz százalékos rendelkezésre állást biztosít, és a rutin karbantartás a hidrogénáramlás során is elvégezhető a kettős ventilátoros koncepciónkkal. Jelenleg nagyobb kapacitású H2D-t fejlesztünk az EUV-eszközök következő generációjának támogatására
Tehát a H2D legfontosabb tanulsága, hogy csökkenti a környezeti költségeket, biztonságos a hidrogén biztonságos hígításával, és javítja ügyfeleink termelékenységét is.
Ha többet szeretne megtudni erről a témáról, az alábbiakban letöltheti David Engerran „A HVM EUV litográfia integrált vákuumkihívásainak megértése” című tanulmányát.
Környezetvédelmi elkötelezettségünk
