空壓機

整合式低溫泵功率變頻器確保所有的愛德華真空泵可在 50 和 60 Hz 應用中實現最高的低溫泵效能。

• 本空壓機專為長效使用壽命、高可靠性及使用簡便所設計，搭配所有 Cryo-Torr 低溫泵、On-Board 低溫泵、On-Board 水泵及 On-Board TurboPlus 真空泵時可提供出色效能。9600 支援單泵與多泵配置，並相容於全球各地的 CTI-Cryogenics 泵浦裝置。

• 9700A 空壓機提高氦氣輸出，非常適合運作多部低溫泵。在內有多部低溫泵和水泵的應用中，一部 9700A 空壓機足以提供單一空壓機解決方案。與多空壓機應用相比，9700A 空壓機減少了耗電量、輸配水及佔地面積，並相容於 Cryo-Torr 和 On-Board 低溫泵。

• IS-1000 壓縮機是適用於 On-Board IS 低溫泵的智慧型高效率壓縮機技術。在與 9600 壓縮機相同的佔地面積下，IS-1000 壓縮機最多支援高達 6 部 On-Board IS-8F 低溫泵。
  IS-2000V 壓縮機結合更高壓力、旋轉技術和可調整式氦氣輸送功能，可在所有運作階段提供最低的耗電量，藉以符合 SEMI S-23 目標。IS-2000V 可取代兩部 On-Board IS-1000 壓縮機。這款大容量氦氣壓縮機支援 On-Board IS 低溫泵應用。整合式低溫泵功率變頻器可確保在 50 和 60 Hz 應用中實現最高的低溫泵效能。