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Edwards 製程氣體分析儀 - 半導體應用的即時程序控制
iTrap® 是一款精巧、高靈敏度的離子阱傅立葉轉換質譜儀。這是程序分析與生產線程序控制的理想工具。可用於研發和生產環境。iTrap 相當可靠，能支援您偵測最小痕量的反應副產物或污染物，協助您調查清潔的有效性和分析腔體的健全狀況。質譜幾乎是即時完成測量，並讓您得以追蹤製程腔體中極小量的分子。iTrap 是研究者或程序開發工程師手中強大的工具，也可以作為由其他程序工具設備所整合及控制的智慧型感測器。
優點
Edwards iTrap 令人信服之處在於：
- 速度 | 可以即時測量，全頻譜在 0.5 秒內完成
- 靈敏度 | 微量濃度測量
- 精巧 | 可與製程腔體整合。標準化的軟體介面，隨時準備好用於外部化學物質。
- 堅固耐用，可對抗腐蝕性物質 | 惰性表面，無偵測器。可承受 H2、Cl、F 與其他侵蝕性化學品
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