진공 시스템을 위한 하드웨어 및 피팅
성능에 매우 중요
Edwards에서 기대하는 품질
Edwards에서 진공 펌프 구성 요소를 구입할 경우, 세계적인 선도 공급업체만이 제공하는 품질과 서비스를 기대하실 수 있습니다.
Edwards는 플랜지와 피팅이 진공 시스템의 성능에 매우 중요하다는 것을 잘 알고 있으며 최고 사양을 만족하는 고품질의 제품만을 공급합니다.
Edwards에서 진공 구성 요소와 플랜지 피팅을 선택하는 이유
- 공급 편의성: 온라인 또는 현지 공급 센터 모두를 통해 전체 시스템을 공급할 수 있는 유일한 공급업체
- 높은 품질 및 신뢰성: 정밀 자재 제어로 민감하거나 까다로운 작업에서 신뢰할 수 있는 진공 성능 보장
- 포괄적인 선택: 알루미늄 및 스테인리스 강 소재로 모든 범용 크기의 플랜지 일체 제공
진공 구성 요소 및 피팅 한눈에 보기
NW 플랜지(ISO-KF) 어셈블리
ISO-KF로 알려져 있는 NW 피팅은 낮은 진공 범위에서 높은 진공 범위에 있는 많은 응용 분야에서 업계 표준입니다. 이 제품은 가벼운 작업부터 거친 작업까지 다양한 작업에서 10-7mbar까지 신뢰할 수 있는 비용 효율적인 성능을 달성하는 데 이상적입니다. 간단한 체결 방법은 시스템을 쉽게 조립할 수 있고 누출 방지 진공 씰을 신속하게 달성할 수 있다는 것을 의미합니다.
- ISO 2861 및 DIN 28403 표준에 맞춰 제조
- 공칭 직경 10mm에서 50mm
- 탄성중합체 또는 성형 알루미늄 씰과 함께 사용
- 클램프 유형은 응용 분야, 접근 방식, 편의성 및 비용에 따라 선택
- 고진공 응용 분야에서 사용: 압력 > 10-8mbar
ISO 플랜지 어셈블리
ISO 피팅은 반도체 처리에 대한 높은 내부식성 및 낮은 진공 분야부터 높은 진공 분야까지 우수한 반복성을 제공합니다. 플랜지는 클로 클램프 또는 플루로엘라스토머 또는 니트릴 센터링 링 및 O-링을 포함한 볼트를 사용하여 접합됩니다.
- ISO 1609 및 DIN 28404 표준에 맞춰 제조
- 공칭 지름 40~630mm
- 고정 구멍 패턴이 있는 ISO-F 플랜지
- ISO-K 플랜지는 일반적으로 클로와 결합되며 회전 가능한 칼라 또는 반 클로를 사용하여 ISO-F에 변환/연결 가능
- 고진공 응용 분야에서 사용: 압력 > 10-8mbar
이중 클로 클램프 슬롯이 플랜지 주위의 원형 홈에 끼워지고 고정되어 단순하지만 안전한 플랜지 연결을 제공합니다. 더 일반적인 방법은 회전 가능 또는 고정 칼라 플랜지가 있는 다양한 볼트 구멍 및 너트/볼트를 사용하는 것입니다.
UHV ConFlat® 플랜지 어셈블리
CCF 피팅에는 누출 방지 조인트를 달성하기 위한 고유한 씰링 시스템이 있습니다. 구리 씰은 두 개의 CF 플랜지 사이에 축 방향과 반경 방향으로 압착되어 있으며, 나이프 에지가 구리를 강제로 냉류로 흐르게 합니다. 이 흐름은 높은 압력을 생성하고 표면 결함을 채우는 수직 플랜지 벽에 의해 크게 제한되어 매우 단단한 금속 대 금속 밀봉을 보장합니다.
- ISO 3669 표준에 따라 제조
- 공칭 지름 16~350mm
- 구리 링 금속 씰과 함께 거의 독점적으로 사용
- 최대 450ºC까자 베이크 가능
- 일반적으로 UHV 시스템에서 사용: 압력 <10-8mbar
유럽 및 아시아에서 일반적으로 사용되는 미터법 탭 구멍과 미터법 튜브에 적합한 플랜지에 구멍을 뚫습니다. 미국에서 일반적으로 사용되는 인치 단위로 지정된 플랜지는 UNF 플랜지 나사산 및 인치 크기 튜브와 호환되는 구멍을 사용합니다. 두 가지 옵션 모두 제공합니다.
작업 및 가스 배출, 작동 온도 및 누출 밀폐에 따라 올바른 재료를 선택하는 것이 중요합니다.
공동 씰은 캐리어가 진공 상태에서 벗어나지 않도록 막아주므로 불안정성과 가스 파열로 이어질 수 있는 틈새와 갇힌 부피를 제거할 수 있는 추가적인 이점이 있습니다.
센터링 링은 진공 작업용으로만 설계되었습니다. 배기 라인과 같은 약간의 양압이 보일 수 있는 경우에는 O-링을 함께 밀봉하고 포집해야 합니다. 양쪽에 O-링을 지지하는 캐리어가 있어 진공 및 양압 사용 모두에 이상적입니다.
클램프 및 클램핑 링
스테인리스 강 클램핑 링
폴리머 클램프
알루미늄 클램프
벌크헤드 클램프
"C" 클램프
클로 클램프 및 볼트
밀폐
공동 씰 - 알루미늄
공동 씰 - 하이테크 폴리머
O-링 - 알루미늄을 사용한 센터링 링
O-링 - 하이테크 폴리머를 사용한 센터링 링
갇힌 O-링
금속 씰
파이프라인 구성 요소
알루미늄 구성 요소
스테인리스 강 구성 요소
벨로우즈 및 유연한 파이프라인
벨로우즈
유연한 파이프라인과 유연한 브레이디드 파이프라인
당사의 구성 요소 및 플랜지 피팅은 다양한 진공 분야에서 누출 방지 기능을 제공하도록 설계되었으며, 완전한 구조 지지 기능을 제공하기 위한 것은 아닙니다.
진공 시스템을 설계할 때는 각 연결에 적용되는 정적 및 동적 하중을 고려해야 합니다. 필요한 경우 추가로 기계적 지원을 제공하고 설계에 내장해야 합니다.
누출 점검을 포함한 정기적인 검사와 적절한 경우 시스템 효율성과 안전성을 유지하기 위해 구성 요소를 주기적으로 교체하는 것을 고려해야 합니다.
진공 펌프 및 장비의 안전한 설치에 대한 자세한 내용은 당사로 문의하십시오.
