2023년 2월 1일 (수)
2월 1일부터 3일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아 2023’에 진공 펌프 및 가스처리기술의 세계적인 선두주자인 에드워드 코리아가 ‘sustainability through collaboration’이라는 슬로건으로 참여했습니다. 특히 에드워드 코리아는 이번 전시회에서 반도체 제조산업 내 탄소저감과 ESG 활동에 대한 협력을 강조했습니다.
이번 세미콘 코리아에서 에드워드 코리아는 High Performance ALD 공정에 특화된 ‘iXH6520HTXS+’ 와 부식성 공정에 대응력을 극대화한 ‘iXH1220HTXS XD+’ 건식 펌프를 성공적으로 선보였습니다. 두 제품 모두 기존 iXH 펌프 시리즈의 온도 대역을 확장하여, 보다 고도화 및 다변화되는 미래 반도체 공정 기술에 선행 대응할 수 있는 제품입니다.
또한 EUV Lithography 장비를 지원하는 에드워드의 EUV Zenith 시스템의 Hydrogen Dilution을 공개했습니다. Hydrogen Dilution은 화석 연료에 의지하지 않으면서 더 안전하고 친환경적으로 공정 가스를 처리할 수 있는 기술입니다.
지난해 11월, 전 세계 반도체 공급망의 온실가스 배출 저감의 가속화를 위해 발족된 ‘반도체 기후 컨소시엄(SCC)’에 가입한 에드워드는 반도체 제조 산업의 지속가능성과 탄소 저감을 강조하기 위해 진행되는 ‘Sustainability Forum’에서 에드워드의 Engineering Vice President인 Chris Bailey가 반도체 제조 산업의 지속가능성을 주제로 ‘Making Scaling Greener: Edwardss’ Sustainability From Subfab to Fab’에 대한 강연을 선보였습니다.
에드워드 코리아 윤재홍 대표이사는 “역대급으로 많은 인원이 참석했던 세미콘 코리아에서 에드워드의 차세대 주력 제품군들을 선보일 수 있어 기쁘다.”며 “변화무쌍한 상황 속에서도 언제나 고객의 만족을 최우선으로 하는 경영을 하겠다며“며 소감을 밝혔습니다.
* 하기의 스케치 영상에서 세미콘 코리아 2023에 참가한 에드워드 코리아의 모습을 확인할 수 있습니다.