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增加產量,最大限度地提高安全性

支援您創新的全球經驗

我們在半導體製造廠中積累了豐富的經驗,這使我們處於獨特的地位,可以支援您採用矽晶圓處理技術。我們還可以幫助您︰

  • 使用 MOCVD 工具同時處理高流量氫和氨
  • 提高粉末處理能力,並對腐蝕性氣體具有較高的耐受性
  • 為您帶來精巧的多功能解決方案,該解決方案功耗低,適合大體積、高流量應用。

我們所有廢氣處理系統的設計用途是減少營運對環境的衝擊,並降低成本。

LED 製造

人們一直在不斷努力節約能源,而 LED 是推動該需求的主要因素。作為 LED 製造過程的一部分,我們瞭解客戶面臨的真空和環境挑戰。本公司相信,藉由在全球範圍內積累的豐富經驗,我們有能力提供最具成本效益、最安全的環保技術解決方案,以支援客戶的生產力。